• Title/Summary/Keyword: 미세구조물

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The fabrication of high aspect ratio microstructures by negative photosensitive glass process (Negative photosensitive glass process에 의한 high aspect ratio 마이크로 구조물의 제조)

  • Cho, Soo-Je;Ryu, Byung-Gil
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 1999.11d
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    • pp.1140-1141
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    • 1999
  • 유리 및 세라믹 미세구조물은 열적, 화학적, 기계적특성이 우수하며 이 제조방법으로 대표적인 것이 그라스의 노광, 열처리에 의한 노광부를 선택적으로 에칭시켜 구조물을 형성시키는 감광성그라스 공정이다. 그러나 공정조건을 변화시킴에 따라 기존과는 정반대로 비노광부를 선택적으로 에칭시키는 것이 가능하였으며 본 방식에 의해서 더욱 정밀한 미세구조물을 형성할 수 있음을 확인하였다.

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A Study for the Changes of The Micro Structure by Deterioration Factors in Concrete for Nuclear Power Plant (원전콘크리트의 열화요인에 따른 미세구조의 변화에 대한 연구)

  • Kim, Do-Gyeum;Lee, Jang-Hwa;Lee, Ho-Jae
    • Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
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    • 2010.04a
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    • pp.766-769
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    • 2010
  • 본 논문은 콘크리트 구조물 중 원전구조물에서 열화요인에 따른 미세구조적 변화에 대해서 평가하였다. 이는 원전구조물의 경우 열화현상이 발생하게 되면 일반 구조물에 비해 심각한 영향을 초래하기 때문에 기존의 열화 평가 방법에 의존하기 보다는 미세구조적 관점에서 콘크리트의 열화를 재평가해야 한다. 그에 일환으로 열화 요인 중 동결 융해와 황산염에 대한 미세구조 평가를 실시하였다. 동결융해의 경우, 미세구조적 관점에서의 미세공극의 양이 증가하는 것을 확인하였으나 그 증가 폭이 크지 않음을 알 수 있었으며, 물리적 실험에서도 그 변화가 매우 작음을 확인할 수 있다. 그리고 황산염에서는 초지 침지 구간에서는 플라이 애쉬를 사용한 원전 콘크리트 배합이 콘크리트에 더 유리하게 작용함을 알 수 있다.

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Fabrication Technology of Glass Micro-framework by Photolithographic Process (사진식각 공정에 의한 유리 미세구조물 제작 기술)

  • O, Jae-Yeol;Jo, Yeong-Rae;Kim, Hui-Su;Jeong, Hyo-Su
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.8 no.9
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    • pp.871-875
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    • 1998
  • High aspect ratio microstructures were fabricated by photolithography. The material for the microstructure was photosensitive glass which has good mechanical and electrical insulation properties. The photosensitive glass was exposed to ultraviolet light at 312nm through a chromium mask in which the structures are drawn. After heat treatment process over $500^{\circ}C$, the photosensitive glass was etched in a 10% hydrofluoric acid solution with ultrasonic conditions. Final dimension of the micro-framework was greatly dependent on the thickness of photosensitive glass, mask pattern, ultraviolet light exposure and etching conditions. The maximum aspect ratio of the micro-framework obtained from this work was over 30.

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핫 엠보싱을 이용한 3차원 미세 구조물 복제에 관한 연구

  • 박선준;정성일;정해도
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.150-150
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    • 2004
  • 현재의 핫 엠보싱 기술은 나노/마이크로 패턴의 복제 기술로 다방면에서 연구되어지고 있다. 기존에 알려진 핫 엠보싱 기술은 하드 몰드를 사용하여 열과 압력을 가해서 PR 패턴 제작이나 나노/마이크로 구조물을 제작하였다. 그러나 이러한 하드 몰드의 사용은 3차원 구조물을 구현할 수 없다는 단점이 있다. 이에 본 연구에서는 하드 몰드 대신 소프트 몰드를 사용하여 3차원 미세 구조물을 구현해 보고자 한다.(중략)

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미세탐침기반 기계-화학적 리소그래피공정을 이용한 3차원 미세 구조물 제작에 관한 기초 연구

  • 박미석;성인하;김대은;장원석
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.128-128
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    • 2004
  • 나노 스케일의 구조물 제작에 있어서 기존의 리소그래피 공정들이 가지는 한계점을 극복하기 위해서 다양한 방식의 새로운 공정들이 개발되고 있다. 특히, 기계-화학적 가공공정을 이용한 미세탐침 기반의 나노리소그래피 기술(Mechano-Chemical Scaning Probe based Lithography; MC-SPL)은 기존의 포토리소그래피 공정의 단점을 극복하고, 보다 경제적이며 패턴 디자인 변경이 유연한 미세 패턴 제작 기술임이 확인되었다.(중략)

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A Study on fabrication of micro structure not using MEMS processing (MEMS 공정을 이용하지 않는 미세구조물 제작에 관한 연구)

  • Yoo Hong Jin;Kim Dong-Hak;Jang S. W.;Kim Tae Wan
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2004.06a
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    • pp.267-269
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    • 2004
  • 본 연구에서는 일반적인 미세구조물 제작공정인 lithography 공정을 이용하지 않고 SLS(Selective Laser sintering)형 RP(Rapid Prototyping system)을 이용하여 패턴의 깊이가 400$\mu$m인 미세구조물을 제작하였다. 제작 공정변수 중 재료의 상태가 new powder 이고 배치각이 $0^{\circ}$ 일 때 패턴의 깊이, 선폭과 표면조도가 가장 잘 구현되었다.

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Separation of Blood Cell and Blood Plasma Using Microstructure (미세구조물을 이용한 혈구/혈장 분리)

  • Kim, Duckiong;Seo, Jee-Hoon;Son, Sang Uk;Kim, Jae Yun;Yoon, Eui Soo
    • 유체기계공업학회:학술대회논문집
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    • 2004.12a
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    • pp.743-747
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    • 2004
  • In this study, micro blood separators capable of separating blood cell and blood plasma using microstructure are fabricated and their feasibility and separation performance are evaluated. Test results show the possibility of separating blood cell and blood plasma using microstructure. To improve separation performance and anti-clogging characteristic, technical points of tested micro blood separators are discussed and improved designs are presented.

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박막형 태양전지 기판용 반사방지구조 형성 및 반사방지 효과에 의한 효율 향상

  • Han, Gang-Su;Sin, Ju-Hyeon;Kim, Gang-In;Lee, Heon
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.27.1-27.1
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    • 2010
  • 본 연구에서는 박막형 태양전지의 효율 향상을 위한 한 가지 방법으로써 박막 태양전지의 기판으로 사용되는 유리 표면위에 반사방지 기능을 갖는 미세 구조물을 형성하였다. 형성된 미세구조물은 가시광선 영역의 빛의 파장보다 작고 원뿔형 구조를 가지고 있어서 빛의 점진적인 굴절률 변화를 야기하며, 이러한 구조적 굴절률 변화에 의한 반사억제 효과를 확인 할 수 있었다. 이러한 반사방지효과는 곧 태양전지의 효율 향상으로 나타났다. 미세구조물 형성을 위한 방법으로는 나노임프린트 리소그래피 기술과 니켈 재질의 금속 몰드를 사용하였으며, 반사방지구조를 형성하기 위해서 열경화 방식의 임프린트 레진이 사용되었다.

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롤포밍을 위한 박판 미세구조물 기초 연구

  • 김형종;최두선;제태진;박재현;정동원
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.257-257
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    • 2004
  • 자동차, 항공. 선박, 가전, 건축 및 방위 산업 등 현대 사회의 핵심 기간산업은 제품의 대부분을 금속 판재를 이용하여 제품을 생산한다 따라서 향상된 물성 특성을 갖춘 금속 판재를 이용함으로써 기존 제품의 성능을 더욱 향상시킬 수 있다 이러한 관점에서, 현대 사회는 에너지 자원이 점차 고갈되어 가고 있고 소비자의 기호 수준이 향상되어 고성능의 제품을 요구하고 있으므로, 높은 에너지 효율성과 구조의 안정성 및 신뢰성을 동시에 만족시킬 수 있는 초경량 고강도 재료 개발이 활발히 진행되고 있다.(중략)

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