• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제8권1호
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• pp.90-94
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• 1995

Reactive Ion Etching(RIE) of Si$_{3}$N$_{4}$ in a CF$_{4}$/O$_{2}$ gas plasma exhibits such good anisotropic etching properties that it is widely employed in current VLSI technology. However, the RIE process can cause serious damage to the silicon surface under the Si$_{3}$N$_{4}$ layer. When an atmospheric pressure chemical vapor deposited(APCVD) SiO$_{2}$ layer is used as a etch-stop material for Si$_{3}$N$_{4}$, it seems inevitable to get a good etch selectivity of Si$_{3}$N$_{4}$ with respect to SiO$_{2}$. Therefore, we have undertaken thorough study of the dependence of the etch rate of Si$_{3}$N$_{4}$ plasmas on $O_{2}$ dilution, RF power, and chamber pressure. The etch selectivity of Si$_{3}$N$_{4}$ with respect to SiO$_{2}$ has been obtained its value of 2.13 at the RF power of 150 W and the pressure of 110 mTorr in CF$_{4}$ gas plasma diluted with 25% $O_{2}$ by flow rate.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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• pp.66-66
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• 2010

알루미나는 높은 온도에서 열적으로 안정되고 경도가 높으며 내화학, 내마모 특성이 우수하며 또한 강도대비 비중이 낮아 무게를 줄일 수 있다는 장점을 가지고 있다. 이러한 특성으로 인하여 우주항공, 국방, 원자력등 극한의 온도를 견뎌야 하는 고도의 신뢰성이 요구되는 고온구 조물로서 응용이 되고 있다. 특히 알루미나를 휘스커 형태로 만들어 세라믹 복합체에 결합 할 경우 복합체의 기지 내에서 강화재의 역할을 함으로써 취성 파괴를 억제하고 열 전도율 저하등의 이점을 가져올 수 있다. 그리하여 본 연구에서는 알루미나 휘스커를 성장을 위하여 Al-triisoproxide계를 이용하여 화학기상증착법으로 가장 안정된 열적 특성을 가지고 온도의 변화에 따라 상 변화가 일어 나지 않는 알파 알루미나 상을 가지는 알루미나 휘스커를 성장시키기 위한 연구를 하였다. 또한 증착 온도, 압력, 입력기체비등 증착 조건을 변화시켜가면서 알파 알루미나 휘스커의 성장 거동을 살펴 보았다. 증착 조건 변화에 따라 알파 알루미나는 막이 증착되는 부분과 휘스커가 성장되는 부분이 있으며 휘스커의 밀집도와 길이방향, 직경방향 성장등 여러 가지 성장 특성을 달리하였다. 이러한 결과를 바탕으로 증착조건에 따른 알파 알루미나 휘스커 성장영역을 도식화하였다.

• 대한설비공학회지:설비저널
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• 제14권2호
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• pp.87-97
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• 1985

Experimental measurements of the heat flux to a upward impinging water jet on high heated test surface were obtained in the transition and film boiling regimes. Test variables were nozzle outlet velocity, subcooled water temperature and height of supplementary water. Boiling curve of this investigation is similar to a pool boiling curve, but it has one or two cap-shaped peaks in the transition regime. In the film boiling regime, the heat transfer rates are increased along with the increment of nozzle outlet velocity and subcooled temperature. There is optimum height of supplementary water for the augmentation of heat transfer Generalized correlations of boiling heat transfer are presented for maximum heat flux, minimum heat flux and $q_c$ at each supplementary height.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제39권1호
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• pp.31-38
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• 2002

0.35㎛-비아(via) 식각공정을 개선하기 위하여 C₂F/sub 6/가스의 식각특성을 분석하였다. 실험한 재료는 TEOS/SOG/TEOS 막을 올린 8인치 웨이퍼이며, 실험의 기법은 직교행열(Orthogonal array matrix) 실험 방식을 활용하였다. 산화막 식각에 이용된 장비는 transformer coupled plasma(TCP) source 방식이며 고밀도 플라즈마(HDP)장비이다. 실험의 결과는, 실험변수의 범위 내에서 C₂F/sub 6/는 0.8㎛/min-1.l㎛/min 범위의 식각속도를 보이며 균일도(Uniformity)는 ±6.9%미만으로 측정되었다. CD 변화(skew)는 식각 전과 후를 비교하여 10% 미만이었고 그 결과 비등방성(anisotropic) 식각의 특성이 우수하였다. C₂F/sub 6/를.20sccm 공급할 때 문제점이 발견되지 않았지만 14sccm을 공급하면 SOG 막의 내벽이 침식당하는 문제점이 있었다. 결과적으로 C₂F/sub 6/는 HDP TCP에서 빠른 식각비와 넓은 공정창(process window)을 가진 식각특성을 나타내었다.

• 에너지공학
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• 제12권2호
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• pp.84-92
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• 2003

구리밀봉 증기발생기의 열적크기 계산을 위한 1차원 열수력코드를 개발하였다. 고온 및 저온측 전열관사이의 구리의 열전도는 1차원으로 가정하고, 전열관 피치의 함수로 열저항을 구하였다 물/증기측 유동영역은 아냉, 포화핵비등, 포화막비등, 과열영역의 4 구간으로 구분하였다. 매개변수 연구를 위한 전열관 갯수는 250에서 3500이며, P/D비율은 각각1.4, 1.6, 1.8로 하였다. 계산결과, 전열관 갯수가 2500일 때 전열관 길이는 약 12 m, 직경은 약 3 m이다. P/D를 증가시키면 구리에 의한 열저항 성분이 증가하지만 전열관 길이는 큰 차이가 없음을 알 수 있었다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권6호
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• pp.2470-2476
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• 2011

실험적인 방법과 수치적인 방법의 장점을 취한 고유변형도법은 선상가열에 의한 판의 변형을 예측하는데 매우 유용하다. 고유변형도법을 이용한 선상가열에 의한 판 변형의 예측을 위해서는 고유변형도의 크기와 영역을 적절하게 결정하는 것이 중요한데, 선상가열 후의 실제 냉각속도에 따라 강의 상변태 특성이 달라지므로 이 또한 고유변형도 결정에 있어서 고려되어야 한다. 조선 현장에서 많이 사용되는 수냉과정을 모사하기 위해 충돌제트, 막비등, 복사 효과를 포함하는 열전달 해석법을 제안하였으며, 이를 통해 고유변형도 영역의 실제 냉각속도와 상변태 분율을 구할 수 있다. 상변태 분율에 따른 재료의 물성치를 반영함으로써 선상가열에 의한 판의 변형을 보다 정도 있게 예측하는 것이 가능하다.

• Journal of Korean Neurosurgical Society
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• 제30권sup1호
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• pp.128-132
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• 2001

뇌기저동맥 체간부에 존재하는 동맥류는 매우 희귀하며 그 수술적 치료는 복잡한 해부학적 구조와 근접해있는 중요한 신경혈관 구조때문에 수술적 접근이 매우 어려운 부위이다. 산화 단층촬영과 자기공명영상의 발달은 두개저 병변을 정확히 진단할 수 있게 하였고 두개저 부위의 수술적 접근에 많은 발전을 가져오게 하였다. 뇌기저동맥 체간부에 존재하는 동맥류의 수술 방법중의 하나로 저자들은 소뇌와 측두엽의 견인이 적어 소뇌 부종을 극소화 할 수 있고 와우, 미로, 안면신경등의 구조물을 보존하여 청력손실, 안면신경마비등의 합병증이 없고 횡정맥동, S상정맥동의 보존뿐만 아니라 Labbe's 정맥을 보존할 수 있으며 수술시야가 비교적 좋은 장점들이 있는 후미로 전S상정맥동 경천막을 통한 추체로접근법을 이용하여 뇌기저동맥 체간부에 발생한 동맥류의 직접 결찰수술을 시행하여 좋은 결과를 얻었기에 문헌고찰과 함께 보고하는 바이다.

• 한국재료학회지
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• 제4권2호
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• pp.127-135
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• 1994

직접 접합된 Si 기판들의 접합계면에 관하여 연구하였다. 경사 연마 및 결함묘사, 계면의 비등방성 식각, TEM 및 HR-TEM 등의 방법들을 이용하여 접합계면에 발생하는 계면결함과 과도영역, 여러형태의 void 들, 계면 산화막의 형성 및 안정화 과정등을 조사하였다. 또한 접합된 $Si-Sio_{2}$계면과 일반적인 $Si-Sio_{2}$계면의 형상등을 비교 검토하였다.

• 대한기계학회논문집
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• 제18권5호
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• pp.1275-1287
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• 1994

Heat transfer performance improvement by fin and grooves is studied for condensation of R-11 on integral-fin tubes. Eight tubes with trapezoidal shaped integral-fins having fin densities from 748 to 1654 fpm and 10, 30 grooves are tested. A plain tube having the same diameter as the finned tubes is also tested for comparison. R-11 condenses at saturation state of $32^{\circ}C$ on the outside tube surface cooled by inside water flow. All of test data ate taken at steady state. Beatty and Katz's, Rudy's and Webb's theoretical models are used to predict the R-11 condensation coefficient of tubes having 748, 1024 and 1299 fpm. The predicted value by Betty and Katz's model is within 10% of experimental values in this study at fpm<1024 and Rudy's model predicted the experimental data at fpm>1024 within 15%. The tube having fin density of 1299 fpm and 30 grooves has the best overall heat transfer performance. This tube shows the overall heat transfer coefficient of 11500 $W/m^{2}K$,/TEX> at coolant velocity of 3.0m/s.

• 대한기계학회논문집
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• 제11권3호
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• pp.425-436
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• 1987

본 연구에서는 강제대류가 있는 층류막비등유동을 벽면온도와 주수속도를 변 화시키며 수치해석하여 열전달계수와 유동특성을 구하였고, 열력학적 상태량들을 일정 하다고 가정하는 경우가 열전달계수에 어떠한 영향을 미치는가를 검토한 결과, 열전달 계수는 주수속도에는 큰 영향을 받지 않으나, 벽면온도와 열력학적 상태량의 변화에는 상당히 큰 영향을 받는 것으로 나타나고 있다.