혼합된 Ar, N2 가스 유량에 따른 PECVD 방법에 의하여 제작된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성 (Characteristics of Diamond Like Carbon Film Fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method with mixed Ar, N2 gas rate)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.87-87
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- 2018