• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.2 no.2
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• pp.19-30
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• 1995

일반적으로 마이크로 웨이브 영역에 사용되는 마이크로스트립 전송로는 후막 전도 선을 이용하여 RF 모듈을 구현할수 있으나 선폭의 고해상도가 전체 특성에 큰 영향을 미치 므로 고정도의 박막을 이용한 RF 모듈이 많이 개발되고 있다. 따라서 본 논고에서는 박막 제조기술을 이용하여 마이크로 웨이브 하이브리드의 한 종류인 WILKINSON 전력 분배기 를 개발하였고 공정 변수를 최적화함으로써 고특성 고신회성의 전력 분배기를 구현할 수 있 었다. 먼저 전도선의 두께의 영향을 고찰하였으며 제조 공정에 있어 GROUND 방법 /HOUSING 형상을 개선함으로써 용이하게 전력 분배기를 제조하였다. 마지막으로 MIL 규 격에 따른 전력분배기의 신뢰성 시험 항목을 제시하였고 이에 따라 정격 전력을 계산, 측정 하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.208.2-208.2
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• 2015

최근 산화물 반도체에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 비정질 산화물 반도체인 In-Ga-Zn-O(IGZO)는 기존의 비정질 실리콘에 비해 공정 단가가 낮으며 넓은 밴드 갭으로 인한 투명성을 가지고 있고, 저온 공정이 가능하여 다양한 기판에 적용이 가능하다. 반도체의 공정 과정에서 열처리는 소자의 특성 개선을 위해 필요하다. 일반적인 열처리 방법으로 furnace 열처리 방식이 주로 이용된다. 그러나 furnace 열처리는 시간이 오래 걸리며 일반적으로 고온에서 이루어지기 때문에 최근 연구되고 있는 유리나 플라스틱, 종이 기판을 이용한 소자의 경우 기판이 손상을 받는 단점이 있다. 이러한 단점들을 극복하기 위하여 저온 공정인 마이크로웨이브를 이용한 열처리 방식이 제안되었다. 마이크로웨이브 열처리 기술은 소자에 에너지를 직접적으로 전달하기 때문에 기존의 다른 열처리 방식들과 비교하여 에너지 전달 효율이 높다. 또한 짧은 공정 시간으로 공정 단가를 절감하고 대량생산이 가능한 장점을 가지고 있으며, 저온의 열처리로 기판의 손상이 없기 때문에 기판의 종류에 국한되지 않은 공정이 가능할 수 있을 것으로 기대된다. 따라서 본 연구에서는 마이크로웨이브 열처리가 소자의 전기적 특성 개선에 미치는 영향을 확인하였다. 제작된 IGZO 박막 트렌지스터는 p-type bulk silicon 위에 thermal SiO2 산화막이 100 nm 형성된 기판을 사용하였다. RCA 클리닝을 진행한 후 RF sputter를 사용하여 In-Ga-Zn-O (1:1:1) 을 70 nm 증착하였다. 이후에 Photo-lithography 공정을 통하여 active 영역을 형성하였고, 전기적 특성 평가가 용이한 junctionless 트랜지스터 구조로 제작하였다. 후속 열처리 방식으로 마이크로웨이브 열처리를 1000 W에서 2분간 실시하였다. 그리고 기존 열처리 방식과의 비교를 위해 furnace를 이용하여 N2 가스 분위기에서 $600^{\circ}C$의 온도로 30분 동안 열처리를 실시하였다. 그 결과, 마이크로웨이브 열처리를 한 소자의 경우 기존의 furnace 열처리 소자와 비교하여 우수한 전기적 특성을 나타내는 것을 확인하였다. 따라서 마이크로웨이브를 이용한 열처리 공정은 향후 저온 공정을 요구하는 소자 공정에 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.210.1-210.1
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• 2015

최근 산화물 반도체에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 비정질 산화물 반도체인 In-Ga-Zn-O (IGZO)는 기존의 비정질 실리콘에 비해 공정 단가가 낮으며 넓은 밴드 갭으로 인한 투명성을 가지고 있고, 저온 공정이 가능하여 다양한 기판에 적용이 가능하다. 반도체의 공정 과정에서 열처리는 소자의 특성 개선을 위해 필요하다. 일반적인 열처리 방법으로 furnace 열처리 방식이 주로 이용된다. 그러나 furnace 열처리는 시간이 오래 걸리며 일반적으로 고온에서 이루어지기 때문에 최근 연구되고 있는 유리나 플라스틱, 종이 기판을 이용한 소자의 경우 기판이 손상을 받는 단점이 있다. 이러한 단점들을 극복하기 위하여 저온 공정인 마이크로웨이브를 이용한 열처리 방식이 제안되었다. 마이크로웨이브 열처리 기술은 소자에 에너지를 직접적으로 전달하기 때문에 기존의 다른 열처리 방식들과 비교하여 에너지 전달 효율이 높다. 또한 짧은 공정 시간으로 공정 단가를 절감하고 대량생산이 가능한 장점을 가지고 있으며, 저온의 열처리로 기판의 손상이 없기 때문에 기판의 종류에 국한되지 않은 공정이 가능할 수 있을 것으로 기대된다. 따라서 본 연구에서는 마이크로웨이브 열처리가 소자의 전기적 특성 개선에 미치는 영향을 확인하였다. 제작된 IGZO 박막트렌지스터는 p-type bulk silicon 위에 thermal SiO2 산화막이 100 nm 형성된 기판을 사용하였다. RCA 클리닝을 진행한 후 RF sputter를 사용하여 In-Ga-Zn-O (1:1:1)을 70 nm 증착하였다. 이후에 Photo-lithography 공정을 통하여 active 영역을 형성하였고, 전기적 특성 평가가 용이한 junctionless 트랜지스터 구조로 제작하였다. 후속 열처리 방식으로 마이크로웨이브 열처리를 1000 W에서 2분간 실시하였다. 그리고 기존 열처리 방식과의 비교를 위해 furnace를 이용하여 N2 가스 분위기에서 $600^{\circ}C$의 온도로 30분 동안 열처리를 실시하였다. 그 결과, 마이크로웨이브 열처리를 한 소자의 경우 기존의 furnace 열처리 소자와 비교하여 우수한 전기적 특성을 나타내는 것을 확인하였다. 따라서, 마이크로웨이브를 이용한 열처리 공정은 향후 저온 공정을 요구하는 소자 공정에 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

• Journal of the Mineralogical Society of Korea
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• v.26 no.3
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• pp.139-150
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• 2013

In order to effectively leach Fe from pyrite, the application of microwave energy and ammonia solution has been conducted. Pyrite transforms into hematite and pyrrhotite when treated with microwave radiation for 60 minutes, and in this time the highest amount of Fe was leached by the ammonia solution. Up to 99% of the Fe was leached when the experimental conditions were: 325-400 mesh particle size for the pyrite and 60 min. was the microwave exposure time. The ammonia leaching conditions were 0.3 M sulfuric acid, 2.0 M ammonium sulfate and 0.1 M hydrogen peroxide concentration. The pyrite, hematite, and pyrrhotite were not detected using XRD analysis from the solid-residues treated by the ammonia solution except for quartz.

• Clean Technology
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• v.8 no.1
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• pp.11-17
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• 2002

Petcokes is the final product obtained from a refinery process. This petcokes includes high percentage of inorganic and sulfur compounds. Currently, the petcokes produced from domestic refinery plants include more than 6% of sulfur. To use petcokes as valuable raw materials, the weight percentage of sulfur must be lower than 2% of sulfur. Solvent extraction, thermal desulfurization, and hydro-desulfurization have been used to remove the sulfur. In this study, we attempted new approach to remove the sulfur introducing microwave energy. Microwave increase the reaction rates by providing the fast heating and disconnecting the bonding structure of the molecules. The experiments of microwave thermal desulfurization and microwave plus hydrogen gas were carried out to remove the sulfur. We obtained 68.3% of sulfur removal rate with the 2 hours of reaction time and 1835 W of microwave powder. In the experiment of microwave with hydrogen gas, we obtained 86.4% of sulfur removal rate with the 1.5 hours of reaction time and 1835 W of microwave power. If we increase reaction time or decrease the particle size of petcokes, we expect more than 90% of sulfur removal.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.34 no.6
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• pp.1013-1017
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• 2002

Functional activities of Flammulina velutipes extract including electron donating ability, nitrite-scavenging effect, and tyrosinase inhibition activity was examined. Extraction were carried out by microwave-assisted extraction (MAE) under different conditions including solvent and microwave power. Tyrosinase inhibition activity and nitrite-scavenging effect increased as microwave power increased during extraction. Total phenol content and electron-donating ability reached maximum at the microwave power of 90 W. Total polyphenol content and electron-donating ability increased as extraction time extended up to 15 min, with the highest tyrosinase inhibition obtained after 5 min extraction. Significantly higher tyrosinase inhibition activity was found in 99% ethanol extract, whereas greater nitrite-scavenging effect was observed in the water extract. The maximum nitrite-scavenging effect was found at pH 1.2 and decreased as pH increased.

• Journal of the Mineralogical Society of Korea
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• v.32 no.2
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• pp.113-126
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• 2019

This study aimed to effectively dissolve sulfide minerals through microwave-nitric acid leaching of invisible gold concentrate and then recover gold from the solid-residue with fire assay. For the purposes, this study conducted microwave-nitric acid leaching experiments to examine nitric acid concentration, time of microwave leaching, and sample addition effect. As results of the experiments, this study discovered that the weight loss rate of solid-residue increased as nitric acid concentration and microwave leaching time increased while weight loss rate decreased as sample addition increased. In an XRD analysis with solid-residue, it was discovered that pyrite completely disappeared when the nitric acid concentrate was 6 M and the microwave leaching time was 18 minutes. When a fire assay was carried out with solid-residue, gold particles with more content were recovered as nitric acid concentration and microwave leaching time increased whereas gold particles with more gold content were recovered as the sample addition decreased.

• Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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• v.20 no.1
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• pp.43-47
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• 2015

In this work, a broadband microstrip (MSL) - to - waveguide (WR12) transition has been presented for millimeter-wave module applications. For improvement of a bandwidth, the radial MSL electrical-probe is designed on the low-loss organic dielectric substrate. The designed and tested characteristics of the proposed transition are characterized in terms of an insertion and return loss. Considering the loss contribution of the cable adapter and waveguide transition for the measurement, the proposed transition loss can be analyzed as -1.88 and -2.01 dB per a transition at 70 and 80 GHz, respectively. The bandwidth of the proposed transition for reflection at -10 dB is 26 GHz at all test frequencies from 67 to 95 GHz. Compared to the state-of-the-art results, improvement of 8.3 % is achieved for the operation bandwidth.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.31 no.2
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• pp.172-178
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• 2020

In this study, the optimization of the biodiesel production process from waste oil using microwave with response surface methodology (RSM) was conducted. The microwave irradiation time and power in addition to the alcohol/oil mole ratio were chosen as process parameters. Also the fatty acid methyl ester (FAME) content (over 96.5%) and kinematic viscosity (1.9~5.5 cSt) were selected as response values. From basic experiments, the range of quantitative factors were set as following; 4~6 min, 400~600 W, and 7~9 for the microwave irradiation time and power, and alcohol/oil molar ratio, respectively. The optimum conditions for the methanolysis were 5.0~5.1 min, 481.3~525.5 W, 7.9~8.4, and 2.0 or 3.0 mg KOH/g for the microwave irradiation time and power, methanol/oil molar ratio, and each acid value, respectively. The FAME content and kinematic viscosity were predicted as 97.49~96.34% and 4.01~4.12 cSt, respectively, under the condition above. Under the optimum experimental conditions, the results showed that the FAME content and kinematic viscosity of 97.82~96.42% and 4.07~4.16 cSt, respectively were measured and the mean error rates were 0.22% and 0.98%, respectively.

• Resources Recycling
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• v.29 no.1
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• pp.35-42
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• 2020

Even asbestos-containing waste (ACW) are highly harmful to humans, it continues being produced due to the massive disposal of asbestos-containing products. A development of asbestos detoxification and recycling technologies is required. Heat treatment using microwave is the most efficient method for ACW detoxification. However, microwave heat treatment method has the limitation that asbestos does not absorb microwave at room temperature. That is why, in this study, ACW was detoxified by microwave heat treatment adding the ACW between SiC plates, which are inorganic heating elements that absorb microwaves at room temperature. In order to improove the heat transfer, ACW was crushed and pulverized and then heated using microwave. Microwave heat treatment temperature and time variables were adjusted to investigate the detoxification properties according to heat treatment conditions. After heat treatment, treated ACW was analyzed for detoxification properties through crystal structure and microstructure analysis using X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). Microwave heat treatment method using SiC plate can be heated up to the target temperature within a short time. Finally, complete asbestos detoxification was confirmed from the crystal structure and the microstructure when the microwave heat treatment was performed at 1,200℃ for at over 60 minutes and at 1,300℃ for at over 10 minutes.