• 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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• 한국마이크로전자및패키징학회 2000년도 추계 기술심포지움 논문집
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• pp.17-20
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• 2000

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제7권3호
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• pp.1-6
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• 2000

폐수의 온도차등의 폐열 에너지를 이용한 에너지 절약 시스템으로써 구조가 간단한 소형의 열전 발전기를 개발하였다. 열원으로 끊는 물을 이용하고, Bi-Te 계 열전반도체 모듈 16개를 전기적으로 직렬로 연결하고 패키징하여 열전 변환 시스템을 제작하였다. 열전 발전기의 출력은 온도차가 75 K, 전기저항이 40$\Omega$, 전류가 0.35 A에서 약 4.5 W정도를 얻을 수 있었다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회A
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• pp.1455-1458
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• 2007

In this research, a polycrystalline silicon (poly-Si) film layer for micro thermoelectric generator (TEG) was fabricated. The fabrication process of the thermoelectric poly-Si film layer is explained. The P-type and N-type poly-Si films were fabricated on a tetra ethoxy silane (TEOS) layer with a supporting Si wafer. Seebeck coefficient and electrical conductivity were measured, including the transport properties such as the hall coefficient, hall mobility and carrier concentration. The design parameters for a rapid thermal process (RTP) were decided based on the experimental results. The measured power factors of the P-type and N-type were $21.2\;{\mu}Wm^{-1}K^{-2}$ and $26.7\;{\mu}Wm^{-1}K^{-2}$, respectively.