• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.245-245
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• 2004

최근 급속히 성장하는 제약산업 분야에서 신약개발, 약물 투여, 유전자 분석에 필요한 비용과 시간을 줄이기 위하여 랩온어칩(Lab-on-a-chip) 기술이 부상하고 있다. 이러한 랩온어칩에서는 원하는 소량의 시료를 정밀하게 이송시켜 혼합, 반응, 분리, 검출 등이 하나의 칩 위에서 일련의 과정으로 수행 가능하게 하여 고속, 고효율, 저비용의 자동화를 시킬 수 있는 장점이 있다. 즉, 이는 하나의 칩 위에 분석에 필요한 여러 가지 장치들을 마이크로 머시닝 기술로 초소형 집적화 시킨 마이크로 프로세서이다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.32 no.4
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• pp.418-430
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• 2012

The present paper reviews the micro and nano nondestructive evaluation(NDE) technique that is possible to investigate the surface and measure the acoustic properties. The technical theory, features and applications of the ultrasonic atomic force microscopy(UAFM) and scanning acoustic microscopy(SAM) are illustrated. Especially, these technologies are possible to evaluate the mechanical properties in micro/nano structure and surface through the measurement of acoustic properties in addition to the observation of surface and subsurface. Consequently, it is thought that technique developments and applications of these micro/nano NDE in advanced industrial parts together with present nondestructive industry are widely possible hereafter.

• Journal of the KSME
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• v.50 no.11
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• pp.43-46
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• 2010

이글에서는 마이크로 기술, 특히 Microelectromechanical System(MEMS) 기술을 활용하여 심장세포의 기계적/물리적 특성 분석을 위한 심장세포용 바이오센서 및 심장세포의 기계적 힘을 이용한 심장세포 기반의 바이오 하이브리드(biohybrid) 디바이스에 대하여 소개하고자 한다.

• The Optical Journal
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• s.117
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• pp.46-49
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• 2008

한국광학기기협회는 한.일 광학기술협력사업의 일환으로 해마다 기술세미나, 기술연수 등 다양한 프로그램을 진행하고 있다. 올해에는 지난 8월 17일부터 22일까지 일본 큐슈대학 공학연구원에서 "첨단 마이크로.나노 광학계"기술연수와 미쓰비시 화학 코로사키 공장 견학 프로그램을 실시했다. 본 고에서는 연수 일정별 내용을 간략하게 정리해 보았다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.06a
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• pp.352-353
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• 2006

가스센서용 마이크로 히터 제작에는 표연 마이크로 머시닝 또는 벌크 마이크로머시닝 기술을 이용한다. 표면 마이크로 머시닝에 의한 마이크로 히터 (MHP) 구조의 경우, 기판과 박막간의 폭이 좁기 때문에 에칭 공정 후 세정이 잘 이루어지지 않으면 열적 절연이 잘 이루어지지 않아서 히터와 센서의 성능을 저하시키는 원인이 된다. 본 연구에서는 표면 마이크로 머시닝 기술에 의한 가스 센서용 마이크로 히터를 제작한다. $SiO_2$와 $Si_3N_4$를 성분으로 하며, $100{\mu}m\;{\times}\;100{\mu}m$의 면적과 350 nm 의 두께를 갖는 가스 센서용 마이크로 히터를 제작하였다. 이를 위하여 ANSYS를 통한 유한요소해석에 의한 열분포 해석으로 최적구조를 확인하였다. 센서로의 열 전달 효율을 높이기 위해 센서 박막은 히터 위에 적층하였다. 실리콘 표면과 마이크로 히터와의 간격은 에칭 공정을 통하여 $2{\mu}m$로 하였으며, 이 공간에서는 에칭 및 세정 후에 이물질이 깨끗이 세정되지 않고 남아 있거나, 습식 공정 중에 수분의 장력에 의한 열전연성이 나빠질 수 있는 등 단점이 있다. 이는 건식 등방성 에칭 공정을 통하여 해결하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.11a
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• pp.81-83
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• 2012

친수성 코팅 물질인 폴리도파민을 초소수성표면에 패터닝함으로써 이차원 마이크로 플루이딕 장치 (폴리도파민 마이크로플루이딕 장치)를 만듦. 폴리도파민 마이크로플루이딕 장치는 마이크로 펌프가 없이 오직 중력만을 이용해서 액적의 이동을 가능케하는 기술임. 또한 이 장치는 매우 빠르게 액적을 손실없이 혼합시키는 기술임. 본 기술을 이용하여 금입자 반응 및 단백질 구조 분석을 수행함.

• 전기의세계
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• v.42 no.5
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• pp.23-33
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• 1993

마이크로 머신이란 글자 그대로 기계의 크기가 몹시 작은 기계를 의미한다. 기계전체의 크기가 1mm정도 혹은 그 이하인 기계를 마이크로 머신이라 일컫는데 이러한 기계들은 주로 아주 작고 가변운 물체(예를 들면 미생물체, 세포등)를 조작하거나, 아주 작은 물리량(예를 들면 변위, 힘, 각도, 유량등)을 발생시키거나 측정하는데 유리하다. 마이크로 머신으로의 초대(I) (전기학회잡지 1992년 11월호 기술해설 참조)에서는 마이크로 머신(MEMS, Micro Eletro Mechanical System)의 대표적인 연구성과를 소개하고, 주요한 제작기술인 Surface micro machining과 MEMS에 관련한 주요학술대회중의 하나인 IEEE Workshop을 소개하고, 1993년도 IEEE MEMS Workshop에서 발표된 연구를 중심으로 최근의 연구현황을 살펴보기로 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.07b
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• pp.1203-1206
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• 2004

마이크로 컬럼은 차세대 리소그라피 기술의 하나로 마이크로 컬럼의 기능이 기존의 전자빔 컬럼을 능가하여 주목을 받는다. 초소형 전자빔 컬럼은 기존의 전자빔 컬럼과 비교하여 수차, 렌즈의 크기 및 원형에 성능이 보다 민감하게 반응하므로 정확한 정렬과 가공 기술은 초소형 전자빔 마이크로 컬럼의 성능에 매우 중요하다. 그러나, 기준치 piezoelectric transducer (PZT)나 scanning tunneling microscopy (STM)을 이용한 정렬 기술은 매우 복잡하고 어려운 단점이 있다. 본 연구에시는 레이저 회절 패턴방식과 레이저 정밀 가공으로 실리콘 렌즈와 파이렉스 spacer를 정확하게 교대로 조립하였으며, 이 방법으로 완성된 마이크로 컬럼의 STEM동작을 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.265-265
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• 2004

최근 IT산업으로 대표되는 광통신 및 광신호 전달에 이용되는 광 반사경 및 렌즈어레이, 광가이드 판넬(BLU, FLU)등 광부품의 수요가 급증하고 있고, 이의 생산을 위한 다양한 제조공정이 연구 개발되고 있다 근년까지 이러한 마이크로 광부품의 제조방법은 포토리소그래피, 에칭기술을 베이스로 한 MEMS 기술, PDMS를 이용한 복재기술에 크게 의존하고 있다. 기계적 가공법으로는 오래전부터 초정밀 경면 선삭이나 연삭에 의한 마이크로 렌즈와 미세 패턴의 금형가공이 이루어져 왔다.(중략)

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.6 no.1
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• pp.24-28
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• 2005

A micromachined biochip with a three dimensional silicon chamber was developed for the construction of biosensors. Anisotropic etching was used fur the formation of the chamber on the p-type silicon wafer(100) and then was glued to the Pyrex glass bottom-substrate with pre-deposited platinum electrode. The electrochemical characterization of its Pt electrode and Ag/AgCl reference electrode was investigated.