• 제목/요약/키워드: 마이크로파 유전특성

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LTCC RF 모듈용 $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 세라믹스의 저온소결 및 마이크로파 유전특성 (Sintering and Dielectric Properties of $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$ Microwave Ceramics for LTCC RE module)

  • 신동순;최영진;박재환;남산;박재관
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.57-63
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    • 2003
  • $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 유전체 세라믹스에 lithium borosilicate계 유리를 첨가하여 저온소결특성과 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 유리 프릿을 10∼l3 wt%의 범위로 첨가함으로서 순수한 $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$계 세라믹스의 소결온도($1300^{\circ}C$)보다 현저히 낮은 850∼$900^{\circ}C$의 온도범위에서 상대밀도 97%이상의 소결체를 얻을 수 있었다. 10 wt%의 유리 프릿을 첨가함으로서 85$0^{\circ}C$의 소성온도에서 유전율($\epsilon_r$)54 및 품질계수($Q{\times}f$)2400 GHz그리고 공진주파수의 온도계수($\tau_f$)는 $+8ppm/^{\circ}C$으로서 우수한 유전 특성을 가지는 소결체를 얻을 수 있었다.

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세라믹 입자가 혼합된 유리분말의 소결, 결정화 및 고주파 유전특성 (Sintering, Crystallization and Microwave Dielectric properties of a Ceramic Particle Incorporated Glass Powder)

  • 김선영;이경호
    • 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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    • 한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 추계기술심포지움논문집
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    • pp.59-63
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    • 2002
  • Zinc-Magnesium borosilicate 유리에 CaF$_2$입자를 충진재로 첨가하여 혼합체의 소결거동, 결정화 거동 및 최종 소결체의 마이크로파 유전특성을 측정하였다. CaF$_2$첨가는 유리의 점도를 감소 시켜 결정화 및 수축개시온도를 감소시켰다. 이러한 CaF$_2$의 최대 첨가량은 주어진 유리조성에 있어서 15 vol. % 이었다. 이러한 소결성 및 결정화 개시온도의 변화는 모 유리와 CaF$_2$의 반응에 의한 결과로 보여지며 이 반응은 결정상의 변화나 이차상의 형성에는 영향을 미치지 않았다. 따라서 유전율 6.1에 품질계수가 40000GHz 인 CaF$_2$입자를 15 vol.% 첨가시 유전상수는 7.1에서 5.6로 품질계수는 2200에서 5000GHz로 유전특성이 향상되었고 소결온도는 75$0^{\circ}C$이었다.

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마이크로파 에너지를 이용한 PZT 압전세라믹스의 급속소결 (Rapid sintering of PZT piezoelectric ceramics by using microwave hybrid energy)

  • 홍성원;채병준;홍정석;안주삼;최승철
    • 한국결정성장학회지
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    • 제5권2호
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    • pp.135-141
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    • 1995
  • 마이크로파 (2.45 GHz) 에너지를 이용한 PZT계 세라믹스의 소결특성과 전기적 특성을 조사하였다. 소결은 $1050 ~ 1130^{\circ}C$ 범위에서 5분간 행하였다. 소결온도가 높아질수록 소결밀도가 높은 치밀한 소결체를 얻을 수 있었으며, 전기적 특성이 증가하는 경향을 보였다. 그러나 소결온도가 $1090^{\circ}C$이상으로 증가하게 되면 PbO의 휘발로 인하여 소결밀도가 감소하였으며, 이에 따라 유전율과 전기기계결합계수 값도 감소하였다. PbO 분위기 조절없이 마이크로파로 $1090^{\circ}C$에서 소결한 시편의 전기적 특성은 유전율, 기계적품질계수, 전기기계결합계수 등의 값이 각각 1900, 80, 0.53으로 일반적인 전기로에 의한 소결과 비교하여, 비슷한 특성을 나타내었다. 마이크로파 에너지를 이용하여 소결공정을 20분 안에 끝마칠 수 있는 급속소결법으로 공정시간과 에너지를 크게 절감할 수 있었다.

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중유전율 LTCC 기판용 $CaZrO_3-CaTiO_3$계 세라믹스의 저온소결 및 유전특성 (Low-temperature Sintering and Dielectric Properties of $CaZrO_3-CaTiO_3$ Ceramics for Middle- Permittivity LTCC Substrate)

  • 박정현;최영진;고원준;박재환;박재관
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.17-22
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    • 2004
  • [ $CaZrO_3$ ]세라믹스에 대하여 $CaTiO_3$세라믹스의 첨가량 변동에 따른 마이크로파 유전특성을 조사하였다. 또한 중유전율 LTCC 기능성 기판으로 활용하기 위하여 저융점의 유리 프리트를 첨가하여 $CaZrO_3-CaTiO_3$ 세라믹스의 저온 소결 거동과 마이크로파 유전특성을 평가하였다. 저온 소결 조제로 사용된 저응점의 유리 프리트를 $10-20 wt\%$ 범위로 첨가함으로서 $CaZrO_3-CaTiO_3$ 세라믹스의 소결온도를 $1450^{\circ}C$에서 $900^{\circ}C$이하로 낮출 수 있었다. 음의 온도계수를 갖는 $CaZrO_3$ 및 유리프리트에 대하여 양의 온도계수를 갖는 $CaTiO_3$ 세라믹스의 분율을 적정히 제어함으로서 제로의 온도계수를 구현할 수 있었다. $CaZrO_3-CaTiO_3$ 세라믹스에 저온 소결용 유리 프리트를 $15 wt\%$ 첨가하여 $875^{\circ}C$에서 소결한 경우. 유전율(k) 23, 품질계수(Q${\times}$f) 2500, 공진 주파수 온도계수$(T_f) -3 ppm/^{\circ}C$의 매우 양호한 마이크로파 유전특성을 나타내었다.

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하소조건에 따른 $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$[BMT] 세라믹스의 마이크로파 유전특성 (Microwave Dielectric Properties of $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$[BMT] Ceramics with Ca1cining Condition)

  • 황태광;임성수;정장호;배선기;이영희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술
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    • pp.84-87
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    • 2000
  • The microwave dielectric properties of complex perovskite-structured $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ ceramics were investigated with calcining condition. The BMT ceramics were prepared by conventional mixed oxide method. Calcining conditions were $1200^{\circ}C$ for 10hr., $1300^{\circ}C$ for 2hr., and 5hr., respectively. And the specimens were sintered at $1650{\mu}m$. The structural and microwave properties of BMT ceramics were investigated by XRD, SEM and network analyzer. In the case of BMT ceramics calcined at $1300^{\circ}C$ for 5 hr., dielectric constant, quality factor and temperature coefficient of resonant frequency were 20.26, 31,144(at 1GHz), 6.11[ppm/$^{\circ}C$], respectively.

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