• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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• v.35D no.9
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• pp.42-47
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• 1998

We have fabricated electron-optical lens for micro E-beam system that can overcome the limitation of current E-beam lithography. Our electron-optical lens consists of multiple silicon electrodes which were fabricated by micromachining technology and assembled by anodic bonding. The assembled system was installed in UHV chamber to observe the emission characteristics of focused electrons by the electro-optical lens. We used STM(Scanning Tunneling Microscope) tip for electron source. By performing lithography with the focused electrons with PMMA(poly-methylmethacrylate) as E-beam resist. We could draw 0.13${\mu}{\textrm}{m}$ nano-scale lines.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1998.08a
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• pp.174-175
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• 1998

• 한국금형공학회:학술대회논문집
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• 2008.06a
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• pp.55-60
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• 2008

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1999.05a
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• pp.41-41
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• 1999

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2016.10a
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• pp.71-72
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• 2016

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.1375_1377
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• 2009

PD의 저항성은 에폭시원형을 포함한 3종류 즉, 에폭시 마이크로 콤포지트를 실란처리 및 미처리한 경우 그리고 나노-마이크로입자가 혼합된 콤포지트의 부분방전저항성을 연구하였다. 이들 재료들은 rod - gap - plane 전극 하에서 PD가 적용되었다. 원형에폭시수지보다 마이크로 콤포지트가 부분방전저항성이 우월하였다. 더욱이 SiO2 나노입자-마이크로 혼합된 콤포지트가 더욱더 큰 저항성을 얻었다. 이는 마이크로 입자사이로 나노입자가 치밀한 조직을 갖고 있기에 이러 우월한 특성을 나타낸 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.349-349
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• 2011

탄소나노튜브의 전자방출 특성을 활용하면 저전압으로 냉전자를 빠른 스위칭 속도로 전자를 용이하게 제어가 가능하다. 이로 인한 고성능 엑스선 소스를 이용하여 의료영상진단과 보안검색 분야에서 많이 사용될 것으로 예상이 된다. 본 연구에서는 고성능 탄소나노튜브 기반 엑스선의 미소초점 형성을 위한 전자 방출 시뮬레이션을 실시하였다. 3극관(애노드, 게이트, 캐소드)에서 2개의 포커싱 전극을 추가한 5극선관의 전자방출 궤적에 대한 시뮬레이션을 진행하였다. 3극관을 구성하여 애노드와 게이트에 일정 전압을 정해준 후, 2개의 포커싱 전극의 전압, 포커싱 전극간의 거리, 그리고 포커싱 전극의 내부직경을 조절함으로써 애노드 상에서의 전자의 초점이 작아지는 것을 알 수 있었다. 마이크로 포커스 엑스레이 소스는 의료영상진단에 있어서 고해상도 의료기기로의 응용이 가능하다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.20 no.6
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• pp.69-74
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• 2006

The effects of mechanical grinding(MG) treatment on the hydrogen storage of $Mg_2Ni$ alloy and $Mg_2Ni$ composite alloy($Mg_2Ni+graphite$) were investigated by pressure-composition-temperature(PCT) measurement, the micro-electrode technique of electrochemistry and etc, in which PCT was measured at high temperature(around $300[^{\circ}C]$) of gas phase and a carbon-filament micro-electrode for electrochemical evaluation was manipulated to make electrical contact with the particle in 1M KOH aqueous solution. It was found that the hydrogenation properties of $Mg_2Ni$ and graphite composite particle were greatly improved by the mechanical grinding treatment by which the $Mg_2Ni$ and graphite composite alloys could be changed into microstructure and nano-level particles. namely; the hydrogen dissociation pressure of PCT measurement was decreased from 0.55[MPa] to 0.42[MPa] and hydrogenation peaks by micro-electrode were also observed more clearly on the same sample.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.11a
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• pp.104-104
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• 2003

RF magnetron sputtering 법을 이용하여 LaA1O$_3$, SrTiO$_3$, MgO 단결정 기판 위에 BaTiO$_3$ 박막을 에피텍셜하게 증착하여 박막의 특성과 마이크로 웨이브에서의 유전특성을 평가하였다. 각 기판위에 증착한 박막의 격자상수와 FWHM을 조사하였고, pole figure로 에피텍셜 성장을 관찰하였다. 각 시편에 상부 전극으로 interdigital 타입의 전극을 photolithography 하여 캐패시턴스와 tan $\delta$을 조사하였다. 각 기판의 변화에 따른 격자상수 변화와 유전 특성의 변화를 고찰하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2001.04a
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• pp.1093-1096
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• 2001

Eletrochemical phenomenon are employed in the manufacturing of micro-electrochemical machining(micro-ECM). The application of controlled electrochemical metal removal in the fabrication of microstructures and microcomponents is refer to as micro-electrochemical machining. In this paper, we introduce a new method named $\ulcorner$point-electrode electro chemical machining method$\lrcorner$ was proposed to establish micro fabrication technology by use of electrochemical machining. And we find effect of the electrochemical phenomenon in several conditions.