RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Zn-In-Sn-O 다성분 투명 전극 제작 (Fabrication of multi-component Zn-In-Sn-O system transparant conductive oxide by RF magnetron co-sputtering)

• 손창식
• • 한국표면공학회:학술대회논문집
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  • 한국표면공학회 2006년도 춘계학술발표회 초록집
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  • pp.25-25
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  • 2006
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펄스 마그네트론 스퍼터링에 의한 태양전지용 AZO 박막의 대면적 동적 증착시의 균일도 문제

• 양원균;주정훈
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
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  • pp.136.2-136.2
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  • 2009
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RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 ZnO 박막의 배향성에 관한 TEM연구 (A TEM Study of Preferred Orientation of ZnO Thin Film by RF magnetron sputtering)

• 김정태;이정용
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1993년도 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집
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  • pp.128-129
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  • 1993
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RF-마그네트론 스퍼터링으로 제조된 $Li_{1-\delta}CoO_2$ 박막 전극을 통한 리튬 이동에 미치는 '셀-저항'의 영향 (Effect of 'Cell-impedance' on Lithium Transport through $Li_{1-\delta}CoO_2$ Film Electrode Prepared by RF-magnetron Sputtering)

• 고주영;변수일;신헌철
• • 한국전기화학회:학술대회논문집
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  • 한국전기화학회 2000년도 추계총회 및 학술발표회
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  • pp.29-29
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  • 2000
• PDF

DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰

• 진수봉;김성일;한전건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제34회 동계학술대회 초록집
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  • pp.157-157
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  • 2008
• PDF

그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

• 인정환;정민재;장홍영;한전건
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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  • pp.224-224
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  • 2004
• PDF

복합타게트법을 사용한 고주파 마그네트론 스퍼터링에서의 코발트-초기천이금속계박막의 조성 변화 (Compositional Change of Co-Early Transition Metals Thin Film in RF Magnetron Sputtering Using Composite Target Method)

• 김희중;한석희;강일구
• • 한국자기학회:학술대회 개요집
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  • 한국자기학회 1991년도 추계연구발표회 논문개요집
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  • pp.88-89
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  • 1991
• PDF

DC 마그네트론 스퍼터링을 이용한 단일 전자 소자용 금 나노 입자의 형성에 관한 연구 (A study on the formation of Au nano-particles by using DC magnetron sputtering for the single electron device)

• 김대온;윤태식;오지훈;김기범
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2000년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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  • pp.62-62
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  • 2000
• PDF

r.f 마그네트론 스퍼터링에서의 BN film의 합성 인자에 대한 고찰

• 문장원;나종주;권식철;변응선;이성훈
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.290-290
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  • 2008
• PDF

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 FTO/Glass 기판상에 성장시킨 염료감응 태양전지용 $TiO_2$ 박막의 특성 연구

• 정진아;최광혁;김한기
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.315-315
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  • 2008
• PDF

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