• Title/Summary/Keyword: 룸

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Measurement of NH$_3$ in Cleanroom Using a Coil Type Sampler Coupled with Ion Chromatography (코일형 샘플러와 이온크로마토그라피를 이용한 클린룸의 암모니아 측정)

  • 이응선;최성진;김혜영;김광영;유승교
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.70-71
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    • 2002

  • 암모니아 가스는 일반환경에서 뿐만 아니라 첨단 산업인 반도체 제조공정에서도 가장 주목하여 관리하여야 할 대상이다. 반도체 공정에서 암모니아 가스는 T-Topping, 광학 현미경의 헤이즈 현상 등을 일으키는 원인으로써 꾸준한 농도 관리가 요구되고 있다. 또한 관리 기준 농도가 점점 강화되면서 일부 공정에서는 sub ppbv까지 신뢰성 있는 측정치 요구되고 있다. 현재 클린룸에서의 암모니아 농도 관리는 일부 자동화 기기를 사용하고 있으나, 대부분의 경우 임핀저 샘플링을 이용한 불연속적인 농도 관리가 이루어지고 있다. (중략)

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The Qualitative Prediction for diffusion and transition of contaminants in the Clean Room by Numerical Flow Analysis (기류해석을 이용한 클린룸 내 오염물질의 확산경로 예측)

  • Jeong, Gi-Ho
    • Proceedings of the SAREK Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.382-386
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    • 2007

  • In this study, the qualitative prediction and evaluation of clean room being utilized for mass production of electrronic components have been performed with the help of flow simulation. Compared to the experimental analysis based on measurements of the number of particles, concentration of contaminants and flow characteristics, the numerical analysis used in this study is much cost-effective.

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