• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1997.04a
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• pp.1058-1062
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• 1997

Development of laser induced chemical etching technologt with KrF laser are carried out in this study for micromachining of silicon wafer. The paper is devoted to experimental identification of excimer laser induced mechanism of silicon under chlorine pressures(0.02~500torr). Experimental results on pulsed KrF excimer laser etching of silicon in chorine atmosphere are presented. Etching rate dependency on laser fluence and chlorine pressure are discussed on the basis of experimental analysis, it is concluded that accurate digital micro machining process of silicon wafer can achieved by KrF laser induced chemical etching technology.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.04a
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• pp.333-335
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• 2006

In this page, we developed the inspection system for automobile parts using the laser vision sensor. Laser vision sensor has gotten 2 dimensions information and third dimension information of laser vision camera using the vision camera. Used JIG and ROBOT for inspection position transfer. Also, computer integration system developed that control system component pal1s and manage data measurement information. Compare sensor measurement result with CAD Data and verified measurement result effectiveness taking advantage of CAD to get information of measurement object.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1996.11a
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• pp.51-55
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• 1996

본 연구에서는 숫돌면의 직접관찰에 의해 적정한 드레싱 시기를 결정하는 것에 관한 연구를 수행했다. 이를 위해, 와전류센서를 숫돌주위에 설치하여 숫돌면의 눈막힘량을 비접촉식으로 직접 측정하므로서 숫돌의 상태를 검출했다. 숫돌의 재생작용에 의한 정상연삭과 눈막힘에 의한 이상연삭의 구분은 검출된 눈막힘량과 가공면 표면거칠기의 상관괘적(Relational Locus)을 통해 드레싱 시기를 결정했다. 또한 이때의 숫돌면의 상태를 레이져 변위센서를 이용해 측정하고 3차원 Topography로 표현했다. 본 논문에서는 이러한 내용들에 대한 실험적 결과들을 소개한다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1994.10a
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• pp.163-168
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• 1994

Zinc coated steel sheets have been widely used in automotive industry. High power laser welding has been used as an excellent welding means for thin sheets. The welding residual stress, which was brought in laser welding, causes making weak the mechanical strength. The purpose of this study is to get the residual stress distribution in various laser welding condition by FEM and verify the results by X-Ray diffraction. Welding residual stresses have been calculated by thermal elasto-plastic analysis using finite element method. Form the results, it can be known that the laser welding condition affects to distribution of the residual stress.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2004.05a
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• pp.51-51
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• 2004

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2011.06a
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• pp.847-848
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• 2011

• Proceedings of the Korean Magnetic Resonance Society Conference
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• 2002.01a
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• pp.6-6
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• 2002

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.485-487
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• 2009

The Spatial Image contents of Geomorphology 3-D environment is focused by the requirement and importance in the fields such as, national land development plan, telecommunication facility management, railway construction, general construction engineering, Ubiquitous city development, safety and disaster prevention engineering. The currently used DEM system using contour lines, which embodies geographic information based on the 2-D digital maps and facility information has limitation in implementation in reproducing the 3-D spatial city. Moreover, this method often neglects the altitude of the rail way infrastructure which has narrow width and long length. This As the results, We confirmed the solutions of varieties application for railway facilities management using 3-D spatial image contents and database design. Also, I suggested that U-city using topographical modeling about matching methods of high density elevation value using 3-D aerial photo with laser data are best approach for detail stereo modeling and simulation.

• Journal of the Korean Institute of Intelligent Systems
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• v.23 no.5
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• pp.460-465
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• 2013

In this paper, we describe a security robot system to control human's behavior in the security area. In order to achieve these goals, we present a method for representing, tracking and human blocking by laserscanner systems in security area, with application to pedestrian tracking in a crowd. When it detects walking human who is for the security area, robot calculates his velocity vector, plans own path to forestall and interrupts him who want to head restricted area and starts to move along the estimated trajectory. While moving the robot continues these processes for adapting change of situation. After arriving at an opposite position human's walking direction, the robot advises him not to be headed more and change his course. The experimental results of estimating and tracking of the human in the wrong direction with the mobile robot are presented.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.265-265
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• 2014

일반적으로 태양전지 및 반도체 공정에서 불순물 주입 과정인 도핑(Doping)공정은 크게 몇 가지 방법으로 구분해 볼 수 있다. 소성로(Furnace)를 이용하여 열을 통해 불순물을 웨이퍼 내부로 확산시키는 열확산 방법과 진공 챔버 내부에서 전자기장을 걸어 이온을 극도로 가속시켜 진행하는 이온 주입(Ion implantation)이나 이온 샤워(Ion shower)를 이용한 도핑 방법이 있다. 또한 최근 자외영역 파장의 레이저광을 조사하여 광화학 반응에 의해 도펀트 물질를 분해하는 동시에 조사 부분을 용해하여 불순물을 도포하는 기법인 레이져 도핑(Laser doping) 방법이 개발중이다. 그러나 레이져나 이온 도핑 공정기술은 고가의 복잡한 장비가 필요하여 매출 수익성 및 대량생산에 비효율적이며 이온 주입에 의한 박막의 손상을 치료하기 위한 후속 어닐링(Post-annealing) 과정이 요구되는 단점을 가지고 있고 열확산 도핑 방법은 정량적인 불순물 주입 제어가 어렵고 시간 대비 생산량의 한계가 있다. 반면 대기압 플라즈마로 도핑을 할 경우 기존에 진공개념을 벗어나 공정상에서 보다 저가의 생산을 가능케 할 뿐아니라 멀티 플라즈마 소스 개발로 이어진다면 시간적인 측면에서도 단연 단축시킬 수가 있어 보다 대량 생산 공정에 효과적이다. 따라서 본 연구에서는 새로운 도핑 방법인 대기압 플라즈마를 이용한 도핑 공정기술의 가능성을 제안하고자 도핑 공정 시 웨이퍼 내 전류 패스(Current path)에 대한 메카니즘을 연구하였다. 대기압 플라즈마 방전 시 전류가 웨이퍼 내부에 흐를 때 발생되는 열을 이용하여 도핑이 되는 형식이란 점을 가정하고 이 점에 대한 원리를 증명하고자 실험을 진행하였다. 실험 방식은 그라운드(Ground) 내 웨이퍼의 위치와 웨이퍼 내 방전 위치에 따라 적외선 화상(IR image: Infrared image) 화상을 서로 비교하였다. 적외선 화상은 실험 조건에 따라 화상 내 고온의 표식이 상이하게 변하는 경향성을 나타내었다. 이 고온의 표식이 전류 패스라는 점을 증명하고자 시뮬레이션을 통해 자기장의 전산모사를 한 결과 전류 패스의 수직 방향으로 자기장이 형성이 됨을 확인하였으며 이는 즉 웨이퍼 내부 전류 패스에 따라 도핑이 된다는 사실을 명백히 말해주는 것이며 전류 패스 제어의 가능성과 이에 따라 SE(Selective Emitter) 공정 분야 응용 가능성을 보여준다.