• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.213-213
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• 2016

현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.8 no.5
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• pp.837-843
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• 1997

In oxidized polyethylene wax preparation, the effects of main parameters such as the property of used wax, oxidation time, oxidation temperature, air feed rates on the change of acid-numbers were investigated. The change in polymer property was also investigated. The results showed under given reaction conditions, the acid numbers with oxidation temperature increased upto $160^{\circ}C$, but at higher temperature, it decreased. The base resin which was lower molecular weight had higher acid number. The result showed molecular weight as a experimental parameter was more effective than density in oxidation experiment. In milder condition, free radical initiator was used for catalyst to get higher acid-numbers, which was successful in comparison to the non-catalyst system. Also the catalyst with longer half-life was efficient, in order of DCPO, HOPO and BPO.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.8 no.6
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• pp.886-892
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• 1997

There are many methods to synthesize polystyrene latex. Emulsion polymerization technique is commonly used commercially, but it requires a new technology to replace a traditional polymerization method because of the disadvantage of chemical initiator for environmental pollution. Since free radicals can be produced by ultrasound energy effect, polystyrene latex was synthesized using ultrasound energy instead of chemical initiator. As the ultrasonic irradiation time was increased, average molecular weight was increased and polydispersity was decreased. The degree of polymerization was increased with the concentration of SDS and maximum degree of polymerization was shown at 2wt.% SDS concentration and the reaction temperature of $40^{\circ}C$. During the course of polymerization, molecular weight was repeatedly fluctuated because of occurrence of depolymerization. Narrow molecular weight distribution polystyrene latex having controlled molecular weight was synthesized by controlling ultrasonic irradiation time and the concentration of SDS.

• Polymer(Korea)
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• v.30 no.5
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• pp.437-444
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• 2006

Reactive hydroxypropyl methylcellulose phthalate (reactive HPMCP) was synthesized by using a stepwise urethane reaction with isophorone diisocyanate (IPDI) and 2-hydroxyethyl moth acrylate (HEMA). Molecular weight, acid number, and critical micelle concentration (CMC) of the synthesized reactive HPMCP and pristine HPMCP were measured and used as a polymeric surfactant in the emulsion polymerizations of styrene. In the preparation of HPMCP-hybrid poly styrene nanoparticles, 6, 9, 12, 18, and 24 wt% of HPMCPs were introduced, and the maximum rate of polymerization ($R_{p,max}$), the average number of radicals per particle (n), particle size distribution were investigated. In addition, core - shell morphology of the nanoparticles were observed by using TEM and their thermal stabilities were measured by using TGA. Reactive HPMCP showed higher $R_{p,max}$, smaller particle size, larger values of n and gel contents as compared with pristine HPMCP, due to the vinyl groups from HEMA, which can be reacted with styrene oligomers, in the reactive HPMCP.

• Polymer(Korea)
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• v.35 no.6
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• pp.610-614
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• 2011

In this study, the effect of solvent on the pre-irradiation grafting of VBC(vinylbenzyl chloride) onto a ETFE(polyethylene-co-tetrafluoroethylene) was evaluated. ETFE film was irradiated to generate radical species onto its backbone chain. Each irradiated film was immersed into VBC monomer mixtures diluted with various solvents such as toluene, heptane, and isopropanol etc. for grafting process and then the degree of grafting of each film was measured. FTIR analysis confirmed that the VBC-g-ETFE film was successful prepared. For the films prepared in the various solvents, the mechanical strength and the distribution pattern of the graft polymer over the cross-section of the films were measured and the effect of solvent was evaluated.

• Proceedings of the Plant Resources Society of Korea Conference
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• 2019.04a
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• pp.99-99
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• 2019

꾸지뽕나무(Cudrania tricuspidata)는 뽕나무과(Moraceae)에 속하는 낙엽활엽 소교목이다. 우리나라와 중국, 일본과 같은 동아시아에 주로 분포하며 척박한 땅에서도 잘자라고 병충해에 강하다고 알려져 있다. 예로부터 꾸지뽕나무는 항암, 간보호, 눈을 밝게하는 작용이 있다고 동의보감과 신농본초경에 기록되어 있다. 우리나라는 오랫동안 된장 등 발효식품을 자주 접하고 섭취하여 왔다는 점을 고려하여 본 연구를 수행하였다. 발효균을 접종하면 항암활성, 면역체계 개선 등 다양한 생리활성 물질이 증가한다고 알려져 있다. 본 연구는 가시가 없고 잎이 커 작업성이 용이한 대품 품종을 2018년 9월에 전남 신안군에서 채취하여 분석 시료로 사용하였다. 항산화활성 측정은 프리라디칼(DPPH, ABTS) 소거능을 측정하여 농도(EC50)별 측정결과 $100{\mu}g/mL$ ext. 이하로 항산화 활성이 열매보다 잎이 높다는 것을 확인하였다. 황국균(Aspergillus oryae)을 꾸지뽕나무 잎과 열매에 접종시켜 페놀성화합물을 스크리닝 한 결과 기존에 발견되지 않은 Salicylic acid, Naringenin, Vanilic acid, Oxyresveratrol 등 기능성 물질이 발견되었고, 잎의 경우 36시간 발효물(355mg/g)은 무처리군(179mg/g)에 비해 2배정도 상승하였다. 열매의 경우 48시간 발효시켰을 경우(472mg/g)으로 무처리군(156mg/g)보다 3배정도 상승하였다. 발효를 통해 꾸지뽕나무 잎과 열매의 최적의 추출조건을 확립하고 생리활성 물질 분석을 이용한 효능탐색 등을 진행하였다. 향후 꾸지뽕나무를 활용한 식품 소재개발 등 사업화에 기초적인 자료를 제공하여 임업인의 새로운 소득품목 육성에 기어코자 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Crop Science Conference
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• 2022.10a
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• pp.263-263
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• 2022

물봉선속(Impatiens L.)은 일년생 또는 다년생 초본으로 우리나라에 5-7종이 분포한다. 물봉선의 화장품용 항산화제 및 천연 방부제로서의 유용성이 밝혀졌으며, 최근 항염, 항산화 등 생리활성에 대한 연구가 국내 자생하는 물봉선 및 노랑물봉선을 대상으로 수행된 바 있으나 이하 분류군에 대한 연구는 미비한 실정이다. 본 연구에서는 국내 자생하는 물봉선속 분류군들의 항산화활성과 생리 활성물질의 함량을 분석하고 지역 간 분류군별 차이를 확인하고자 하였다. 따라서 국내 자생하는 물봉선속 분류군들의 항산화활성을 검정하기 위하여 DPPH, ABTS, TPC, TFC 4가지 방법을 이용하여 분석하였다. 국내 자생하는 물봉선속 5분류군 가야물봉선(Impatiens atrosanguinea (Nakai) B.U.Oh & Y.P.Hong), 노랑물봉선(Impatiens noli-tangere L), 물봉선(Impatiens textorii Miq), 미색물봉선(Impatiens noli-tangere var. pallescens Nakai), 처진물봉선(Impatiens furcillata Hemsl)이 12개 지역에서 수집되었으며, 잎 추출물(70% 에탄올)에 대해 분석되었다. 물봉선속 분류군들의 잎 추출물의 DPPH 라디칼 소거 활성 검정 결과 가야물봉선(4.91 ± 3.00 mgAAE/g)이 가장 높았고 처진물봉선(1.77 ± 0.55 mgAAE/g)이 가장 낮았으며, ABTS의 경우 가야물봉선(3.14 ± 1.35 mgAAE/g)로 가장 높았고 미색물봉선(1.87 ± 0.16 mgAAE/g)이 가장 낮았다. TPC의 경우 미색물봉선(5.48 ± 1.05 ugGAE)이 가장 높았고 노랑물봉선(2.78 ± 1.98 ugGAE)이 가장 낮았으며, TFC의 경우 물봉선(0.70 ± 0.20 ugGAE/g)이 가장 높았고 노랑물봉선(0.45 ± 0.08 ugGAE/g)이 가장 낮게 나타났다. 수집지역별로는 각각 DPPH와 ABTS의 경우 노랑물봉선, TPC의 경우 가야물봉선, 노랑물봉선, 물봉선, TFC의 경우 처진물봉선이 지역별 차이를 보였다. 이번 연구 결과를 토대로 국내 자생하는 물봉선속 분류군 별 항산화활성과 생리활성물질 차이를 확인할 수 있었고 추후 유용 소재로써의 이용과 우수 개체선발에 도움이 될 것으로 사료 된다.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.22 no.3
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• pp.453-461
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• 2000

Aquatic humic substance (AHS) was extracted from Soyang lake water using XAD-8 resin. and its concentration distribution in the lake from May to October. 1997 was determined. Ozonation characteristics of the AHS were studied as factors of pH, carbonate ion concentration. and the biodegradability and structural changes of the AHS were also investigated after ozonaticn. DOC distribution in Soyang Lake water was 1~3 mg/L. and the concentrations of AHS ranged between 0.2~0.8 mg/L. which was corresponding to 20~30% of DOC. AHS was composed of around 20% of HA and 80% of FA. The optimum pH value for AHS ozonation was in range of pH 7~9. When carbonate ions were added for AHS ozonation as a ladical scavenger. it was found that DOC removals were decreased. and the absorbance decreases were increased slightly. Biodegradability of the ozonized AHS was 50% higher than that of unozonated AHS. $^{13}C-NMR$ analysis showed that the aromatic compounds of AHS, after ozonation, were decreased from 49% to 17%. and the aliphatic and carboxylic compounds were increased from 34% to 51% and from 17% to 32%. respectively.

• Journal of the Korean Society of Food Science and Nutrition
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• v.44 no.6
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• pp.862-873
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• 2015

In this study, we investigated the physiochemical properties and biological activities of Gangwon-do endemic Makjang (MJ) products (12 types). The pH levels of all samples were in the range of 4.43 to 5.69, and MJ5 showed the highest pH (5.69). The salinities of all samples ranged from 11.1% to 16.9%. Hunter color values for L (lightness), a (redness), and b (yellowness) ranged from 26.2 to 36.9, 3.9 to 11.5, and 6.5 to 16.6, respectively. The amino nitrogen content of MJ2 was highest, whereas the total content of free amino acids of MJ11 (4,657.7 mg%) was highest. Total fatty acid contents of all samples ranged from 1,598.6 mg% to 2,874.4 mg%, with MJ10 showing the highest fatty acid content. The content of total polyphenolic compounds ranged from 401.48 to $746.67{\mu}g$ tannic acid equivalent/mL, with MJ11 showing the highest content. The 1,1-diphenyl-2-picrylhydrazyl and 2,2'-azino-bis(3-ethylbenzothiozoline-6-sulfonic acid) radical scavenging effects of MJ11, MJ8, and MJ4 were 51.30% and 82.5%, 41.29% and 67.0%, and 49.88% and 87.7%, respectively. MJ12 showed the strongest growth inhibitory effect on lung cancer A549 cells, whereas MJ5 showed the strongest growth inhibitory effect on AGS gastric cancer cell and MCF-7 breast cancer cell. MJ7 showed greater lipid accumulation inhibitory activity in HepG2 cells than the others. ACE inhibitory activity of MJ11 was the highest among the samples.

• KOREAN JOURNAL OF CROP SCIENCE
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• v.58 no.4
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• pp.367-375
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• 2013

The rice bran, a by-product of rice milling process, is well known for various functional components, such as tocopherol, tocotrienol, ${\gamma}$-oryzanol, carrying antioxidant activities. This study was conducted to investigate the antioxidant components and antioxidant activities in rice bran of different Korean rice cultivars. The 8 isomers of vitamin E, ${\gamma}$-oryzanol, flavonoids, and polyphenolics in rice bran from 16 Korean premium and high quality rice cultivars were quantified. DPPH and ABTS radical scavenging activities and reducing power of the ethanol extracts of rice bran were measured. 'Hopum' showed the highest total vitamin E content, $221.47{\mu}g/g$ among the cultivars, and 'Hanseol' showed the lowest content. The rice bran showed different compositions of ${\alpha}-$, ${\beta}-$, ${\gamma}-$, ${\delta}-$ tocopherol and tocotrienol among rice cultivars. The antioxidant contents were also different by cultivar; the ${\gamma}$-oryzanol contents ranged from 1.99 mg/g (Unkwang) to 4.30 mg/g (Chilbo), the polyphenol contents ranged from 427.22 mg gallic acid eq./100 g (Odaebyeo) to 775.80 mg gallic acid eq./100 g (Hopum). 'Hopum' also had the highest DPPH and ABTS free radical scavenging activities, 9.82% and 187.5 AEAC mg/100 g, respectively. In vitro, the rice bran extracts from 'Hopum' had significantly higher antioxidant activities than that of other cultivars.