• Title/Summary/Keyword: 등가두께

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공정 플라즈마에서 실시간 유전박막두께 측정법의 보상연구

  • Lee, Yeong-Ho;Choe, Ik-Jin;Kim, Yu-Sin;Jang, Seong-Ho;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.442-442
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    • 2010
  • 공정 플라즈마 장치에서 이중 주파수법을 이용하여 실시간 유전박막 두께 측정법에 대한 보상연구를 하였다. 이중 주파수법은 유전박막과 플라즈마 쉬스를 간단한 전기적인 등가회로로 모델링하여 유전박막의 두께를 측정하는 방법이다. 이중 주파수법의 문제는 측정탐침의 인가전압에 따른 유전박막의 두께 측정치가 다르다는 점이다. 플라즈마 쉬스를 선형 저항만으로 등가하였기 때문에, 쉬스의 인가전압에 상관없이 쉬스 저항의 값이 일정하다는 가정이 존재한다. 그러나 쉬스 저항은 쉬스의 인가전압에 종속적이면서 비선형적인 특성을 갖는다. 측정 탐침에 출력 전압이 인가될 때 쉬스 양단에서 인가전압에 따른 쉬스의 등가저항의 비선형성을 고려하여 측정 탐침에 증착된 유전박막의 커패시턴스성분에 대한 방정식을 Numerical analysis로 풀어 유전박막의 두께 측정값을 보상하였다. 보상된 위의 방법으로 다양한 RF파워, 압력에 따라 $Al_2O_3$박막의 두께를 실시간으로 측정하여 비교하였다. 그 결과 이 방법은 낮은 플라즈마 밀도(${\sim}10^9cm^{-3}$)에서도 인가전압에 따른 유전 박막두께측정의 오차를 줄일 수 있었다.

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Generalized lens group conversion to their equivalent lenses (렌즈군의 일반화된 등가렌즈 변환)

  • 이종웅;박성찬
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.9 no.4
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    • pp.251-257
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    • 1998
  • The equivalent lens conversion is extended to lens group conversion, and the more generalized conversion method is developed. The new conversion method can be used for hte direct thick-to-thick lens conversion. By using the equivalent lens conversion, a thin lens system can be converted into various thick lens system which have different axial thicknesses, but those converted lens systems have identical paraxial property and similar aberration characteristic. For an example, the equivalent lens conversion technique is applied to modification of a thelephoto lens design. The axial thicknesses of the front group elements of the system are reduced to 75% of their original values. The modified design by using the equivalent lens conversion has same focal length with original, and it has smaller aberration changes than the other design of which axial thicknesses are changed only.

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A Study on Vibration Characteristics of Plate Structures Spot-Welded with respect to Area Ratio and Distance Ratio (점용접된 판 구조물의 면적비와 거리비에 따른 진동특성 연구)

  • Han, Dong-Seop;Ahn, Sung-Chan;Ahn, Chan-Woo;Han, Geun-Jo
    • Journal of Navigation and Port Research
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    • v.26 no.1
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    • pp.43-49
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    • 2002
  • In this Paper, the mechanical behavior of two reかangular plates spot-welded under free vibration is investigated in detail. The focus of the analysis is to evaluate the effect of thickness of reinforced plates with equivalent thickness. The results of this the investigation are compared with detailed finite element analysis end experiments of the plates spot-welded for various parameters, such as aspect ratio, arm ratio, and distance ratio of spot-welding Points. The conclusion obtained are as followed. 1. The effect thickness due to spot-weld is very large, such as 55% in comparison with area ratio of spot-welding joint is just 4.52%. 2 The effect of thickness with respect to the distance ratio is maximized when the distance ratio is 0.4.

Strength Behavior of Simply Supported Longitudinally Profiled Plates (단순지지 압연변두께 강판의 압축강도 특성)

  • Hwang, Won-Sup;Kim, Hyun-Min
    • Journal of Korean Society of Steel Construction
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    • v.13 no.3
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    • pp.245-254
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    • 2001
  • This paper presents the basic data for the strength behavior of longitudinally profiled plates(LP plate). The effects of loading conditions, thickness and slenderness ratio of plates are examined by using FEM analysis. The analysis results shown that the strength behavior of LP plate is varied with the loading conditions. The major causes of the reduction in strength are the distribution of deflection and the slenderness ratio of plate. Based on the results, this paper presents some discussions about the strength evaluation of LP plate with considering the equivalent thickness.

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A Study for an Analytic Conversion between Equivalent Lenses (등가렌즈의 해석적인 변환방법에 대한 연구)

  • Lee, Jong Ung
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.23 no.1
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    • pp.17-22
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    • 2012
  • An equivalent lens is a lens which has the same total power of refraction and the same paraxial imaging characteristics for the marginal rays as another lens, but has a different axial thickness. In this study, an analytic lens conversion from a thick lens to its equivalent lens is investigated, then it is shown that the equivalent lens is a solution of a quadratic equation. Every thick lens corresponds to one of two real roots of this quadratic equation. Therefore, except in the case of a unique solution, the equation has a conjugate solution, the other of the two roots. The conjugate solution has the same axial thickness, power, and paraxial imaging characteristics, but it has different shape and aberration characteristics. The characteristics of an equivalent lens and its conjugate solution are examined by using a sample lens.

재생아스팔트 포장의 구조설계 기술

  • Choe, Jun-Seong
    • 한국도로학회지:도로
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    • v.5 no.4 s.18
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    • pp.36-46
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    • 2003
  • 포장구조체에서 요구되는 강도를 갖게 하는 구조 설계의 방법은 경험적 절차부터 반역학적 절차까지 발전되어 왔다. 재생 가열아스팔트혼합물이 기존의 가열아스팔트혼합물(HMA)과 비교하여 비슷하거나 때에 따라 더 좋은 성능을 가져오므로, AASHTO설계지침서에서는 본질적으로 재생(recycled) HMA 재료와 신생(virgin) HMA 재료간의 차이가 없다고 기술하고 있으며, 기존 HMA 재료에 사용되는 덧씌우기설계법의 구조회복 분석방법(structural rehabilitation analysis method)을 재생포장설계에도 권장하고 있다. 재생 가열아스팔트의 설계를 위한 AASHTO 방법은 설계교통량, 교통량 및 수행능력예측의 신뢰수준, 공용기간, 그리고 포장상태 평가지수에 의하여 결정된 포장구조체에서 요구되는 포장두께지수(SN)에 기초한다. 포장두께지수(SN)는 포장층 두께, 상대강도계수, 각 층의 배수조건들의 곱의 조합으로서 나타내어질 수 있다. 덧씌우기로 간주될 수 있는 재생된 층의 포장두께지수(SN)는 기존 포장에서의 포장두께지수와 보강된 포장에서 요구되는 포장두께지수의 차이에 의하여 계산되어질 수 있다. 상대강도계수의 값은 AASHTO 설계지침에 명시되어 있다. AI 방법은 교통량, 노상의 회복탄성계수, 그리고 설계두께를 계산하기 위한 표층과 기층의 종류를 사용한다. 이 방법은 재생된 가열혼합물질과 기존의 가열혼합물질과는 거의 비슷한 성능을 나타낸다고 본다. 또다른 AI 방법에 의하면 재생된 층은 덧씌우기층이라고 간주하고, 현재의 포장두께와 요구되어지는 포장두께 사이의 차를 이용하여 재생될 층의 두께를 산정한다. 소요되는 덧씌우기 두께는 포장의 현장 상태지수(condition rating)와 각 종류에 따른 포장체와 포장재료가 아스팔트 콘크리트층의 등가두께로 전환되어 나타나는 방법에 근거하여 결정될 수 있다. 또 다른 방법은 포장체 각 층의 물성과 하중을 이용한 컴퓨터 프로그램에 의하여 산정된 하중-변형 응답에 의한 설계 방법을 포함한다. 이런 방법들에서는 포장체는 탄성이나 점탄성층 위에서 탄성이나 점탄성 거동을 보인다고 가정한다. 재생 상온혼합물에서의 AASHTO 설계 방법은 가열혼합물의 설계방법과 유사하다. 그러나, 재생 상온혼합물에서의 상대강도계수는 시공방법에 좌우되므로, 기술자의 판단을 근거로 하여 결정되어져야 한다. AI방법에서는 포장구조체를 다층탄성구조라고 보고, 노상의 강도와 설계 교통량을 근거로 요구되는 포장두께를 결정한다. 재생 상온혼합물 기층의 두께는 재생 상온혼합물 기충 위에서 가열아스팔혼합물에 대하여 산정된 덧씌우기 두께를 이용하여 결정할 수 있다. 아스팔트 표면의 재생은 기존 포장의 구조적 능력을 정상적으로 개선할 수 없으므로, 표면 재생의 두께를 설계하는 방법은 없다. 그러나, 임의의 덧씌우기 두께는 기존의 덧씌우기 설계법에 기초하여 산정 할 수 있다. 만약 덧씌우기가 승차감만을 개선시킨다고 여겨진다면, 혼합물에서 사용되어지는 최대 골재 크기에 기초한 최소 두께를 결정할 수 있다.

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Strength Evaluation of a Doubler Plate of Ship Structure subjected to the Biaxial In-plane Compression (양축방향 면내 압축하중을 받는 선박 이중판의 강도 평가)

  • Juh-Hyeok Ham
    • Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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    • v.38 no.1
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    • pp.72-85
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    • 2001
  • A study for the structural strength evaluation on the doubler plate subjected to the biaxial in-plane compression has been performed through the systematic evaluation process. In order to estimate the proper static strength of doubler plate, elasto-plastic large deflection analysis is introduced including the contact effect between main plate and doubler. The characteristics of stiffness and strength variation are discussed based on their results. A1so, in order to compare the doubler structure with the original strength of main plate without doubler, a simple formula for the evaluation of the equivalent flat plate thickness is derived based on the additional series analysis of flat plate structure. Using this derived equation, the thickness change of a equivalent flat plate is analyzed according to the variation of various design parameters of doubler plate and some design guides are suggested in order to maintain the original strength of main plate without doubler reinforcement. Finally, correlation between derived equivalent flat plate formula and the developed buckling strength formulas by author et a1. is discovered and these relations are formulated for the future development of simple strength evaluation formula of doubler plate structure.

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Strength Analysis of a Slender Doubler Plate of Ship Structure subjected to the Longitudinal In-plane Compression (종방향 면내 압출하중을 받는 세장한 선박 이중판의 강도 해석)

  • Juh-Hyeok Ham
    • Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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    • v.37 no.4
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    • pp.92-105
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    • 2000
  • A study for the structural strength evaluation on the slender doubler plate has been performed through the systematic evaluation process. In order to estimate the proper static strength of doubler plate subjected to the longitudinal in-plane compression, elasto-plastic large deflection analysis is introduced including the contact effect between main plate and doubler. The characteristics of stiffness and strength variation are discussed based on their results. Also, in order to compare the doubler structure with the original strength of main plate without doubler, a simple formula for the evaluation of the equivalent flat plate thickness is derived based on the additional series analysis of flat plate structure. Using this derived equation, the thickness change of a equivalent flat plate is analyzed according to the variation of various design parameters of doubler plate and some design guides are suggested in order to maintain the original strength of main plate without doubler reinforcement. Finally, correlation between derived equivalent flat plate formula and the developed buckling strength formulas by author et al. is discovered and these relations are formulated for the future development of simple strength evaluation formula of doubler plate structure.

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Behaviors of Frost Formation on a Plate Fin Considering Fin Heat Conduction (휜의 열전도를 고려한 평판 휜에서의 착상 거동)

  • Kim, Jeong-Su
    • The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea
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    • v.38 no.12
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    • pp.51-60
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    • 2009
  • 본 연구에서는 착상 조건 하에서 열교환기 휜의 열전도를 고려하여 휜 표면에서의 착상 거동을 예측하기 위하여 수학적 모델을 제시한다. 이 때, 공기측은 착상 현상에 대한 3차원 유동 변화의 영향을 고려한다. 서리층 두께에 대한 해석 결과는 실험 결과를 최대 10% 오차 내에서 잘 예측한다. 유동에 수직한 방향(z-dir.)의 서리층 두께 성장은 휜의 열전도에 의해 휜 바탕 근처에서 활발하고, 휜 끝으로 갈수록 지수함수적으로 둔화된다. 휜의 열전도를 고려한 경우에 비해 휜의 표면온도가 일정한 조건에서 서리층 두께는 최대 2배, 열전달량은 평군 10% 정도 과대 예측한다. 따라서, 열교환기 휜에서의 착상 거동을 정확하게 예측하기 위해 착상 모델 해석 시 휜의 열전도를 고려해야 한다. 휜의 열전도 고려 유무에 따른 착상 거동의 차이를 보완하기 위해 열전달량에 대한 등가온도를 산출하며, 이를 근거로 무차원 등가 온도 상관식을 도출한다.

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A Study on the Characteritics of inductively Coupled Plasma by Numerical Simulation (수치해석에 의한 유도결합 플라즈마의 특성연구)

  • 김윤택;노영수;이홍식;황기웅
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.3 no.4
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    • pp.457-465
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    • 1994
  • 유도결합 플라즈마의 해석식으로 양극성 확산, 정상상태를 가정한 확산식, 열평형식과 변위전류 를 무시한 맥스웰 식을 사용하였다. 해석기법으로는 유한 차분법과 적분법을 축대칭 2차원(R, Z)모델에 적용하였다. 유도 결합 플라즈마장치의 RF 전력, 압력, 석영창 두께, 차폐부 높이에 따른 전자온도, 전자 밀도, 등가 정항 등가 인덕턴스 효율 결합계수 K, Q-factor의 변화를 구하였다. 특히 등가정항은 진공챔 버, 차폐부 및 코일의 손실저항을 고려하여 구하였다.

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