• 한국감성과학회:학술대회논문집
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• 한국감성과학회 2009년도 춘계학술대회
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• pp.207-208
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• 2009

B-모드 초음파를 이용한 경동맥 내중막 두께(IMT intima-media thickness) 측정은 관상동맥 질환이나 허혈성 뇌질환 위험도의 독립적인 인자로 매우 중요하다. 본 연구에서는 NTSC(national television system committee) 방식으로 경동씩 초음파 동영상신호를 획득하여 프레임으로 나누어 각각의 IMT를 측정하였다. 각각의 측정값을 시간축으로 재구성하여 시간도메인에서 IMT 의 시변동성을 분석하였다. IMT 시변동성 분석을 통하여 상대적으로 부정맥피험자가 정상피험자에 비해 IMT 평균값이 작아 위험도가 낮다고 평가 될 수 있지만 시변동성 분석으로 IMT 평균값이 작아도 혈관의 기능적 특징이 부족하여 위험도가 높다는 것을 알 수 있었다. 경동맥의 형태적 특징과 기능적 특징을 반영하는 이 분석방법은 경동맥 내중막 두께측정의 신뢰성을 향상시키며 관련질환의 위험도와 중증도를 세분화 할 수 있는 새로운 방법이 될 수 있을 것이다.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권6호
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• pp.15-21
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• 2004

반도체 제조산업과 나노, 바이오 산업의 비약적 발전에 따라 게이트 산화막(gate oxide)과 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 유전체 박막(dielectric film)의 두께는 수 $\mu\textrm{m}$에서 수 nm 에 이르기까지 다양할 뿐 아니라 얇아지고 있으며, 또한 이러한 박막들이 다층으로 복잡하게 적층된 다층 박막의 응용이 높아지는 추세이다. 따라서, 반도체 및 광통신 소자, 발광소자, 바이오 칩 어레이 등과 같은 나노박막을 이용하는 산업에서는 박막의 두께 측정을 더욱 정확하고, 보다 빠르며 효율적으로 측정할 수 있는 박막 두께 측정용 계측기가 요구된다.(중략)

• 한국광학회지
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• 제27권4호
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• pp.143-150
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• 2016

분광광도계로 측정된 반사율 데이터를 활용하여 다층박막 각 층의 두께를 푸리에 변환 방법으로 결정하였다. 이를 위하여 이론적인 3층 다층박막 반사율 데이터를 생성하고 자체 작성한 Matlab 프로그램으로 델타함수의 피크 발생위치로부터 각 층의 두께를 결정하였으며, 박막의 광학적 두께가 730 nm 이상이 되는 경우 결정된 두께 오차는 1.0% 이하임을 알 수 있었다. 이 방법을 사용하여 바 코팅 방법으로 제작된 PI-(얇은 $SiO_2$)-PI 다층박막의 두께를 결정하고 그 결과를 SEM 측정결과와 비교하였다. 본 두께측정 방법은 각 층의 굴절률과 박막의 순서를 미리 인지하고 있어야 하는 단점이 있으나, 비파괴적인 방법으로 빠르게 다층 박막의 두께 분포를 결정할 수 있는 방법임을 확인하였다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제22권2호
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• pp.134-138
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• 2021

스마트폰 등에서 사용되는 고성능 디스플레이에는 다양한 종류의 정밀한 플라스틱 박막 필름(Plastic Thin Film)이 사용되고 있다. 롤투롤(Roll-To-Roll) 공정으로 제조되는 플라스틱 박막 필름은 생산 공정 중에 실시간으로 필름의 두께가 계측되고, 정확하게 관리되어야 한다. 필름 제조 과정에서 필름에 장력이 작용하면서 주름이 발생되고, 이러한 주름 발생은 필름의 두께 방향과 두께 측정기의 광축이 서로 경사지게 한다. 결국 두께 측정기는 필름의 수직 두께가 아닌 경사진 두께를 측정하게 됨으로써 실제 두께보다 더 큰 값으로 측정하게 된다. 본 연구에서는, 플라스틱 필름의 경사로 인하여 발생하게 되는 두께 측정기에서의 계측값 오차를 보정하기 위하여, 필름의 경사 각도를 계측하는 연구가 진행되었다. 플라스틱 필름에 슬릿 빔 레이저를 조사하고, 필름에서 반사되는 슬릿 빔 레이저가 PSD(Position Sensitive Device)에 맺히는 광학 시스템을 구성하였으며, 실험을 통하여 필름의 경사 각도와 PSD 출력값의 관계를 1차 방정식 형태로 구하였다. 이를 이용하여 필름의 경사 각도를 측정하는 장치가 구축되었으며, 250KHz의 속도로 경사 각도의 측정이 가능하였다.

• EDISON SW 활용 경진대회 논문집
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• 제3회(2014년)
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• pp.450-453
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• 2014

쇼트키 장벽 모스펫(Schottky barrier MOSFETs : SB-MOSFETs)은 SB높이(${\Phi}_B$)에 매우 민감하다. 그래서 ${\Phi}_B$를 줄이는 공정 방법에 대한 연구가 활발히 진행 중이다. 이러한 ${\Phi}_B$를 측정할 때, SB-MOSFETs에서가 아닌 SB 다이오드에서 측정이 이뤄지고 있다. 본 논문에서는 ${\Phi}_B$를 SB-MOSFETs에서 측정 할 수 있는 방법을 제안하고 전산모사를 통하여 채널의 길이와 두께, Overlap / Underlap 구조, 온도 등에 대한 의존성을 살펴 보았다. 그 결과 채널의 길이와 두께, Overlap / Underlap 구조에 따른 의존성은 없는 것으로 확인되었다. 하지만 20nm 이하의 채널의 소자에 대해서는 소스/드레인간 터널링 전류로 인해 정확한 ${\Phi}_B$ 측정이 불가능하였다. 그리고 저온에서 측정할 때 정확도가 높아짐을 확인하였다.

• 한국광학회지
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• 제10권5호
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• pp.373-378
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• 1999

투명한 유전체 박막과 관련된 측정 분야는 반도체 산업의 발전과 함께 급속히 성장하고 있으며, 회로의 고집적화 추세에 맞추어 고정밀도의 측정 성능을 요구하고 있다. 최근 웨이퍼의 광역 평탄화를 위한 CMP(chemical mechanical polishing)공정의 도입으로 인하여 박막의 두께뿐만 아니라 미세 형상에 대한 측정 요구가 증가하고 있다. 이 논문에서는 기존의 비접촉 표면 형상 측정법의 하나인 백색광 주사 간섭법을 이용하여 박막의 두께 형상을 측정하여 새로운 측정 알고리즘 제시하고자 한다. 이 방법은 기존의 백색광 간섭 신호 해석법의 하나인 주파수 분석법과 비선형 최소 자승법을 이용함으로써 구현된다. 그리고 실험을 통하여 개발된 알고리즘의 타당성을 검증한다.

• 한국지능시스템학회:학술대회논문집
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• 한국퍼지및지능시스템학회 2006년도 춘계학술대회 학술발표 논문집 제16권 제1호
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• pp.231-234
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• 2006

과거 디스플레이 장치로서 사용되던 CRT를 대신하여, 상대적으로 두께가 않고 가벼운 영상장치인 평판 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)의 사용이 급증하고 있다. 이렇게 평판표시장치(Flat Panel Display) 산업의 폭발적인 성장과 함께 새로운 공정개발을 통해 짧은 시간에 더 많은 양을 생산하고, 불량률을 낮추는가에 생산업체의 사활이 달려있다. 본 논문은 FPD 공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 비중이 큰 박막 두께의 제어를 지능화 알고리즘을 통해 해결하고자 한다. 이는 불필요한 과정을 줄여 공정경비를 절감 및 소요시간을 단축하고, 정밀하게 두께를 측정하는 것을 가능하게 한다. 마지막으로, 제안한 알고리즘을 광 간섭 두께 측정기를 통해 얻은 실제 값을 가지고 시료의 두께를 측정한다.

• 한국재료학회지
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• 제5권3호
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• pp.310-315
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• 1995

기계적으로 연마한 고속도강과 구리 두 종류의 서로 다른 기판상에 dc 마그네트론 스파터법으로 TiN 박막을 성막시켜 코팅층의 비커스 미소경도를 측정하였다. 압입체의 침투깊이와 시험하중과의 관계를 log-log 좌표상에 도시함으로써 기판의 영햐응ㄹ 받지 않고 코팅층만의 경도를 측정할수 있는 최대하중인 임계하중(critical load)을 구할수 있었다. 임계하중을 가했을 때 압입체의 침투깊이와 코팅층 두께간의 비율은 코팅층의 두께에 무관하였고 기판의 경도에 크게 의존하였다.

• 한국멀티미디어학회:학술대회논문집
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• 한국멀티미디어학회 2003년도 춘계학술발표대회논문집
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• pp.198-201
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• 2003

사용자의 요구 사항을 정확히 분석하여 효과적으로 개발 단계에 적용하기 위해 문서간의 의존성, 즉 상·하위 문서간의 연계성 등을 측정할 수 있는 방법에 대한 연구가 절실한데 이를 위해 적게는 두 용어가 얼마나 밀접한 관련이 있는가를 나타내는 용어간의 유사도 정보가 중요시된다. 이에 본 논문은 임의의 두 문서에 대한 다양한 유사도 측정방법을 통하여 최적의 유사도를 알아보고 두 문서간 유사여부를 검증하기 위해 Neural Network을 적용하였다. 이러한 유사도 측정과 검증 방법은 분산환경에서 입력되는 요구사항 문서들을 효율적으로 분류, 관리해 줄 수 있으며 사용자 요구사항 분석과 전체 Project 수행에 좋은 기초자료를 제공해 줄 수 있다.

• 한국음향학회지
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• 제41권5호
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• pp.557-563
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• 2022

경골의 피질골 두께는 골절 위험 및 전반적인 골 상태와 관련이 있다. 본 연구의 목적은 생체 외 조건의 소경골에서 초음파를 이용하여 피질골 두께를 측정하기 위한 두 가지 다른 방법의 타당성을 조사하는 것이다. 반사법에서 경골의 피질골 두께는 신호 포락선에서 특정 피크를 생성하는 골외막 및 골내막으로부터의 초음파 반사로부터 결정되었다. 축방향 전달법에서 경골의 피질골 두께는 경골의 축방향을 따라 측정된 유도 초음파의 속도로부터 결정되었다. 반사법을 이용하여 측정된 피질골 두께는 캘리퍼스를 이용하여 측정된 피질골 두께와 r = 0.97(p < 0.0001)의 유의미한 피어슨 상관관계수를 나타냈다. 반면, 축방향 전달법을 이용하여 측정된 피질골 두께는 캘리퍼스를 이용하여 측정된 피질골 두께와 최초 도달 신호 방법의 경우에 r = 0.92(p < 0.0001), 느린 유도파 방법의 경우에 r = 0.89(p < 0.0001)의 상관관계수를 나타냈다. 본 연구에서 제시된 초음파 측정법이 골다공증의 스크리닝 도구로서 유용할 수 있고, 잠재적으로 대퇴골 및 요골과 같은 다른 골격 부위에 적용될 수 있는지 여부를 확인하기 위해서는 생체 내 조건에서 임상적 타당성이 입증되어야 한다.