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ZnS thermal CVD's solution of phenomenon of roughing exhaust line blockage for increasing continous process time

  • 조용범;김진철;최우성;정원호;우시관
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.117-117
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    • 2016
  • 일반적인 박막 성장용 CVD는 막 성장 시간이 짧게는 수분에서 수시간 정도 소요하기 때문에 장비에 문제가 발생 할 시 조치를 취하고 다음 현상을 개선하기에 용이 하였다. 그리고 대분분의 장비가 국산화되어 있을 만큼 많은 경험치가 축척되어 있다. 그러나 2, 4 족 화합물 성장용 CVD는 고아학 렌즈 생산용 장비로 국내에서는 아직 생소하고 공정 경험이 없는 새로운 장비이다. 2,4 족 화합물의 특징은 다음과 같다. 2,4 족 화합물은 M, N 이라는 두가 물질이 결합하여 형성한다. 2,4 족 화합물은 높은 융점과 낮은 증기압을 갖니다. 이런 물질들은 고온에서 아래와 같이 평형적으로 반응한다. $$nMN_{(s)}=nM_{(g)}+Nn_{(g)}$$ 화합물인 $MN_{(g)}$의 상태로 존재할 수 있으나 일바적으로 n=2인 4족 원소의 2원자 분자로된 기체가 지배적이다. 증기상을 이용한 성장 공정에서는 구성 원자나 분자를 만들어내는 단계, 이들을 공급원에서 기판까지 수송하는 단계, 기판 위에 흡착하는 단계, 핵의 생성과 단결정을 생성하는 단계, 필요치 않는 구성물을 제거하는 단계를 거쳐 공정이 진행 된다. 각 공정은 성장 물질에 충분한 자유도를 주어야하고 자유도를 주기 위해서는 많은 열에너지가 공급 되어야 한다. 따라서 기존의 박막 성장 공정 보다 성장 속도가 느리고 증착하는 양보다는 버리는 양이 많으며 버려지는 성장물질들은 급격한 온도 변화가 생기는 곳에서 급격히 증착하기 시작한다. 본 성장 공정이 진행되는 압력은 30 torr 부근이며 공정 온도는 $1000^{\circ}C$ 부근이다. 30 torr 영역에서는 열전달이 대기압과 같은 속도로 진행되기 때문에 지속적으로 온도에의해 손상을 받는 부위가 있을 수 있다. 높은 공정 온도와 높은 공정 압력은 내부 구조물로 발생된 열을 빠르게 장비 표면으로 수송하게 되고 그 결과 장비의 연결 부분에 장착된 오링에 손상을 주게 된다. 오링 손상을 방지 하기위해 냉각수 라인을 형성하여 오링을 보호하게 되면 열역학적 기울기가 급격히 발생하는 부분이므로 CVD의 반응 부산물들이 빠른 시간동안 증착하게 되고 막히는 현상이 발생하게 된다. 목표한 두게까지 박막을 성장시키기 위해서는 장시간 공정이 필수이며 장시간 공정을 안정적으로 가져가지 위해서는 배기 라인의 막힘 현상을 해결하여야 한다. 본 논문에서는 막힘 현상의 진행을 시간에 따라 해석하였으며 장시간 공정을 진행하기위해 필요한 요소와 기구적으로 조치가 가능한 방법에 대해 작성하였다.

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해양유출유의 형광지문에 의한 식별연구 (Identification of Spilled Oils in the Marine Environment by Fluorescence Fingerprints and Library Search System)

  • 박용철;김영희;이창섭;이기복
    • 한국해양학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.295-303
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    • 1991
  • 해양에 유출되는 유류오염의 정확하고 신속한 식별을 기하기 위하여 국내에 반입 되는 33종의 원유와 기타 6종 등 총 39종 유류의 형광특성을 연구하였다. 연구결과 각 유류는 내포되어 있는 방향족 화합물의 특성에 따라 독특한 유류지문도를 보였다. 이 들에 대한 다변량 통계분석의 결과 대체로 2개의 유류군으로 대분되었다. 이들 유류가 해양에 유출된 뒤 10일이 경과되어도 물리화학적 풍화작용과 미생물에 의한 분해작용 에도 불구하고 본 연구의 기법으로 오염 유류원을 식별할 수 있었다. 이에 반하여 GC 에 의한 조사에서는 6일 경과된 풍화유출유의 경우 탄소수가 12 이하인 화합물의 상당 부분이 소실되어 나타나 유류식별이 어려웠다. 따라서 본 연구로 해양에 유출된 유류 의 정확하고 신속한 유류원 판별 식법으로 형광지문이 검증되었으며 풍화과정이 형광 지문특성에 미치는 영향과 형광특성 측정을 이용한 응용방법이 논의되었다.

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CGE모형 추정결과를 이용한 국가 R&D 투자 우선순위 설정 (Prioritization of National R&D Investment Using Estimation Results by CGE Model)

  • 임병인;안승구
    • 기술혁신연구
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    • 제19권3호
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    • pp.57-83
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    • 2011
  • 본 연구에서는 CGE(Computable General Equilibrium)모형을 이용하여 28개 산업별 R&D투자액의 GDP 파급효과를 추정한 뒤, 그 결과로써 GDP의 R&D투자탄력성을 계산하여 산업별 R&D 투자 우선순위를 제시하였다. 우선순위는 28개 대분류 산업 중 전체 연구 개발투자에서 차지하는 비중이 1% 미만인 16개 산업을 제외한 12개 산업에 대해서만 적용해 보았다. 먼저 GDP의 R&D투자 탄력성에 근거한 우선순위는 제1차 금속제품, 화학제품, 음식료품, 전기 및 전자기기, 수송장비, 금속제품, 정밀기기, 전력 가스 및 수도, 일반기계, 통신 및 방송, 건설, 사회 및 기타 서비스, 부동산 및 사업 서비스 순이었다. GDP의 R&D투자탄력성에 근거한 순위설정은 비교적 우리나라 산업들의 현황을 잘 보여주고 있는 것으로 판단된다. 보조 지표인 2030년 기준 균형 대비 GDP 증가율에 근거한 우선순위 역시 판정기준으로 유사한 결과를 보여주었다. 결국 두 개의 우선순위 기준은 국가과학기술위원회의 R&D예산투자방향 및 기준 설정과 주요 사업별 예산배분 방향에 좋은 판정기준으로 활용될 수 있음을 보여주었다.

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사용자 중심의 홈페이지 분류체계가 분류 검색에 미치는 효과 (The Effect of User-Centered Categorization System of Homepages on Directory Search)

  • 박창호;염성숙;이정모
    • 인지과학
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    • 제11권1호
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    • pp.47-65
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    • 2000
  • 정보검색 엔진이 제공하는 홈페이지의 분류체계는 사용자보다는 시스템을 고려하여 구성되기 쉽다. 본 연구는 대표적인 검색엔진들을 중심으로 분류체계에서 대분류 및 중분류에 대한 사용자들의 심성 모형을 조사하고, 이를 바탕으로 중복 분류체계와 단선 분류체계를 구성하였다. 중복 분류체계에서는 한 하위 분류 명이 여러 상위 분류에 소속될수 있으며, 단선 분류체계에서는 그렇지 않다. 심마니 분류체계를 포함시켜, 세 분류체계를 디자인한 다음 검색 문제를 제시하여 이에 대한 분류 검색 수행을 2차에 걸쳐 관찰하였다. 정답 빈도. 검색에 소요된 단계수 및 경과한 시간 등의 자료를 종합적으로 볼 때, 중복 분류체계에서의 수행이 다른 두 조건보다 좋았다. 이는 적절한 분류체계에서 분류 검색이 향상될 수 있음을 시사한다. 그러나, 분류체계에 대한 재인 검사 점수는 단선 분류체계에서 가장 좋았다. 이는 분류 검색 수행과 분류체계의 재인 기억이 분류체계의 학습에서 상이한 측면을 반영할 것임을 시사한다. 끝으로 분류의 조직화, 인터페이스 방식, 사전지식, 탐색학습 및 응용 영역에 대한 논의가 있었다.

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문화콘텐츠기술(CT) R&D 연계 고령친화산업의 수요와 공급에 관한 탐색적 연구 (An Exploratory Study on the Demand & Supply to Senior friendly industry to Culture Contents Technology(CT) R&D)

  • 김연정
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제10권12호
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    • pp.3848-3855
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    • 2009
  • 본 논문은 노인세대를 위한 고령친화산업으로서 노인여가산업과 관련된 정보기술(IT, CT)의 참여현황을 분석하고 노인을 포함한 소외계층을 타겟으로 한 '공공문화서비스' 분야의 CT R&D 로드맵과 현재의 기술현황을 제시함으로써 향후 베이비부머 세대 소비계층의 정보기술의 니즈를 충족시킬 수 있는 콘텐츠 기술(CT) R&D 분야의 정책적 방향을 제시하고자 한다. 고령친화 CT R&D의 수요측면에서 지식정보 고령친화산업의 성장과 정보통신기술, 문화콘텐츠 기술 참여 수요와 여가문화를 분석하여 디지털 기기와 서비스에 대한 중노년층의 참여현황을 분석하였다. 고령친화 문화콘텐츠산업의 기술 R&D 공급 분석에서는 문화관광부가 정한 주요 CT R&D 산업의 대분류 중 '게임'과 노인, 장애인을 타겟으로 한 '공공문화서비스 분야'의 기술공급 현황을 분석하였다. 고령친화 문화콘텐츠 산업의 기술 R&D는 창의적이고 감성적이고 경험에 기반 하는 소통할 수 있는 콘텐츠가 포함되어야 하며, 건강, 경제적 안정성과 정보의 공유와 같이 비 게임적 요소들에 대한 니즈를 충족시켜야 하는 것으로 나타났다.

인용 이미지 구축자 프로파일링을 이용한 국내 여성학 분야 연구 전선 분석 (Analyzing the Research Fronts of Women's Studies in Korea Using Citation Image Makers Profiling)

  • 김조아;이재윤
    • 정보관리학회지
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    • 제33권2호
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    • pp.201-225
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    • 2016
  • 학제적 분야의 연구 전선을 분석하는 새로운 기법으로 인용 이미지 구축자 프로파일링 기법을 제안하였다. 인용 이미지 구축자 프로파일링은 해당 문헌을 인용한 문헌의 표제어를 단서로 사용하여 문헌 간의 주제관계를 파악하는 방법이다. 이 연구에서는 시험적으로 국내 여성학 연구를 대상으로 인용 이미지 구축자 프로파일링 기법을 적용하여 연구 전선과 주요 연구 주제를 파악해보았다. 분석 대상은 KCI의 2015년 기준 여성학분야 인용빈도 10회 이상에 해당하는 핵심문헌 집합이다. 여성학 분야에 문헌동시인용 기법을 적용한 결과 인용 데이터 부족 때문에 어려움이 있었던 반면에, 인용 이미지 구축자 프로파일링 기법을 적용한 결과 성공적으로 2개 대분야 및 6개 소분야를 파악할 수 있었다. 이 연구에서 제안한 인용 이미지 구축자 프로파일링 기법은 학제적 연구분야의 동향을 파악하는데 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

학제 간 융합연구 활성화 방안 연구 (Facilitating Interdisciplinary Research: An Analysis of Grant Proposal Acceptance Rates in South Korea)

  • 조성겸;이광희
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제18권5호
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    • pp.539-544
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    • 2018
  • 최근 융합연구의 중요성이 부각되고, 정부차원의 재정지원이 확대되고 있다. 실제 많은 연구자들이 융합 과제를 신청하는 것으로 조사되었다. 2017년에 신청한 4,930건의 인문사회 기초연구사업 연구과제를 학제간 연계성을 조사 분석한 결과 52.2%에 이르는 2,575건이 연구분야 대분류 기준으로 1개 이상의 다른 연구 분야와 연계된 것으로 나타나 융합연구로 분류될 수 있었다. 이렇게 분류된 융합연구 과제의 최종 지원 및 선정률이 단일분야(42.1%)보다 7.1% 낮은 35%로 분석되었다. 이 조사결과에 기초할 때 인문사회 기초 연구에 학제 간 연계성을 띄는 연구과제의 비중이 많음에도 불구하고, 심사평가에서 융합연구의 특성이 적절하게 반영되지 못하고 있는 것으로 보인다. 향후, 학제 간 융합연구의 활성화를 위해 연구지원 분류체계에 융합연구의 분류기준을 마련하고, 연구과제 심사평가 시 학제 간 융합연구 과제의 특성이 고려될 수 있도록 평가방안을 정비할 필요가 있다.

특허 분석을 통한 산사태재해 관련 기술개발 전략 (Strategy of Technology Development for Landslide Hazards by Patent Analysis)

  • 배기수;송영화;채병곤;최정해;손정근
    • 지질공학
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    • 제24권4호
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    • pp.615-629
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    • 2014
  • 본 연구는 자연사면 산사태를 대상으로 한 실시간 모니터링 기술과 이를 이용한 산사태 탐지기술에 대해 기존 특허를 체계적으로 분석하였다. 특허분석의 목적은 산사태재해 관련 기술 동향을 파악하고 이를 토대로 보다 진보된 기술을 개발하는데 활용하기 위한 것이다. 이 분석에서는 산사태 모니터링 및 탐지기술에 관련된 특허를 한국, 미국, 일본, 중국(홍콩), 유럽, 대만 등 총 6개의 국가를 대상으로 하여 주요 키워드 별로 검색하였다. 대분류와 소분류로 나누어 각각 기술 분류에 따라 연도별, 국가별, 출원인별 분석을 실시하였으며, 분석결과에 따라 국가별 요소기술 및 유망기술에 대한 포트폴리오를 도출하였다. 본 연구의 분석결과는 향후 산사태 모니터링 및 탐지기술 분야에 있어서 더욱 효과적인 연구 개발 방향을 수립하고, 기존의 기술과 차별화된 연구 성과를 이끌어 내는데 도움이 될 수 있는 기초 자료가 될 수 있을 것으로 사료된다.

정밀도로지도 레이어의 품질향상을 위한 자동오류 판독 연구 (Study on Automated Error Detection Method for Enhancing High Definition Map)

  • 홍송표;오종민;송용현;신영민;성동기
    • 한국측량학회지
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    • 제38권4호
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    • pp.391-399
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    • 2020
  • 급변하는 주변상황이나 대형차량과 같은 큰 지형지물에 센서가 가려질 경우에는 센서만을 이용한 완전 자율주행에는 한계가 따른다. 이에 자율주행을 위해서 센서를 이용한 한계점을 극복할 수 있도록 정밀한 도로지도를 부가적으로 이용하는 방법이 사용되고 있으며, 국내의 경우에는 국토지리정보원에서 자율주행차를 위한 정밀한 도로지도를 제작 및 공급하고 있다. 이에 본 연구에서는 국토지리정보원에서 제공하는 정밀도로지도의 정위치 및 구조화 편집 과정에서 발생하는 오류를 체계적으로 유형화 하였다. 또한 각 상황에 맞는 오류 탐색 과정 및 해결방안을 제시하여 신속하게 정밀도로지도의 오류를 수정할 수 있는 연구를 수행하였으며 크게 도형무결성, 공간관계, 참조관계에 대하여 오류항목을 대분류하고 이에 대한 세부적인 검사방법을 도출하였다.

건설기록물 분류체계 모형에 관한 연구 (A Study on the Model for Construction Records Classification System)

  • 박용부;김태수
    • 정보관리학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.83-101
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    • 2011
  • 국제 표준인 ISO 15489와 관련코드에 따르면 공공조직이든 민간조직이든지를 막론하고 안정적인 기록물 분류체계를 구현하게 하는 기능 분류 사용을 권고하고 있다. 기업에서도 이를 따라 업무 수행 기록물을 분류 축적하여 검색 활용할 수 있는 체계를 구축하는 것은 기업 성장을 위해서 중요하다. 따라서 기업의 기록물 분류체계 개발에 적용할 수 있는 분류기준이나 개발 방법론 연구 및 모형의 연구가 반드시 필요하다. 본 연구에서는 우리나라 대기업 3개 회사와 중소기업 4개 회사 등 총 7개의 종합건설기업의 기록물 분류체계 사례연구를 통하여 분류체계의 내용을 비교 분석하였다. 사례연구를 통하여 도출한 분류원칙을 정리 종합하여 핵심적인 건설기록물 분류기준을 제시하고, 건설기록물 분류체계 모형을 도출하기 위하여 대기업 사례기업의 본사조직 및 프로젝트조직의 대분류 및 중분류 항목 구성을 상호 비교하면서 표준적인 본사조직 및 프로젝트조직 기록물 분류 항목을 도출하는 과정을 기술하고 그 결과로 개발된 건설기록물 분류체계 모형을 제시하였다.