• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.96-96
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• 2011

진공 챔버는 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하기 때문에 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성은 공정 온도에 의해 영향을 받게 된다. 대부분의 반도체 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태 보다는 열복사(thermal radiation)에 의한 영향을 더 많이 받게 되어 펌프 자체의 신뢰성 및 펌프의 성능 특성이 변하게 된다. 본 연구에서는 챔버내의 이러한 열복사에 따른 크라이오펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 1998.10a
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• pp.77-83
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• 1998

This study is object to thermal analysis of continuous casting mold. A two-dimensional transient finite element model was developed to compute the temperature distribution and stress behavior for continuous casting mold. For thermal analysis using analysis result from FEM code. In other to thermal analysis of continuous casting mold, many variables such as casting speed, cooling condition, film coefficient, convection and load condition re considered.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 1999.10a
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• pp.287-292
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• 1999

This study is object to thermal analysis of continuous casting nickel-coated mold. A two-dimensional transient finite element model was developed to compute the temperature distribution and stress behavior for continuous casting nickel-coated mold. For thermal analysis using analysis result from FEM code. In other to thermal analysis of continuous casting nickel-coated mold, many variables such as casting speed, cooling condition, film coefficient, convection and load condition are considered.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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• v.8 no.6
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• pp.43-49
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• 1999

This study is object to thermal analysis of continuous casting mold. A two-dimensional transient finite element model was developed to compute the temperature distribution and stress behavior for continuous casting mold. For thermal analysis using analysis result from FEM code. In order to thermal analysis of continuous casting mold, many variables such as casting speed, cooling condition, film coefficient, convection and load condition are considered.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 1999.10a
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• pp.281-286
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• 1999

This study is object to structural analysis of continuous casting mold. A two-dimensional finite element model was developed to compute the temperature distribution, stress and strain behavior for continuous casting mold. For structural analysis using thermal analysis result from FEM code. In other to structural analysis of continuous casting mold, many variables such as casting speed, cooling condition, film coefficient, convection and load condition are considered.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 2000.10a
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• pp.181-187
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• 2000

This study is object to structural analysis comparison of continuous casting mold. A two-dimensional finite element model was developed to compute the temperature distribution, thermal stress and thermal strain behavior for continuous casting mold. For structural analysis using thermal analysis result from ANSYS. In other to structural analysis of continuous casting mold, many variables such as casting speed, cooling condition, film coefficient, convection and load condition are considered.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 2000.10a
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• pp.200-205
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• 2000

This study is object to thermal analysis comparison of continuous casting mold. A two-dimensional transient finite element model was developed to compute the temperature distribution for continuous casting mold. For thermal analysis using analysis result from ANSYS. In other to thermal analysis of continuous casting mold, many variables such as casting speed, cooling condition, film coefficient, convection and load condition are considered.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.16-16
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• 2010

반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A 17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

• Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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• v.7 no.4
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• pp.556-565
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• 1995

The physical model of interest is based upon the concentric cylinder, where the outside cylinder is filled with optically thick and high temperature phase change material(PCM). The fluid is flowing through the inside cylinder to transfer the appropriate energy. The fluid is flowing through the inside cylinder to transfer the appropriate energy. The governing equations for the phase change material including internal thermal radiation and for the turbulent transfer fluid have been employed and numerically solved. The optically thick phase change justifies the P-l spherical harmonics approximation, which is believed to be appropriate choice particularly for the much coupled problem like in this study. The solid/liquid interface, temperature distribution within the PCM and the heat flux from the PCM to the transfer fluid have been obtained and compared with those of laminar transfer fluid. The numerical results show that the turbulent transfer fluid accelerates the solid/liquid interface and results in the increase of heat transfer rate from the PCM. The internal thermal radiation within the PCM, however, does not always playa role to increase the heat transfer rate throughout the inside cylinder. It is believed that the combined heat flux has been picked up more in the inflowing area than in the pure conductive phase change material.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.328-328
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• 2010

반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태 보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.