• 제목/요약/키워드: 단차 측정

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백색광 간섭계의 봉우리 찾기 셈법 비교 (A comparative study on peak finding algorithms in white light interferometry)

  • 민경일;남기봉
    • 한국광학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.395-399
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    • 2000
  • 백색광 간섭계에서는 신속하고 그리고 정확하게 주사방향의 간섭무늬 봉우리점을 추출하는 것이 중요한 관건이다. 봉우리점 산출 속도 향상을 목표로 하여 많은 연구가 진행되어 왔지만, 본 연구에서는 가장 간단한 셈법을 이용하여 기준 시료가 얼마나 정확하게 재구성 되는가를 비교 검토하였다. 두 방법 모두 nm 수준의 정밀도로 단차를 측정할 수 있었는데 역상관을 이용한 셈법이 표면 구조나 수직한 면의 재구성에 더 충실한 결과를 산출함이 관찰되었다.

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포인터 Laser 거리센서를 이용한 장착된 PCB 부품의 들뜸 검출력 향상에 대한 연구 (A Researches into the Improvement of a floating detection power using the point Laser Sensor)

  • 박종협;정종대
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
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    • pp.43-46
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    • 2006
  • 본 논문은 PCB(printed circuit board)에 납땜이 되어 장착된 부품들의 들뜸 상태 검사 알고리즘에 관한 연구이다. 전자산업의 발달로 제품이 소형화, SMD화, 고집적화가 함께 추구되고 있으며, 특히 리드(lead)의 fine-pitch화 현상으로 인해 부품의 들뜸 상태 검사의 중요성은 매우 부각되고 있다. 따라서 본 논문에서는 2차원 포인터 레이저 거리센서를 이용하여 PCB위에 장착된 부품의 들뜸 상태를 검사하고자 한다. 이를 위해 레이저 측정용 장치를 제작하여 부품의 들뜸 검사 알고리즘의 유용성 및 들뜸의 상태 판단 여부를 확인하였다. 본 논문에서 사용한 기준 부품은 각칩 형태로 된 저항, 커패시터와 BGA 및 QFP이며 이 부품들을 이용하여 리드와 바디의 들뜸 상태를 검사하였다. 검사 기준으로 리드의 들뜸은 Scan Teaching 방식을 이용하였으며, 바디의 들뜸은 단차 Teaching 방식을 이용하였다.

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백색광 간섭계의 위상 정점 알고리즘에서 조명에 따른 위상 정점 모호성에 관한 연구 (Phase Peak Ambiguity According to Illumination in White-Light Phase-Shifting Interferometry)

  • 김기홍;이형석
    • 한국정밀공학회지
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    • 제25권1호
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    • pp.85-91
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    • 2008
  • White light scanning interferometry has gotten a firm position in 3D surface profile measuring field. Recently, the LCD industry gave a chance for this technology to enter into real industry fields. It is known that white-light phase-shifting algorithm give a best resolution compare to other algorithms, but there are some problems to be resolved. One of them is 300nm jump in height profile, called bat-wing effect. The main reason of this problem is an ambiguity of phase-peak detection algorithm, and some solution has been proposed, but it didn't work perfectly. In this paper, I will show the cases when these effects are occurred, and these height discrepancies will be almost disappeared when broad-band illuminators are used.

백색광의 제한 간섭성을 이용한 초정밀 위치결정 (Ultra-precision Positioning By Using Coherence of White Light)

  • 박현구;강민구;김승우
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제21권6호
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    • pp.995-1001
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    • 1997
  • In this paper, a new positioning method with incoherence of white light is described and practically implemented to attach VCR heads on a drum very accurately. This method utilizes the Michelson Interferometer which uses white light with short coherence length as the light source to generate interference fringes only in case the optical path difference is shorter than about 2.mu.m. The course position of VCR heads and the fine are determined by appearance and visibility of interference fringes, respectively. The appearance are detected by an image processing technique using FFT(Fast Fourier Transform).

Features in broadband SEDs of young pulsar wind nebulae: existence of two different electron populations

  • Kim, Chanho;An, Hongjun
    • 천문학회보
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    • 제46권2호
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    • pp.51.2-52
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    • 2021
  • Pulsar Wind Nebula(PWN)는 radio부터 TeV band까지 넓은 파장에 걸쳐 복사를 하며 이 복사는 Spectral Energy Distribution(SED)으로 측정된다. 관측된 SED는 두 개의 주요한 bump를 보이는데 low-energy emission bump는 synchrotron radiation에 의해 만들어지고 high-energy emission bump는 inverse Compton scattering에 의해 만들어진다. 대부분 PWN들의 SED는 단일 전자 분포로 설명이 가능하지만 최근 연구 결과에 의하면 Crab nebula, G21.5-0.9 같은 일부 young pulsar wind nebula의 X-ray SED에서 단차나 기울기의 변화 등 단일 전자 분포로 설명하기 어려운 부분이 관측되기도 한다. 이런 PWN에 대하여 우리는 이중 전자 분포를 이용해서 broadband SED가 잘 설명이 되는지 확인하고 이를 통하여 PWN 입자 가속의 특성을 이해해보고자 한다.

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Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Film from Ru (cymene) (1,5-hexadiene) and O2

  • 정효준;정은애;한정환;박보근;이선숙;황진하;김창균;안기석;정택모
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.357.2-357.2
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    • 2014
  • Ruthenium (Ru) 박막은 우수한 화학적 열적 안정성 및 높은 일함수(4.7eV) 특성으로 인해 20 nm급 이하의 차세대 DRAM capacitor의 전극 물질 및 Cu metalization을 위한 seed layer로 각광을 받고 있다. Ru박막의 나노스케일 정보전자소자로의 적용을 위해서는 두께제어가 용이하고 3D 구조에서 우수한 단차 피복 특성을 갖는 atomic layer deposition (ALD)을 이용한 박막 형성이 필수적이다. 이에 본 연구에서는 ALD 방법을 이용하여 0가의(cymene) (1,5-hexadiene) Ru (0) (C16H24Ru) 전구체를 합성, ALD 방법을 이용하여 우수한 초기성장거동을 갖는 Ru 박막을 증착 하였다. 형성된 Ru 박막의 표면 형상, 두께, 밀도를 주사전자현미경(Scanning electron microscopy)과 X-선 반사율 측정(X-ray reflectometer)으로 조사하였다. 또한 전기적 특성을 4침법(four-point-probe)으로 측정하였고, 박막의 화학적 조성과 결정성의 정보를 X-선 광전자분광법(X-ray photoelectron spectroscopy)과 X-선 회절(X-ray diffraction)을 이용하여 확인하였다.

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Newmark $\beta$ 방법에 의한 지반진동의 단자유도계 구조물 동적응답 시간이력 해석 (Time-History Analysis on Structure Dynamic Response for the SDOF System of Ground Vibration by the Newmark $\beta$ method)

  • 김종인;강성승
    • 터널과지하공간
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    • 제20권4호
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    • pp.292-298
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    • 2010
  • 본 연구는 발파진동에 의한 지반진동이 구조물에 미치는 영향을 평가하기 위함이다. 이를 위하여 지반에서 측정한 자료를 토대로 Newmark $\beta$ 방법을 이용하여 단자유도계(SDOF)를 가정한 구조물 동적응답 시간이력과 구조물에서 직접 측정한 진동 시간이력을 비교 하였다. 지반과 구조물의 측정 자료로부터 시간이력을 해석한 결과, 단일공 발파와 20 ms 단차 발파에서 지반진동과 구조물 사이의 진동 크기는 약 3배의 차이로 구조물에서 더 큰 진동을 보이는 것으로 나타났다. 구조물 동적응답 시간이력을 해석한 결과, 그 값은 구조물에서 직접 측정한 자료와 유사한 최대 진동속도를 보였으며, 이것은 구조물 하부 지반에서 측정된 지반진동 측정자료에 근거하여 구조물의 진동특성을 예측할 수 있음을 지시한다.

한국 정치공간의 시민과 대표 간 이념적 일치: 개념화와 측정 (South Korea's Ideological Congruence between Citizens and Representatives: Conceptualization and Measurement)

  • 정동준
    • 의정연구
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    • 제23권2호
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    • pp.67-108
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    • 2017
  • 대의 민주주의에 있어 대표자가 얼마나 시민의 이념적 선호를 대변하는지는 매우 중요한 문제이다. 의회 혹은 정부와 시민 간의 이념적 일치는 주로 정당정치가 오래된 서구 민주주의 국가를 중심으로 연구되어 왔으나, 민주주의의 역사가 비교적 짧은 우리나라에서는 아직 많은 연구가 이루어지지 못했다. 본 논문은 2002년부터 2016년까지의 설문자료를 바탕으로 한국 정치공간의 시민과 대표 간 이념적 일치를 다양한 방식으로 개념화하고 측정하였다. 먼저 좌-우의 단차원적 공간으로 분석한 결과, 시민과 국회 간의 이념적 거리와 달리 시민과 정부 간의 거리는 2000년대 이후 꾸준히 증가하고 있는 것으로 나타났다. 이러한 여야 간 양극화와 정부의 대표성 악화는 민주주의의 규범적 측면에서 부정적이라 할 수 있다. 하지만 다차원적 공간에서 정부와 시민 간의 이념적 거리는 쟁점에 따라 다르게 나타났는데, 대북지원에서는 2008년 보수정권이 들어선 이후 점차 증가한 반면, 복지정책의 경우는 이전의 진보 정권에 비해 악화된 것으로 조사되었다. 이렇게 쟁점별로 이념적 일치가 다르게 나타난다는 점은 시민과 정당 모두에게 많은 점을 시사한다. 시민들에게는 단차원적 이념을 넘어 자신에게 가장 중요한 쟁점을 대변하는 대표자를 구별하는 능력이, 정당에게는 기존의 지지층과 함께 늘어나는 무당층을 대변하기 위해 효과적인 당 조직의 정비와 프로그램 마련이 요구되고 있는 것이다.

$TIO_2$ 전극의 소결온도에 따른 DSSCS 제조 및 성격 (Preparation and characterization of $TiO_2$ Thin Film By Various temperature)

  • 김성진;박헌균
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.95.2-95.2
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    • 2010
  • 염료감응형 태양전지의 효율을 향상을 시키기 위하여, 이산화티타니아박막을 doctor-blade 방법으로 FTO 기판위에 15-16um 코팅을 한뒤, 다른 온도의 $400^{\circ}C-600^{\circ}C$ 범위에서, 소결을 하였다. 상대전극은 FTO 기판위에 5Ml의 Pt용액을 가지고, $450^{\circ}C$온도에서 제작을 하였다. 실험의 결과 이산화티타니아의 표면거칠기 및 입자사이즈의 소결의 형상에 따라 DSSC의 효율의 상관관계가 영향을 받았다. 표면의 형상은 AFM으로 측정을 하였으며, 표면의 단차가 RMS의 값이 7nm이하 일 때, 효율의 향상을 이루었다. 실험결과 $500^{\circ}C$ 이하일 때, 상대적으로 낮은 open circuit voltage를 이루었으며, 낮은 Fill-factor를 이루었다. $500^{\circ}C$이상의 온도에서는 상대적으로 높은 high circuit voltage와 높은 fill factor를 나타내었다. 실험결과 $500^{\circ}C$에서 소결된 전극을 가진 DSSC가 단락의 전압과 개방전류가 상호보완된 적정값을 가져 가장 개선된 FF와 Eff를 나타내었다. 이와 같은 특성은 이산화티타니아의 준위 모식도에서 설명이 될수 있고, 이산화티타니아의 최적의 necking 및 pore, 입자크기등이 제어될수 있음을 의미한다.

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Si과 Ge 기판에의 Bi2Te3 박막 성장 특성 분석

  • 김승연;고창훈;이근섭
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.233-233
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    • 2012
  • 위상절연체(Bi2Te3)와의 격자상수 불일치 비율이 서로 다른 Si (111)와 Ge (111) 기판을 선택하여 Bi3Te3 박막의 성장 조건을 찾고 이에 따른 특성 분석을 수행하였다. 시료 제작은 초고진공 분위기에서 MBE를 이용하였고, AFM, XRD와 XPS로 각각 구조적 변화, 결정 상태 및 화학적 상태를 분석하였다. 우선 Si 위에 형성된 Bi2Te3의 경우, 초기 박막이 형성된 후, 증착 시간이 증가함에 따라 섬(island)모양의 구조물들이 step edge 부분에 분포되는 모습을 AFM 이미지에서 확인하였다. 형성된 박막의 스텝 단차는 약 1 nm 또는 이 값의 정수 배였고, 이것은 Bi2Te3 unit cell의 quintuple layer (QL) 값과 일치하였다. 또한 측정된 XRD pattern으로 Bi2Te3가 hexagonal 구조의 c-축에 따라 결정성이 이루어졌음을 확인할 수 있었다. XPS 스펙트럼에서는 Bi 4f가 높은 에너지 방향으로 2.3 eV, Te 3d는 낮은 에너지 방향으로 약 0.7 eV 만큼 구속 에너지의 화학적 이동이 나타남을 알 수 있었다. 이러한 결과는 Si 위에 Bi2Te3 박막이 높은 결정성을 가지고 형성되었다는 것을 의미한다. 또한 Si (111) 기판보다 Bi2Te3 결정과 격자상수 불일치의 비율이 상대적으로 작은 Ge (111)을 기판으로 하여 Bi2Te3 박막을 성장시켜 두 표면에서의 박막 성장의 특성을 비교, 논의할 것이다.

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