• 제목/요약/키워드: 다중 양자 우물 적외선 광검출기

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$Al_{0.3}$$Ga_{0.7}$As/GaAs 다중 양자 우물 구조의 표면 광전압에 관한 연구 (Surface Photovoltage of $Al_{0.3}$$Ga_{0.7}$As/GaAs Multi-Quantum Well Structures)

  • 이정열;김기홍;손정식;배인호;김인수;박성배
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제13권1호
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    • pp.21-27
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    • 2000
  • We used the surface photovoltage spectroscopy(SPVS) for characterization of GaAs/Al\ulcornerGa\ulcornerAs multi-quantum well(MQW) structures grown by molecular beam epitaxy(MBE) method. Energy gap related transitions in GaAs and AlGaAs were observed. The Al composition(x=0.3) was determined by Sek's composition formula. Transition energies in MQW were determined using the differential surface photo-volatage spectroscopy)DSPVS) of the measured resonanced. In order to indentify the transitions, the experimentally observed energies were compared with results of the envelope function approximation for a rectangular quantum well. We have observed and interesting behavior of the temperature dependence(80K~300K) of the 11Hand 11L transition for sample.

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$1{times}8$ 배열, 7.8 $\mu\textrm{m}$ 최대반응 GaAs/AlGaAs 양자우물 적외선 검출기 ($1{times}8$ Array of GaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetector with 7.8$\mu\textrm{m}$ peak response)

  • 박은영;최정우;노삼규;최우석;박승한;조태희;홍성철;오병성;이승주
    • 한국광학회지
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    • 제9권6호
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    • pp.428-432
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    • 1998
  • 장파장영역의 적외선 검출을 위해 구속­비구속 상태간 전이를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종접합 다중양자우물구조형태 검출기를 제작하여 전기적, 광학적 특성을 살펴보았다. 시료는 MBE를 이용하여 SI-GaAs(100)기판 위에 장벽 500${\AA} $, 폭 40${\AA} $의 양자우물구조를 25층 성장시켰으며, Al의 몰분율은 0.28로 하였고 우물의 중심부 20${\AA} $$2{\times}10^{18}cm^{-3}$의 농도로 Si n-도핑을 하였다. 200$\times$200$\mu\textrm{m}^2$ 면적의 사각형 화소가 되도록 시료를 식각한 후 Au/Ge로 전극을 붙여 1$\times$8 검출기 배열을 제작하였다. 10K의 온도에서 적외선 광원에 대한 광특성을 조사한 결과 1차원으로 배열한 8개의 단일소자 모두 7.8$\mu\textrm{m}$파장에서 최대반응을 보였으며 검출률($D^*$)은 최대 $4.9{\times}10^9cm\sqrt{Hz}/W$이었다.

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$Al_0.3Ga_0.7As$/GaAs 다중 양자우물 적외선 광검출기 구조의 Photoreflectance 연구 (A Study on the photoreflectance chracterization of $Al_0.3Ga_0.7As$/GaAs multi-quantum well infrared photodetector structures)

  • 이정열;김기홍;손정식;배인호;임재영;김인수
    • 한국진공학회지
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    • 제8권3B호
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    • pp.308-314
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    • 1999
  • We used the photoreflectance spectroscopy for characterization of the infrared photodetector structure we GaAs/$Al_{0.3}Ga_{0.7}As$ multi-quantum well (MQW) structures grown by molecular beam epitaxy (MBE) method. Energy gap related transitions in GaAS and AlGaAs were observed. The Al composition(x) was determined b Sek's composition formula. MQW related transition energies were identify the transitions, the experimentally observed energies were compare with results of the envelope function approximation for a rectangular quantum well.

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