• Electrical & Electronic Materials
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• v.10 no.10
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• pp.1022-1028
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• 1997

In this paper we present the construction details and output characteristics of a diaphragm-type pressure sensor with Cu-Ni(53:47) thin-film strain gauges. In order to improve the sensitivity and the temperature compensation two circumferential gauges are placed near the center of the diaphragm and two radial gauges are located near the edge. For all the gauges the relative change in resistance ΔR/R with pressure is of the order 10$^{-3}$ for the maximum pressure. The output is found to be linear over the entire pressure range(0-30kfg/cm$^2$)and the output sensitivity obtained is 1.6mV/V. The maximum nonlinearity observed in output characteristics is 0.35%FS for 5V excitation and the hysteresis is less than 0.1%FS.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2000.07c
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• pp.1655-1657
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• 2000

본 논문에서는 세라믹 다이어프램식 압력센서를 설계하기 전에 세라믹 다이어프램의 변위에 대한 최적 조건을 확립하기 위해 세라믹의 기계적 특성, 다이어프램의 두께와 직경 등을 변화시키면서 중심부와 변곡점 부근에서 압력에 대한 다이어프램의 변위를 시뮬레이션 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.1497-1499
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• 2002

본 논문에서는 세라믹 다이어프램식 압력센서를 설계하기 전에 세라믹 다이어프램의 변위에 대한 최적 조건을 확립하기 위해 세라믹의 기계적 특성, 다이어프램의 두께와 직경 등을 변화시키면서 중심부와 변곡점 부근에서 압력에 대한 다이어프램의 변위를 시뮬레이션 하였으며 결과를 이용하여 세라믹 다이어프램을 이용하고 후막저항을 센싱 부분으로 하여 4가지 형태의 기하학적인 출력특성을 고찰하였다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.10 no.9
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• pp.938-944
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• 1997

Cu-Ni thin film strain gauges for diaphragm-type pressure sensors were developed. Thin films of Cu-Ni alloys of various compositions were deposited onto glass and stainless steel substrates by RF magnetron sputtering. The effects of composition substrate temperature Ar partial pressure and aging on the electrical properties of Cu-Ni film strain gauges in the thickness range 500~2000$\AA$ are discussed. The maximum resistivity(95.6 $\mu$$\Omega$cm) is obtained from 53wt%Cu-47wt%Ni films while the temperature coefficient of resistance(TCR) becomes minimum(25.6ppm/$^{\circ}C$). The gauge factor is about 1.9.