Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.02a
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pp.73-73
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2011
Zn-Sn-O (ZTO) 다성분계 산화물 박막은 일반적인 rf 스퍼터법으로 성막할 경우 비정질상으로 성장하여 결정질 산화물 박막에 비해 우수한 표면평탄도와 식각 단면을 제공한다. 비정질임에도 불구하고 넓은 자유전하 농도 범위에서 높은 Hall 이동도를 제공할 수 있는 것으로 보고되어 있어 비정질 산화물의 투명도전성 박막에 대한 관심이 높아지고 있다. 투명 TFT에 적용되는 또 다른 비정질계 산화물 박막인 In-Zn-O (IZO) 박막에 비해 ZTO 박막은 상대적으로 제한된 연구가 이루어졌으나, In의 함유되지 않아 경제적으로 유리하고, 특히 SnO2의 우수한 기계적 및 화학적 특성과 ZnO의 내환원성 특성을 잠재하고 있는 유망한 투명도전성 박막재료이다. 본 연구에서는 Zn-Sn-O계 박막을 통상의 rf 스퍼터법으로 성막하여 조성, 증착 온도, 그리고 열처리 온도에 따른 ZTO 박막의 구조적인 특성 변화와 이에 따른 전기적 및 광학적 특성 변화에 대하여 고찰하였다. ZnO 타겟과 SnO2 타겟을 사용하여 co-sputtering하여 ZnO의 부피 분률을 13~59 mol%까지 변화되도록 조절하여 증착하였다. 증착 온도는 상온, 150 및 $300^{\circ}C$로, 그리고 성막가스 중의 산소분률은 0%, 0.5% 및 1% 로 변화시켰다. 40 mol% 이상의 ZnO를 함유한 ZTO 박막은 가시광 영역에서의 평균 광투과도는 좋으나 전기적인 특성이 열악하였으며, ZnO 분율이 낮은 ZTO 박막은 10-2~10-3 ohm-cm 정도의 비교적 낮은 비저항을 나타내었으나 광투과도 면에서 떨어지는 단점을 보였다. 평균 광투과도는 증착 온도가 증가할수록, 그리고 산소의 양이 증가할수록 향상 되었다. 자유전하농도가 1017~1020 cm-3 정도의 넓은 범위에서 10 cm2/Vs 을 넘는 홀 이동도를 가지는 ZTO 박막의 증착이 가능함을 확인하였으며, 이로부터 투명 TFT 소자로 적용이 가능성이 있음을 보였다. EPMA를 이용한 정량분석 및 XRD를 이용한 구조분석과 연계한 ZTO 박막의 물성 및 최적 조건에 대한 논의가 이루어질 것이다.
Several commercial soybean oils were stored at $20^{\circ}C,\;40^{\circ}C$ and $60^{\circ}C$ with daily exposure of fluorescent light for 12 hours and evaluated their rancidity by headspace gas chromatographic analysis of pentanal and hexanal. The data of gas chromatographic analysis was compared with organoleptic flavor evaluation. For headspace gas chromatographic analysis, the volatile compounds were recovered by porous polymer trap and flushed into a fused silica capillary column at $250^{\circ}C$, The pentanal and hexanal separated were identified by gas chromatography and gas chromatography-mass spectrometric method. The results showed that the contents of pentanal and hexanal were linearly increased during storage for 100 days. A very simple linear relationship was found between organoleptic flavor scores and amounts of two volatile compounds with very high correlation coefficient. A similar linear relationship was also obtained for acid and peroxide value with sensory data. This results suggested the possible implication of pentanal and hexanal as an quality index for rancidity evaluation of soybean oil.
The GTL(Gas to Liquids) technology, manufacturing synthesized oil from natural gas, had been developed about 1920 for the military purpose by Fischer and Tropsch, German scientists. And 1960, Sasol company had started commercializing the FT(Fischer-Tropsch) synthesis technology, for the transport fuel in South Africa. Until a recent date, the commercialization of GTL technology had been delayed by low oil price. But concern about depletion of petroleum resources, and development in synthesizing technology lead to spotlight on the GTL businesses. Especially, Qatar, which has rich natural gas fields, aims at utilizing natural gas like conventional oil resources. Therefore, around this nation, GTL plants construction has been promoted. There are mainly 3 processes to make GTL products(Diesel, Naphtha, lube oil, etc) from natural gas. The first is synthesis gas generation unit reforming hydrogen and carbomonoxide from natural gas. The second is FT synthesis unit converting synthesized gas to polymeric chain-hydrocarbon. The third is product upgrading unit making oil products from the FT synthesized oil. There are quite a little sulfur, nitrogen, and aromatic compounds in GTL products. GTL product has environmental premium in discharging less harmful particles than refinery oil products from crude to the human body. In short, the GTL is a clean technology, easier transportation mean, and has higher stability comparing to LNG works.
Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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2003.03a
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pp.94-94
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2003
최근, 새로운 전자재료로서 GaN 분말의 합성과 응용에 관한 연구가 많이 이루어지고 있다. CaN 분말은 열처리 과정 중 분해를 방지하기 위한 표면 보호용 소재, CaN 박막 또는 벌크 결정을 성장하기 위한 precursor 및 대면적 평판표시소자 제작을 위한 전기발광소자용 소재 등에 적용되고 있다. 일반적으로 100$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서Ga과 NH$_3$를 반응시키거나, Ga이 포함된 화합물반도체 또는 산화물 및 질산염 등을 NH$_3$ 분위기에서 가열시켜 GaN 분말을 합성시키고 있다. 본 논문에서는 출발물질로서 GaOOH를 채택하고, 이를 NH$_3$ 가스를 흘리면서 가열 반응시켜 GaN 분말을 합성하고 X선 회절분석 방법을 사용하여 GaN의 합성에 대한 반응기구를 조사하였다. GaN 분말을 합성하기 위하여 GaOOH 분말 1g을 석영 용기에 담아 석영 반응관 내에 위치시키고, 반응관 내부를 $10^{-3}$ torr의 진공으로 배기한 후 $N_2$를 주입하면서 전기로의 온도를 1$0^{\circ}C$/min으로 승온시켰다. 반응온도는 300~l17$0^{\circ}C$의 범위에서 변화시켰고, 반응시간은 10분부터 24시간까지 변화시켰으며, NH$_3$의 유량은 300~700 sccm의 범위에서 변화시켰다. GaN의 반응역학을 조사하기 위하여 X선 회절도에서 특정 성분의 회절강도는 시료 내에 포함된 특정 성분의 량에 직접 비례한다고 가정하고, 2$\theta$=37$^{\circ}$부근에서 관찰되는 GaN의 (101)면에 의한 회절강도를 측정하고, 이를 GaN의 생성량으로 고려하였다.}C$로 소결 하였다. coating 결과 박리현상은 없었으나, 표면과 단면의 SEM분석결과 다소 porous한 박막층이 형성되었으며, Ca이온이 지지체로 permeation되는 현상이 발생하였다. 이와 같은 결과로부터 보다 치밀한 박막생성을 위해, slurry 제조조건을 변화시켰으며, Ca이온의 migration을 막기 위해 barrier layer를 이용하였다 완전 소결된 지지체는 가스투과도와 전기전도도측정을 통하여 특성을 평가하였다.였다.다.m이하의 NH$_3$ 가스를 검출할 수 있었다.기 화강암 관입 이전에 좌수향 전단 운동에 의해 부분적으로 재활성 되었으며, 후기 화강암의 관입 이후에 재차 우수향 전단운동으로 활성화 되었음을 알 수 있다. 이상의 결과를 종합하면 호남전단대는 쥬라기 중기에 발생한 광역적인 우수향의 연성전단운동이나, 운동 특성은 연속적이기 보다는 단속적으로 일어난 것으로 생각된다.리 폐 관류는 정맥주입 방법에 비해 고농도의 cisplatin 투여로 인한 다른 장기에서의 농도 증가 없이 폐 조직에 약 50배 정도의 고농도 cisplatin을 투여할 수 있었으며, 또한 분리 폐 관류 시 cisplatin에 의한 직접적 폐 독성은 발견되지 않았다이 낮았으나 통계학적 의의는 없었다[10.0%(4/40) : 8.2%(20/244), p>0.05]. 결론: 비디오흉강경술에서 재발을 낮추기 위해 수술시 폐야 전체를 관찰하여 존재하는 폐기포를 놓치지 않는 것이 중요하며, 폐기포를 확인하지 못한 경우와 이차성 자연기흉에 대해서는 흉막유착술에 더 세심한 주의가 필요하다는 것을 확인하였다. 비디오흉강경수술은 통증이 적고, 입원기간이 짧고, 사회로의 복귀가 빠르며, 고위험군에 적용할 수 있고, 무엇보다도 미용상의 이점이 크다는 면에서 자연기흉에 대해 유용한 치료방법임에는 틀림이 없으나 개흉술에 비
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.6
no.4
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pp.584-594
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1996
For the separation and purification of aluminium chloride hexahydrate crystals from kaolin leaching solution the effects of crystallization conditions, such as crystallization temperature, concentration of aluminium chloride concentration in the leaching solutin and gas flow rate of HCl into the leaching solution, on purity of the aluminium chloride hexahydrate crystals were investigated. The supersaturation level of aluminium chloride in the leaching solution gave great influence on the purity of the crystals. When supersaturated concentration of the aluminium chloride in the leaching solution was generated in low level, the aluminium chloride hexahydrate crystals were produced with high purity ; that is, the crystals hving a low Fe-ion concentration. The supersaturation level of aluminium chloride in the leaching solution was mainly determined by crystallization temperature, concentrations of aluminium chloride and hydrochloric acid in the solution. However, in spite of changes of the above crystallization coditions, a needle shape morphology of aluminium chloride hexahydrate crystals did not modified. To measure hydrochloric acid concentration in the kaolin leaching solution, we applied the oxalate titration method, which was suggested by shank [9] and it was prove that this method could titrate hydrochloroic acid concentration in multi-component ionic solution such as kaolin leaching solution.
Park, Hyeon-U;Kim, Bu-Gyeong;Park, Jin-Seong;Jeong, Gwon-Beom
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.08a
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pp.165-165
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2012
비정질의 Tantalum-indium-zinc oxide (TIZO) 박막 트랜지스터는 RF-sputtering 방법으로 증착되었으며 소결된 단일 타겟을 사용하였다. 증착당시 반응 가스는 알곤과 산소를 95 : 5로 섞어 반응성 스퍼터링을 진행하였으며, 1 mtorr에서 5 mtorr까지 다양한 공정압력에서 증착한 이 후 Furnace system을 통하여 $350^{\circ}C$의 온도로 1시간 동안 후열처리 공정을 진행하였다. 비정질 TIZO 박막을 활성 층으로 사용하여 제작한 박막 트랜지스터는 공정압력이 낮아짐에 따라 높은 이동도와 낮은 subthrehsold gate swing 보였다. 이러한 현상의 원인을 규명하고자 물리적, 전기적, 광학적 분석을 통하여 공정압력의 변화가 박막 트랜지스터 구동에 미치는 영향을 해석하였다. 우선 공정압력에 따른 TIZO 박막의 Ta, In, Zn, O 각각의 조성을 분석하기 위하여 Rutherford back scattering (RBS) 분석을 실시하였다. 또한 X-선 회절(X-ray diffraction)분석을 통해 열처리된 TIZO 박막은 공정압력에 따라 물리적 구조의 변화를 일으키지 않으며 모든 박막은 비정질상을 보이는 것을 확인하였다. 3.3eV의 광학적 밴드 갭은 기존에 보고되었던 비정질 산화물 반도체(InGaZnO, HfInZnO 등)와도 유사한 밴드갭을 가지고 있음을 확인하였다. 또한, spectroscopic ellipsometry (SE)분석을 통하여 전도대 이하 밴드 갭 내에 존재하는 결함상태 및 전도대에서 결함상태까지의 에너지 준위 그리고 공정압력에 따라 결함의 양과 발생되는 에너지 준위가 변화하는 현상을 관측하였다. 박막을 제조 할 때의 공정압력은 박막 내의 결함의 양 및 발생되는 에너지 준위의 변화를 야기하고 변화된 결함의 양과 발생된 에너지 준위에 따라 박막트랜지스터의 전기적 특성을 변화시킨다는 결과를 도출하였다.
A surfatron-type microwave induced plasma (MIP) cavity has been constructed, which can be easily interfaced with a gas chromatograph. Various plasma gases such as He, Ar and N2 were used to generate the MIP and small amounts of CO2 gases were injected through the MIP to obtain characteristic spectrum of each plasma gas and to study feasibility of the MIP as a soft ionization source. Since He and Ar plasmas have high metastable state energy, it was not possible to detect sample gas in molecular state. With N2 plasma, however, a strong emission of molecular ions could be detected owing to its low metastable state energy.
In this paper, we carried out CFD modelling and simulation for the membrane system to separate H2 gas from the multi-component feed gas. The membrane system is of the annulus tubular type consisting of the external lumen side for the feed gas and the internal permeation side for the sweeping gas. The operating temperature and pressure of the lumen side inlet flow are $374^{\circ}C$ and 7 bar respectively and those of the sweeping gas are $374^{\circ}C$ and 3 bar, and considering these conditions, Pd membrane system was employed. CFD simulations were performed for the co-current flow and counter-current flow membrane system based on the flow directions between the feed and the sweeping gas. Comparisons and discussions were made for the H2 partial pressure, H2 mole fraction and H2 flux for both cases. Furthermore, we executed CFD simulations for the each case of the various inlet flow rates of the feed gas at the lumen side. Accordingly, we reviewed the effects of the flow rate and residence time on the performance of the membrane system.
Adsorption dynamics of ethane/ethylene mixture gas and desorption dynamics during the displacement desorption with propane as a desorbent in the column filled with faujasite adsorbent were investigated experimentally and theoretically. The simulation that adopted heat and mass balance and an ideal adsorbed solution theory (IAST) for the multicomponent adsorption equilibrium well predicted the experimental breakthrough curves of the adsorption and desorption. At the adsorption breakthrough experiments, roll-ups of ethane increased as the adsorption pressure increased and the adsorption temperature decreased. During the displacement desorption with propane in the column saturated with ethane/ethylene mixture gas, almost 100% of ethylene was obtained for a certain time interval. The adsorption strength of the desorbent greatly affected the adsorption and re-adsorption dynamics of ethylene. The re-adsorption capacity for ethylene has been greatly reduced when iso-propane, which is stronger desorbent than propane, was used as desorbent. It was found from the simulation that the performance of the displacement desorption process would be superior when the ratio of ${(q_s{\times}b)}_{C_2H_4}/{(q_s{\times}b)}_{C_3H_s}$ was 0.83, that is, the adsorption strengths of ethylene and the desorbent were similar.
The compositions of the polar lipids in the free and bound lipids from four varieties of experimentally cultivated potatoes were identified and quantified by thin layer- and gas-liquid chromatographies. The results were summarized as follows : 1. The glycolipids contained in the free and bound lipids were fractionated and identified as esterified sterol glycoside, monogalactosyl diglyceride, sterol glycoside, digalactosyl diglyceride, and trigalactosyl diglyceride, of which the highest content to the total lipid quantity were 5.8% of esterified sterol glycoside in the free lipid and 6.1% of trigalactosyl diglyceride in the bound lipid. The content of monogalactosyl diglyceride in the free and bound lipids was almost the same, whereas the content of esterified sterol glycoside was higher in the free lipid than in the bound lipid, and the contents of sterol glycoside, digalactosyl diglyceride, and trigalactosyl diglyceride were higher in the bound lipid than in the free lipid on the contrary. 2. The phospholipid contained in the free and bound lipids were fractionated and identified as phosphatidyl ethanolamine, phosphatidyl glyceride, phosphatidyl choline, and phosphatidyl inositol, but the phosphatidyl glyceride was not detected in the free lipid. The highest content in the total lipid quantity was 3.3 % of phosophatidyl choline in the case of the free lipid, while 14.9 % of the phosphatidyl ethanolamine contained in the bound lipid was the highest. All other constituents of phospholipid were contained in larger quantity in the bound lipid than in the free lipid. 3. The fatty acid composition of glycolipid in the free and bound lipids was also the same as that of the total free and bound lipids. The differences were that the content of palmitic acid was higher in the glycolipid of the free lipid than in the total free lipid and the content of linoleic acid was lower in the glycolipid.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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