• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2012.10a
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• pp.341-342
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• 2012

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.193-194
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• 2013

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2010.05a
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• pp.551-552
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• 2010

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2005.02a
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• pp.141-141
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• 2005

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2005.05a
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• pp.238-238
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• 2005

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.06a
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• pp.651-652
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• 2007

• Electrical & Electronic Materials
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• v.22 no.4
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• pp.16-26
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• 2009

• Electrical & Electronic Materials
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• v.22 no.4
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• pp.27-40
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• 2009

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2009.10a
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• pp.248-248
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• 2009

GaN 기반 LED 소자의 ITO 표면에 sol-imprinting 기술을 이용하여 잔여층 없이 $TiO_2$ 나노 패턴을 형성하였다. 알콕사이드 계열의 $TiO_2$ sol과 Si 몰드로부터 복제된 PDMS 몰드를 사용하여 표면에 패턴을 형성하고, 이 후 annealing을 통해 내부에 남아있던 불순물을 제거하고 다결정 $TiO_2$을 형성하였다. 표면에 형성된 $TiO_2$ 나노 패턴이 LED 소자 내부에서 발생한 빛의 전반사를 억제하기 때문에 소자의 광추출 효율이 증가하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.159-159
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• 2004

금속 박막 위의 알칸티올분자의 흡착에 의한 자기조립단분자막(Self-Assembled Monolayers)은 접착 방지, 마찰 저하 등의 기능을 가진 코팅층으로서의 응용과 분자 또는 생분자의 미세 구조물 형성을 위한 방법으로 널리 연구되어지고 있다. 이러한 연구 중에서 특히 자기조립단분자막의 매우 얇은 두께와 금속 박막의 선택적 식각을 위한 안정적인 리지스트(Photo Resist)로서의 특징을 활용한 극미세 패터닝에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.(중략)