• 제목/요약/키워드: 나노급 정밀 구동

검색결과 3건 처리시간 0.017초

나노급 정밀 구동을 위한 스핀들 모터-척 시스템 설계 (Design of Spindle Motor-chuck System for Ultra High Resolution)

  • 김경호;김하용;신부현
    • 한국소음진동공학회논문집
    • /
    • 제19권6호
    • /
    • pp.614-619
    • /
    • 2009
  • The STW(servo track writing) system which is the process of writing servo signals on disks before assembling in drives uses the spindle motor-chuck mechanism to realize low cost because the spindle motor-chuck mechanism has merit which can simultaneously write multi-disk by piling up disks in hub. Therefore, when the spindle motor-chuck mechanism of horizontal type operates in high rotation speed it is necessary to reduce the effect of RRO(repeatable run-out) and NRRO(non-repeatable run-out) to achieve the high precision accuracy of nano-meter level during the STW process. In this paper, we analyzed that the slip in assembly surfaces can be caused by the mechanical tolerance and clamping force in hub-chuck mechanism and can affect NRRO performance. We designed springs for centering and clamping considering centrifugal force by the rotation speed and assembly condition. The experimental result showed NRRO performance improves about 30 % than case of weak clamping force. The result shows that the optimal design of the spindle motor-chuck mechanism can effectively reduce the effect of NRRO and RRO in STW process.

대면적 이송 자기부상 스태이지 개발 (Development of Magnetic Levitation Stage with Wide Area Movement)

  • 전정우;;강동식;오현석;김성신
    • 대한전기학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전기학회 2006년 학술대회 논문집 정보 및 제어부문
    • /
    • pp.458-460
    • /
    • 2006
  • 본 논문은 대면적 자기부상 스태이지의 정밀급 위치제어를 위한 시스템 구성 및 제어 알고리즘에 대한 연구결과를 기술한다. 자기부상 스태이지는 16개의 동기모터에 의해 구동되며, 각 모터의 Moving 부분에 수직방향의 힘과 수평방향의 힘을 모두 발생할 수 있도록 Halbach 구조로 되어 있다. Matlab/Simulink 모델링을 수행하였으며, Simulation 결과를 벼였다.

  • PDF