R.F sputtering법으로 제조한 $TiB_2$ 박막의 특성
(Characteristics of $TiB_2$ thin films prepared by R.F sputtering)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 1998년도 춘계학술발표회 초록집
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- pp.43-44
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- 1998