• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.17 no.5
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• pp.134-140
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• 2003

In this paper, a hardware implementation of gas flow meter for accuracy improvement and saving repair costs at a field is investigated. An adaptive filter using LMS algorithms for estimating cavity vibration frequencies in noisy environments is also studied. The proposed cavity gas flow meter measures cavity sound signals in gas flow tube using microphone and signal processing systems estimate the cavity vibration frequency from the measured signal. The flow velocity and flow quantity can be calculated using the estimated cavity vibration frequency. Since cavity vibration frequency is corrupted by the environmental noise, an adaptive filter using NLMS algorithms is used for cancelling the environmental noise. Experiments using 1MS32OC32 digital signal processor are performed to show the effectiveness of the proposed system.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.16-16
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• 2010

반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A 17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.328-328
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• 2010

반도체 및 LCD 공정이 진행되는 진공 챔버는 유량계, 진공 펌프 및 밸브 등을 이용하여 적절한 공정용 기체와 압력을 제어하게 된다. 공정에 따라 매우 높은 온도를 유지해야 하는 경우도 있다. 챔버 내부의 압력은 유입되는 기체의 시간에 따른 유량 변화에 의하여 주기적으로 변화하게 된다. 이러한 유량 변화는 장기적으로는 결국 펌프의 신뢰성(내구수명)에 영향을 주게 되며, 특히 고유량 및 저유량을 반복하게 되는 공정에 있어서는 더욱 큰 영향을 미치게 된다. 또한 챔버 내부는 다양한 화학적 반응이 일어나며 이러한 공정 기체들의 높은 온도는 결국 챔버에 연결된 펌프의 성능 및 신뢰성에도 영향을 주게 된다. 대부분의 반도체 및 LCD 공정이 이루어지는 압력에서는 전도 및 대류의 열전달 형태 보다는 열복사에 의한 영향을 받게 되어 챔버를 적절히 설계한다면 펌프에 직접적으로 전달되는 복사량은 상대적으로 낮고, 펌프에 미치는 영향도 크지 않게 된다. 그러나 압력의 변화에 따라 전도 및 대류의 영향이 커지게 되는 경우에는 펌프 자체 및 성능에 큰 영향을 주게 될 것이다. 터보형 펌프의 국내(KS) 및 국제규격(ISO)의 성능시험방법에는 이러한 온도에 따른 펌프의 성능 특성 변화를 다루고 있지 않으며, 크라이오 펌프인 경우 열복사의 영향에 대한 시험방법이 일부 공개되어 있다[J. Vac. Sci. Technol. A17(5)]. 본 연구에서는 기체의 유량 및 온도 변화에 따른 진공 펌프의 성능 특성 변화를 고찰하고자 하며, 향후 이러한 시험방법에 대한 표준 절차를 확립하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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• 2002.12a
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• pp.149-152
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• 2002

본 연구에서는 밸브의 입출력 류량 검출 센싱 장치 및 류량 성능 특성 곡선을 측정하는 소프트웨어를 개발하였다. 본 개발품은 기체 또는 액체의 양을 조절하는 밸브의 정밀한 제품을 생산할 수 있는 시스템이다. 멤버쉽함수의 최적한 폭을 자기동조에 의해 선정할 수 있었으며, 이를 이용하여 밸브의 압력 제어 성능을 보다 정밀하게 보정 할 수 있었다. 기체 또는 액체의 유량을 조절하는 감압 자동 조절밸브의 성능을 온라인으로 시험 할 수 있는 소프트웨어를 국산화하였다. 본 제품의 개발 결과 우수한 성능을 가진 감압 밸브 성능자동 보정 시험 검사용 소프트웨어임을 확인하였다.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2001.06b
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• pp.76-81
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• 2001

Ultrasonic flowmeters have more advantages than the conventional method using pressure-difference. In these reasons, many advanced nations are already selling the commercial model. In RIST, we have been developed ultrasonic gas flow meter for the localization since a project was been contracted with POSCO in 1997. This paper describes a new ultrasonic gas flowmeter. This ultrasonic gas flowmeter is developed for accurate measurement of gases in a harsh environmental conditions. It is especially suited for measuring LDG, COG, BFG gases produced in iron & steel making process. In this study, we had developed the commercial model about the first tested model and applied a completed system to the POSCO gas line. Its performance has already well been proven by extensive field tests for several months in POSCO, iron & steel making company.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.22 no.3
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• pp.246-253
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• 2002

This paper describes the development and the field application of the ultrasonic gas flowmeter for accurate measurement of the volumetric flow rate of gases in a harsh environmental conditions in iron & steel making company. This ultrasonic flowmeter is especially suited for measuring LDG, COG, BFG gases produced in iron & steel making process. This is a transit time type ultrasonic flowmeter. We have developed the transmitting & receiving algorithm of ultrasonic wave and the ultrasonic signal processing algorithm to develope a transit time type ultrasonic flowmeter. We have evaluated the performance of ultrasonic flowmeter by the calibration system with Venturi type standard flowmeter. We has confirmed its reliability by extensive field tests for a year in POSCO, iron & steel making company. Now we have developed the commercial model of ultrasonic flowmeter and applied to the POSCO gas line.

• Proceedings of the KSR Conference
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• 2009.05a
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• pp.1680-1686
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• 2009

Flow characteristics of a differential pressure flow meters which have a shape of triangular separate bar (TSB) was investigated according to machining conditions in pressure tapping holes. Size of pressure tapping holes is machined with either 1.0 mm or 1.5 mm in diameter. Also, number of pressure tapping holes are drilled either 9 or 17. The mass flow rate of the TSB flow meters are calibrated with a laminar flow meter by connecting them in line. The mass flow rate in the TSB flow meters are plotted with a non-dimensional parameter H which includes the gas temperature, exhaust gas pressure and differential pressure at the flow meters, and atmospheric pressure. An empirical correlation between the mass flow rate at the TSB flow meter and the non-dimensional parameter H was obtained. The empirical correlation showed highly linear relationship between the mass flow rate and the non-dimensional parameter H. The hole size of the pressure tapping holes has a bigger effect on the flow rate than the number of the tapping holes.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.15 no.5
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• pp.465-474
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• 2006

A gas fueling system composed of a gas reservoir, an on-off valve, and a gas transferring tube, which is the simplest construction for the pre-programmed gas puffing, was simulated by numerically solving the time-dependent one-dimensional gas flow equation. The purpose of the simulation is to establish the relationship between the gas flow pattern (the elapsed time to the maximum flow, the maximum flow rate, the gas pulse duration) and the system parameters (the filling pressure and the volume of the gas reservoir, and the length and the diameter of the gas transferring tube).

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.21 no.1
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• pp.17-25
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• 2017

An experimental study was performed for the combustion-field visualization of the burner which burns the liquid hydrocarbon fuel atomized by an ultrasonic oscillator. Configurations of the flame and temperature gradient were caught by both high-speed camera and thermo-graphic camera, and those images were analyzed in detail through a post-processing. In addition, the fuel consumption was measured using the balance during the combustion reaction. As a result, the consumption of atomized fuel increased with the increasing flow-rate of carrier-gas, but any correlation between the air/fuel ratio and carrier-gas flow-rate was not found at the low flow-rate condition. Also, the combustion-field grew and reaction-temperature rose due to the strengthening of combustion reaction with the increasing flow-rate of carrier-gas and power consumption of ultrasonic oscillator.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.30 no.6
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• pp.46-52
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• 2002

Characteristics of flow rate control has been studied for a cavitating venturi adopted in a liquid rocket propellant feed system. Both experiment and numerical simulation have been performed to give about 10% discrepancy of mass flow rate for cavitating flow regime. Mass flow rate is confirmed to be saturated for pressure difference higher than $3{\times}10^5$pa when the upstream pressure is fixed to $22.8{\times}10^5$pa and the downstream pressure is varied. The evaporation amount depends substantially to non-condensable gas concentration. However the mass flow rate characteristics is relatively insensitive to the mass fraction of non-condensable gas. So it reduces by only 2% when the non-condensable gas concentration is increased from 1.5PPM to 150PPM. From the previous comparison the expansion of the non-condensable gas and the evaporation of liquid are verified to gave same effect to the pressure recovery pattern.