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A Study of carrier gas and ligand addition effect on MOCVD Cu film deposition (운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구)

  • 최정환;변인재;양희정;이원희;이재갑
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.9 no.3
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    • pp.197-206
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    • 2000
  • The deposition characteristics of MOCVD Cu using the (hfac)Cu(1,1-COD)(1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentadionato Cu(I) 1,5-cyclooctadine) have been investigated in terms of the effects of carrier gas such as hydrogen and argon as well as the effects of H(hfac) ligand addition. MOCVD Cu using a hydrogen carrier gas led to a higher deposition rate and lower resistivity than an argon carrier gas system. The improvement in the surface roughness of the MOCVD Cu films and the (111) preferred orientation texture was obtained by using a hydrogen carrier gas. However, the adhesion characteristics of the films showed relatively weaker compared to the Ar carrier gas system, probably due to the larger amount of F content in the films, which was confirmed by the AES analyses. When an additional H(hfac) ligand was added, the deposition rate was significantly enhanced in the case of an argon + H(hfac) carrier gas system while significant change in the deposition rate of MOCVD Cu was not observed in the case of the hydrogen carrier gas system. However, the addition of H(hfac) in both carrier gases led to lowering the resistivity of the MOCVD Cu films. In conclusion, this paper suggests the deposition mechanism of MOCVD Cu and is expected to contribute to the enhancement of smooth Cu films with a low resistivity by manipulating the deposition conditions such as the carrier gas and addition of H(hfac) ligand.

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저온 공기 표면 플라즈마 특성과 이를 이용한 화학작용제 제독

  • Jeong, Hui-Su;Seo, Jin-A;Choe, Seung-Gi
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.195.2-195.2
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    • 2016
  • 대기압 플라즈마는 공기중에서 방전이 가능하고, 이때 생성되는 활성산소종(ROS)과 활성질소종(RNS)을 적절히 이용하면 살균은 물론 제독이 가능하다. 특히 신경작용제나 수포작용제 등의 화학물질은 박테리아 포자, 세균, 바이러스 등의 생물작용제에 비해 더 많은 에너지와 시간이 요구된다. 현재 군이나 의료 시설에서는 과산화수소를 이용한 제독이나 염소계 표백제 성분으로 구성된 수용성 제독제를 이용하지만, 플라즈마의 경우는 단순히 기체를 방전하여 제독에 이용할 수 있으므로 보다 제독 시스템을 간단하게 구성할 수 있다. 하지만 대기압 방전시 방전전압을 낮추기 위해 헬륨과 알곤등의 기체를 공급하여 사용할 경우 부가적인 시스템의 규모가 커져 활용에 제한이 따른다. 따라서 본 연구에서는 대기중에 존재하는 질소, 산소 등을 이온화시키기 위해 10-25kHz의 주파수에서 4.5kV의 8us 펄스전원을 인가하여 공기 플라즈마를 얻고, 열에 의한 분해효과를 제거하기 위해 플라즈마의 기체온도를 20도로 유지시켰다. 플라즈마의 특성은 방출광 분석법을 이용하여 떨림온도를 계산하였고, 질소와 오존의 농도를 동시에 관찰하였다. 분해된 화학작용제는 기체분석기(Gas Chromatography)를 통해 표준 오염농도대비 잔류한 양을 측정함으로써 제독효율을 계산하였다.

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Comparative Analysis and Improvement of the Preparation of Chlorine gas in the Revised High School Chemistry II Textbooks (개정된 고등학교 화학 ll 교과서 실험 중에서 염소의 제법과 성질 실험의 비교 분석 및 개선)

  • Lee, Kwang-Pill;Seo, Hyun-Kyung;Lee, Mu-Sang
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.44 no.1
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    • pp.74-80
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    • 2000
  • The purpose of this study is to analyze comparatively and improve the preparation of chlorine gas in the high school chemistry II textbooks on the basis of the revised curriculum. From the results of the preparation experiment of chlorine gas which is commonly dealing with 9 kinds of textbook in the nation, we have found some problems and have suggested the solution of these problems. The problem is the students may inhale the chlorine gas that is to be injurious on the human body, so the research is focused on safe experimental method without inhalation of chlorine gas. The simple conviction method of character in laboratory is to propose at 5 kinds.

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수소 제조용 치밀질 세라믹 멤브레인 제조기술 개발

  • Hwang, Gwang-Taek
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2005.11a
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    • pp.51-59
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    • 2005
  • 수소 분리막의 적용 분야는 석탄가스, 천연가스, 메탄가스 혼합기체이며, 고온/고압 및 수소농도가 낮은 혼합기체에서 고순도의 수소를 제조하는 곳이다. 특히 치밀질 세라믹 멤브레인은 고온에서 가스화한 석탄가스나 차세대의 쓰레기 처리 기술인 가스화 용융처리에서 생긴 고온가스로부터 고순도의 수소를 분리할 수 있다. 분리한 수소는 고온을 유지하기 때문에 연료전지 발전에 최적이다. 종래의 연료전지는 발전을 위해서 수소의 가열이 필요했으나 이것이 불필요하게 되어 발전 전체의 효율이 향상된다. 석유화학 산업에서 발생하는 혼합기체에서 수소를 분리하여 사용하고 남은 기체는 연료로 재사용할 수 있다. 분리막의 재질로는 고분자계가 개발되고 있으며 고분자 지지체에 백금이나 로듐과 같은 촉매를 코팅하는 방법이다. 이는 기공의 제어가 용이하고 대량생산이 가능한 장점이 있지만 고온에서 사용이 불가능하고 입자상 물질에 의해 분리막의 손상이 문제가 되고 있다. 이에 비해 치밀질 세라믹 멤브레인은 세라믹의 특성에 의해 고온 및 고압에서도 적용이 가능하며, 실온이나 저압의 조건에서도 적용이 가능한 특징을 가진다. $900^{\circ}C$의 고온에서 적용시 세라믹 멤브레인에는 특성열화가 없어 수명이 긴 장점을 가지게 된다. 수소가 포함되어 있는 기체에서 수소 만을 분리하는 방법은 흡착이나 분리막을 이용하는 방법이 일반적이며 흡착에 의한 방법은 일부 실용화가 진행되고 있다. 고효율의 수소를 분리하는 방법으로 분리막을 이용하는 방법이 있다. 현재 치밀질 수소 분리막의 연구는 외국(미국, 일본 등)에서도 초기 연구 단계이다. 국내에서도 이런 연구가 선행되어 외국과의 기술 격차를 줄이고 에너지 자원에 대한 확보가 필요하기 때문에 이 연구가 수행되었다. 치밀질 멤브레인의 소재로는 proton 및 전자전도가 가능한 소재로서 Ba-Ce-Y계를 기본조성으로 하여 내구성과 전기전도도를 향상시키기 위해 Ca, La, In, Yb를 치환하였다. 제조한 재료의 물리화학적 특성을 평가하였고, 수소여과 장치를 이용하여 여과 효율을 평가하였다.

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A Simulation Study on the Clamshell-type Missile Airframe Separation (크램쉘형 유도탄 기체분리 시뮬레이션 연구)

  • Kim, Goo;Hur, Ki-Hoon
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.36 no.4
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    • pp.375-383
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    • 2008
  • Design of a weapon-carrier type of missile requires to provide a highly reliable mechanism of airframe separation and air stabilizer deployment which enables the safe release of payload at high-speed flight conditions. This mechanism is characterized by a relative dynamic motion of multiple separated bodies, proceeding as swiftly as hundreds of milli-seconds, so that the use of modeling & simulation(M&S)techniques could play a crucial role in the design. This paper presents an M&S technique which has been developed for a design of anti-submarine missile employing a clamshell type of airframe separation, and shows some major results of simulation compared to available flight test results. Emphasis of the current study was laid on a proper balance between the quick calculation, which is essential for practical design application, and the credibility of the results.

Numerical Simulation of Airframe Separation of a Missile System Using an Unstructured Overset Mesh Technique (비정렬 중첩격자기법을 이용한 유도무기의 기체분리운동 모사)

  • Jeong, Mun-Seung;Lee, Sang-Uk;Gwon, O-Jun;Heo, Gi-Hun;Byeon, U-Sik
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.34 no.5
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    • pp.19-29
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    • 2006
  • In this study, numerical simulation of airframes separating from a missile system has been preformed. For the time-accurate trajectory simulation, six D.O.F equations of motion of multiply connected bodies were derived and these equations have been coupled with the unstructured overset mesh technique for the treatment of independent mesh blocks moving with each body component. Applications were made for the simulation of the airframe separation at missile angles of attack of 0 and 5 degrees. It was demonstrated that the present method is efficient and robust for the prediction of unsteady time-accurate flow fields involving multiple bodies in relative motion.

The effects of primary gas physical properties on the performance of annular injection type supersonic ejector (주유동 기체의 물리적 특성이 환형 분사 초음속 이젝터의 성능에 미치는 영향)

  • Jin, Jung-Kun;Kim, Se-Hoon;Park, Geun-Hong;Kwon, Se-Jin
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.33 no.12
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    • pp.68-75
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    • 2005
  • The effects of the physical properties of primary flow on the performance of a supersonic ejector were investigated. Axisymmetric annular injection type supersonic ejector was used for the study of the effects of molecular weight and the specific heat at constant pressure on the ejection performance. Test gases include; air, $CO_{2}$, Ar, $C_{3}H_{8}$, and $CCl_{2}F_{2}$ for different values of gas properties. As the molecular weight and CP of the primary gas increase, the secondary flow pressure increases at the same primary stagnation pressure and this behavior results from the combined effects of molar specific heat or specific heat ratio.

액체추진기관 Rocket의 발사를 위한 지상공급시스템 개발

  • 이정호;길경섭;김용욱;조상연;오승협
    • Bulletin of the Korean Space Science Society
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    • 2003.10a
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    • pp.90-90
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    • 2003
  • 한국항공우주연구원은 액체추진기관 시스템을 이용한 3단형과학로켓(이하 KSR-III)을 국내 최초로 개발하여 비행시험을 수행하였다. 액체추진기관 로켓의 비행시험을 위해서는 이전의 고체 추진기관을 이용한 과학로켓 1, 2와는 달리 비행시험 조건에 부합하게 액체추진제 및 가압제 등을 공급하는 지상설비가 필요하다. 이에 한국항공우주연구원은 독자적으로 비행시험에 필요한 제반 설비를 갖춘 발사장을 구축하였다. KSR-III는 압축 헬륨가스(GHe)를 이용하여 연료(Jet A-1)와 산화제(LOx)를 가압하여 추력을 얻는 액체추진기관 시스템이다. 따라서 발사장에서의 지상공급설비는 유공압 설비와 발사시나리오에 따라 해당 부품을 제어하고 자료를 저장하는 제어/계측 설비 및 기타설비들로 구성되어 있다. 지상공급설비 중 유공압 설비는 LOx의 저장 및 기체 내 산화제 탱크의 충전을 위한 산화제 공급설비, Jet A-1의 저장 및 기체 내 연료 탱크의 충전을 위한 연료 공급 설비, 지상설비용 밸브구동 및 기체 내부 퍼지 등에 필요한 질소($N_2$)를 저장/공급하는 설비, 기체내부 밸브 구동 및 가압제로 사용되는 기체헬륨(He)을 저장/공급하는 설비들로 구성되어 있다. 이러한 구축된 공급설비는 기능시험, 연계시험 등의 각종 입증시험을 통해 그 성능을 검증한 후 단인증모델(SQTM)을 이용하여 발사 시나리오에 따른 추진제 공급능력을 입증한 후 KSR-III의 비행시험을 성공적으로 수행하였다. 수행된 연구결과는 향후 건설되어질 우주센터내의 발사장 기반설비 설계의 기초 자료로 활용할 수 있을 것이다.

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Evaluation of Gas Transport Parameters through Dense Polymeric Membranes by Continuous-Flow Technique (연속흐름방식에 의한 기체투과특성 측정 및 분석)

  • 염충균;이정민;홍영택;김성철
    • Membrane Journal
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    • v.9 no.3
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    • pp.141-150
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    • 1999
  • A novel permeation apparatus was developed which could make the on-line measurements of both flux transient and permeate composition in gas permeation. The measurement by using the per¬meation apparatus was based on the continuous-flow technique. The transient measurement allowed the simultaneous determinations of permeation characteristics, such as, permeability, diffusion and solubility coefficients, and activation energies only with one experiment. The apparatus performance was illustrated by conducting the permeation of pure gases through two glassy polyimides and a rubbery poly (dimethyl¬siloxane) membranes, respectively. A comparison of the permeation characteristics determined from the flux transients was made with the literature values for verifying the confidence and accuracy of the measurement. Also, the analysis of the permeation transients obtained was carried out for the close investigation of the permeation behaviors of gases through membrane.

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Spray characteristics of liquid-swirl/gas-jet coaxial injectors (액체스월-기체제트 동축 분사기의 분무특성)

  • Jeon, Jae-Hyoung;Hong, Moon-Guen;Kim, Jong-Gyou;Han, Yeoung-Min;Lee, Soo-Yong
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.82-85
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    • 2009
  • In the development of Liquid Rocket Engine(LRE) systems, it is essential to understand the spray characteristics which influence mainly the performance and the stability of combustion. The injectors for this study have a recessed Liquid-swirl/Gas-centered jet coaxial type. For the similarity with actual conditions, the experimental conditions are calculated by using the momentum ratio as a matching parameter, and the stimulants of fuel and oxidizer are gaseous nitrogen and water respectively. The spray fields were measured by means of a photographic technique. Moreover, an effect of the momentum ratio has been investigated.

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