• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.111.1-111.1
• /
• 2016

진공 중 산화처리 방법으로 스테인레스강 표면에 형성한 크롬 산화막에 의한 수소 기체방출 저감 효과를 수치해석 방법으로 분석하였다. 스테인레스 강 진공 용기를 진공 중 산화처리하면 표면의 확산 방지막 효과에 의하여 수소 기체방출률을 낮출 수 있다고 알려져 있으나 그 구체적인 원리는 명확하지 않다. 표면 크롬 산화막의 수소 확산계수가 스테인레스 강 내부의 확산계수보다 작으므로 수소의 확산을 지연시켜 기체방출을 낮춘다는 설명이 가능하지만, 크롬 산화막의 두께 및 확산계수가 미치는 영향을 정량적으로 분석한 예는 없었다. 본 발표에서는 스테인레스강 진공용기의 크롬산화막과 모재 내부에 서로 다른 확산계수를 부여한 후 기체방출에 관여하는 확산 방정식을 수치해석으로 풂으로써, 표면의 확산 방지막에 의한 기체방출 저감 효과를 설명하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.81-81
• /
• 2016

극고진공 장치와 대형 초진공 시스템에서 원하는 진공도를 합리적으로 얻기 위해서는 진공 재료의 기체방출률을 줄이는 것이 가장 효과적이다. 이 때문에 기능성 피막 처리, 고온 탈기체 처리와 같은 방법이 적용되고 있다. 스테인리스강은 표면에 치밀한 크롬 산화막을 만들거나 재료의 기체 함유량을 줄이는 방법을 사용한다. 알루미늄합금 강은 특수처리로 표면에 알루미늄 산화막을 형성함으로써 기체방출률을 낮추고 있다. 이 발표에서는 스테인리스강을 비교적 낮은 온도에서 처리하여 매우 낮은 기체방출률을 얻는 노력에 대하여 보고한다. 알루미늄합금에 대해서는 특수압출과 내 표면 거울처리 하는 방법에 대하여 설명한다. 또한, 연강과 같은 금속재료의 기체방출률 측정 결과를 제작 공정으로 설명한다. 한편, 지정한 시간 내에 목표 진공도를 얻는 것과 최소 배기속도를 선택하고 적절히 배분하는 것도 매우 중요하다. 작고 가벼운 게터 펌프와 이온펌프의 조합으로 이를 해결하는 노력, 이온펌프의 최적화 연구에 대하여 보고하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2007.08a
• /
• pp.117-117
• /
• 2007

• Journal of the Korea Institute of Building Construction
• /
• v.18 no.1
• /
• pp.9-15
• /
• 2018

Radon gas, which is present on the earth, is a primary carcinogen released from rocks, soil, building materials, etc., and exists as a unique gas phase. In order to solve the risk of radon gas, we evaluated the basic performance which can be used as indoor finishing materials in addition to the radon gas reduction properties of the matrix using anthracite. An anthracite used as a conventional filter material was used to produce a matrix, and a test was conducted to replace the gypsum board, which is one of the building materials used in the existing room. As the anthracite replacement ratio increases, flexural failure load strength increases and thermal conductivity tends to decrease. Depending on the thickness of the board, the reduction performance of radon gas shows a slight difference.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2015.08a
• /
• pp.101.2-101.2
• /
• 2015

급속한 산업화로 인하여 에너지 부족 문제가 대두되고 있는 가운데 에너지 저감 기술의 개발이 요구되고 있다. 국내 반도체 공정의 배기계통에서 소비되는 에너지는 전체 공정에 소비되는 에너지중 상당량에 달하며 10%의 에너지 절감은 연간 1000억원 이상의 비용절감 효과를 기대할 수 있다. 반도체 공정 배기계통은 진공펌프의 특성, 챔버의 부피, 도관의 구조(직경, 길이, 형상), 진공재료의 기체방출 등 여러 가지 요소의 복합적인 영향으로 그 상태가 달라지므로 보다 효과적인 공정의 운용과 에너지 절감을 위해 반도체 공정의 복합 상태 진단기술 개발이 요구되고 있으며 그중 큰 비중을 차지하는 드라이펌프의 실시간 모니터링 기술의 개발이 시급하다. 본 연구에서는 반도체 공정의 복합 상태 진단기술 개발에 대한 기초 연구로서 반도체 공정 배기계통의 conductance 및 유량 변화에 대한 드라이펌프의 특성을 이론적 계산으로 얻어진 결과와 실험을 통하여 얻어진 결과를 비교, 분석하였다. 진공펌프의 기본 특성은 한국표준과학연구원에서 국제규격에 따라 도달진공도, 배기속도, 소비전력, gas load, 소음, 진동 등을 분석하였고, 나노종합기술원의 PECVD 장비(chamber A: amorphous silicon 및 loadlock chamber)에 챔버의 부피, 도관의 구조, 공정가스의 유량 등을 측정하여 simulation 하였으며, 실제 측정값은 LabVIEW 프로그래밍으로 자동화 된 MFC를 이용하여 실제 공정 상태를 모사하였다. 실험은 PECVD의 특성을 고려하여 질소분위기에서 CDG (Capacitance Diaphragm Gauge)를 사용하였다.

• Fire Science and Engineering
• /
• v.33 no.4
• /
• pp.77-82
• /
• 2019

Fire extinguishing systems are essential equipment in all indoor facilities to address unexpected fire scenarios, and appropriate fire extinguishing agent should be used depending on the place and object to protect. Among these, gaseous fire-extinguishing systems are used to protect electronic equipment. Therefore, inert gases that do not undergo chemical reactions are used mainly in those systems. On the other hand, recently, owing to the high integration of electronic equipment, there are some cases, in which large noise generated from gaseous systems damage the electronic equipment. In this study, numerical analysis of the discharge noise with various nozzle contraction angles was carried out to improve the gas fire extinguishing system. Numerical analysis was carried out using ANSYS FLUENT ver 18.1. The causes of the noise were elucidated using the swirl distribution. The noise level of the modified model was reduced by approximately 6 dB compared to the reference model, which is similar to the result of a previous study, confirming the validity of the method.