한국결정성장학회 1997년도 Proceedings of the 13th KACG Technical Meeting `97 Industrial Crystallization Symposium(ICS)-Doosan Resort, Chunchon, October 30-31, 1997
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pp.135-144
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1997
표면 활성효과에 대한 비정질 규소 박막의 고성결정화 특성을 연구하였다. 증착된 비정질 규소 박막에 macro한 방법으로 wet blasting을, micro한 방법으로 자기이온주입으로 표면 활성화 처리를 행한 후 열처리를 하여 결정립의 결정화 특성을 보았다. 열처리는 관상로를 이용한 저온 열처리와 RTP를 이용한 급속 열처리의 두 가지 방법으로 하였다. 결정화의 기준으로 XRD분석을 통해 얻은 (111) 피크 강도를 이용하였으며, 결정의 품질을 비교하기 위해 Raman 분석을 하였다. 기계적 damage를 이용한 표면 활성화는 결정화를 촉진함을 확인하였으며 활성화 방법에 따른 결정화 영향 변화정도는 열처리 온도가 증가함에 따라 감소하였다.
비정질 실리콘박막의 고상결정화 특성에 대한 비정질 박막의 증착방법, 수소화 정도, 표면결정 활성화 에너지 변화 및 열처리 환경 영향을 X선 회절, EDAX, Raman 분광 분석으로 조사하였다. 저온(58$0^{\circ}C$)열처리 corning 시료에서 기판 barium(Ba), aluminum(AI) 성분의 막내 확산 임계열처리시간 및 확산에 기인 한 불안정 결정화 특성을 관찰하였다. 화학기상증착 석영 수소화 시료에서 hard damage 기계적 활성화 효과로 얻어진 조대결정립 결정화 특성을 X선 회절의 (111) 배향 상대강도 변화로 관찰 할 수 있었으며, 이는 활성화 효과에 의한 고상 결정화 시 핵생성과 성장속도변화로 다결정 실리콘의 전기적물성 향상 가능성을 보여주었다. Soft damage, bare 활성화 처리 수소화막의 결정화는 비정질 상의 혼재, 박막 응력등의 저품위 입계특성 및 미세결정립 성장 특성으로 관찰되었으나, 활성화 전처리에 의한 저온 및 고온(875$^{\circ}C$)단시간(30분) 결정화는 확인 되었다. 스퍼터링 비수소화 막의 결정화는 상변태 상태의 Raman 결정피크로 분석 되었으며, 결정화 거동에 선행막의 스퍼터링 및 비수소화 영향은 활성화효과에 관계없이 불완전 저품위 결정특성으로 확인되었다. AFM 표면형상은 3차원 island 성막특성을 보여주었고 표면거칠기정도는 높은 것으로 관찰되었다.
서울특별시는 지난 5월 16일 "서울특별시 지역건설산업 활성화에 관한 조례"를 개정 공포했다. 서울특별시는 사업의 기본계획 단계에서 분할발주 여부를 검토 시행하고, 활성화 추진 목표 달성 현황을 매 반기별로 건설위원회에 보고토록 제도화함으로써 지역중소건설업체의 분할발주 활성화에 물꼬를 텄다. 주요 개정내용으로는 지역 중소건설업자의 공사참여 기회를 보장하기 위하여 분할 발주 가능 여부를 판단함에 있어 예산편성과 기본설계 등 사업의 계획단계부터 검토 시행토록(제6조제2항, 신설) 했으며, 매년 반기별로 활성화계획의 추진 목표 달성 현황을 보고하되 정성적인 부분과 정량적인 부분을 모두 보고토록(제4조제6항, 신설) 한 것이다. 이번 조례 개정으로 서울특별시는 "공사의 성격상 공종을 분리하여도 하자책임 구분이 용이하고 품질 및 안전관리에 지장이 없는 기계설비공사 등에 대해 분리발주를 적극 적용함으로써 지역 중소전문건설업체의 권익을 도모하는 한편 타 시 도의 표본이 될 수 있을 것으로 기대한다"고 밝혔다.
비정질 규소가 결정질로 되기 위해서는 활성화가 필요하다. 이 활성화는 레이저 및 로내에서의 열처리로 열에너지를 가하면 달성될 수 있다. 이때 이 열에너지 외에 기계적 에너지 등을 가하면 활성화에 도움이 될 수 있을 것이다. 본 연구에서는 습식연마와 자기이온주입 등의 방법으로 기계적 손상을 주어서 이것이 LPCVD로 증착된 비정질 규소 박막의 결정화에 미치는 영향을 조사하였다. 결정성 확인을 위해서는 XRD와 라만분석법을 사용하였다. 본 연구의 결과, 기계적 손상이 비정질 규소 박막의 결정화를 증진시키는 것을 확인하였다.
Au 정광으로부터 Au Ag의 용출율을 향상시키기 위하여 기계적-화학적 활성화와 티오요소-티오시안산염 혼합용액을 적용하였다. 기계적-화학적 활성화를 이루기 위하여 정광 시료를 건식으로 그리고 습식으로 미분쇄하였다. 입도분포 분석과 XRD 분석 결과, 평균 입도 크기와 결정크기는 정광 시료보다 건식-시료에서 그리고 건식-시료보다 습식-시료에서 더 작게 나타났다. SEM과 XRD 분석 결과 기계적-화학적 활성화에 의해서 습식-시료에서 비정질화 현상이 관찰되었다. Au Ag에 대한 용출실험을 티오요소 용액, 티오시안산염 용액 그리고 티오요소-티오시안산염 혼합 용액으로 각각 수행하였다. Au Ag 용출율은 정광 시료보다 건식-시료에서 그리고 건식-시료보다 습식-시료에서 더 높게 나타났다. Au Ag는 티오요소 용액에서 보다 티오시안산염 용액에서 그리고 티오시안산염 용액에서보다 티오요소-티오시안산염 혼합 용액에서 더 높게 용출되었다. 습식-시료와 티오요소-티오시안산염 혼합 용액을 적용할 때 Au Ag가 99% 이상으로 용출되었다.
국토해양부(장관 정종환)는 2012년까지 연간 해외건설 수주 700억불 달성으로 세계 10대 해외건설 강국 진입 목표의 "해외건설 현황 및 활성화 방안"을 마련하여 국가 브랜드 제고를 위한 우리경제의 핵심 성장 동력으로 집중 육성키로 하고, 이를 지원하기 위해 국가적 역량을 결집키로 했다.
본 연구에서는 물리적 활성화법인 수증기 활성화법을 이용하여 PAN (Polyacrylonitrile)계 활성탄소섬유를 제조하였다. 활성화는 온도와 시간을 변수로 하였으며, 활성화 온도(700, 750, $800^{\circ}C$)에 도달하였을 때 200 mL/min의 수증기 유량의 조건으로 PAN 탄소섬유의 활성화를 진행하였다. 제조된 활성탄소섬유의 기공구조를 분석하기 위하여 질소가스의 흡 탈 등온선을 통한 비표면적($S_{BET}$) 측정과 표면분석을 위한 AFM 분석을 실시하였다. 또한 인장시험을 실시하여 활성화 결과 형성된 기공구조가 섬유의 기계적 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 그 결과, 활성화 후 섬유의 비표면적($S_{BET}$)은 $448{\sim}902m^2/g$의 값을 나타냈으며, 인장강도는 58.16~84.92%, 탄성계수는 69.81~83.89%의 감소를 보였다.
1951년 창립한 경남기업(주)은 1965년 국내업체 중 처음으로 해외건설면허를 취득해 현재까지 국내 건설시장은 물론, 해외건설시장 활성화를 위해 매진하는 건설업체다. IMF 당시 워크아웃이라는 위기를 슬기롭게 극복, 5년만에 워크아웃을 조기졸업 하는 저력을 보였으며 2004년 대아건설과 합병을 통해 대형 건설사로 급부상했다. 기존 국내 주택 및 토목 부문 사업비중을 줄이고 해외건설, 에너지산업, 해외자원개발 등 수익 다각화로 인해 안정적인 수익구조를 구성한 경남기업(주)은 올해 시공능력평가 17위에 안착하는 등 급변하는 건설환경에 능동적으로 대처하는 모습을 보이며 또 한 번의 도약을 시도하고 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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