• Title/Summary/Keyword: 금속 시편

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연속압입 분석을 이용한 W-C-N 확산방지막 물성 연구

  • Lee, Gyu-Yeong;Kim, Su-In;Park, Sang-Jae;Lee, Dong-Gwan;Jeong, Yong-Rok;Jeong, Jun;Lee, Jong-Rim;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.181-181
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    • 2010
  • 현대 반도체 금속배선 연구에서는 기존에 쓰이던 Al (Aluminium) 금속배선 대신에 Cu (Copper) 금속배선 연구가 진행되고 있다. Cu는 Al 보다 비저항이 낮고, 녹는점도 Al보다 높다는 장점이 있지만 저온에서 기판인 Si (Silicon) 과 반응하고 접착력이 우수하지 못 하다는 단점이 있다. 이런 문제를 해결하기 위하여 확산방지막을 기판과 금속배선 사이에 삽입하는 방법이 제시 되었다. 확산방지막으로는 기존에 쓰이던 Ti (Titanium) 계열의 확산방지막과 W (Tungsten) 계열의 확산방지막이 있다. 이번 연구에서는 W 계열의 확산방지막에 불순물 C (Carbon) 과 N (Nitrogen) 을 첨가한 W-C-N 확산방지막 시편을 제조하였고, N2의 비율을 변화시키며 $600^{\circ}C$, $800^{\circ}C$열처리를 하였다. 본 실험의 결과로, 확산방지막의 $N_2$ 농도가 0, 0.5, 2 sccm으로 증가할수록 고온에서도 Elastic modulus 와 Hardness 값이 시편의 여러 영역에서 비교적 안정적으로 유지된다는 결과를 얻었다. 이 결과로부터 W-C-N 박막의 질소 농도에 따라 고온에서도 비교적 안정적으로 유지된다는 결과를 얻었다. 본 연구에서 시편은 RF magnetron sputtering 방법으로 제작하였고 Elastic modulus와 Hardness의 측정은 Hysitron사의 Triboindenter를 이용하였다. Indenting에 사용된 압입팁은 Berkovich tip을 사용하였다.

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Acoustic Emission Application for Aerospace Composite Materials (항공용 복합재료에 대한 음향방출의 활용)

  • Lee, Sang-Ho
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.21 no.3
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    • pp.313-318
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    • 2001
  • To establish nondestructive test method for aerospace composite materials, various composite specimens were tested and analyzed using acoutic emission. The hit rate of acoustic emission closely was rotated with crack initiation and propagation. This report also presents defection capability of crack initiation pressure, initial crack active location, and crack propagation using acoustic emission.

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Weathering Performance Evaluation of Duplex Coating Systems of Thermal Spraying and Painting using Corrosion Test (부식실험에 의한 금속용사와 도장의 복합피복방식법의 내후성능평가)

  • Kim, In Tae;Kim, Ho Seob;Kien, Dao Duy;Jun, Je Hyeong;Ahn, Jin Hee
    • Journal of Korean Society of Steel Construction
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    • v.28 no.2
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    • pp.97-108
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    • 2016
  • Thermally sprayed metals or organic coatings is often used in corrosion protection of steel structures. Duplex coating systems of thermally sprayed metal in combination with organic coating are selected as a new generic type of coatings on steel structures under the highly corrosive environments. In this study, three types of corrosion tests were carried out on four types of thermal sprayed specimens with sealing: zinc, zinc-15%aluminum alloy, aluminum and aluminum-5%magnesium alloy, four types of duplex coated specimens; thermally sprayed metals in combination with paint of acrylic urethane, and painted specimens. NORSOK M-501, Wet/dry cyclic seawater tests and outdoor exposure tests of nine types of specimens were conducted. From the corrosion test results, weathering performance of them were presented.

Study on the effect of soldering methods on the characteristics of the Ni-Cr alloy (납착 방법이 치과용 금속의 성상(性狀)에 미치는 영향에 관한 연구)

  • Kim, Chul-Hyung;Song, Young-Gyun;Lee, Jong-Hyuk
    • The Journal of Korean Academy of Prosthodontics
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    • v.50 no.1
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    • pp.53-60
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    • 2012
  • Purpose: The purpose of this study was to compare Ni-Cr alloy property of gas-oxygen torch soldering and infrared welding using optical microscope and Electron Probe Micro Analyzer (EPMA). Materials and methods: Ni-Cr alloys were casted for specimens. Specimens had 3.0 mm diameter, 30.0 mm length and were divided into two groups. Each group had 4 specimens. One group was for gas-oxygen torch soldering and the other was infrared welding. Specimens were cut with low-speed disc and soldered each other with gas-oxygen torch and infrared machine. After soldering and polishing, specimens were observed at 3 points (soldering point, 5 mm distance point, 10 mm distance point) with optical microscope and analyzed 3 points (soldering point, 5 mm distance point, 10 mm distance point with EPMA. Results: The results of this study were as follows: 1. The observation of gas-oxygen torch soldering at 10 mm distance point under the optical microscope was not founded any specific surface properties, but some crack lines were observed at 5 mm distance and soldering point. 2. There were no crack lines were founded at the observation of infrared welding at 10 mm distance and 5 mm distance points under the optical microscope. However, at the 5 mm distance, the surface was not smooth enough compared with at 10 mm distance point. Some crack lines were observed at the welding point as well. 3. In the EPMA analysis of the gas-oxygen torch soldering, the component of Ni was increased by 4.5%, Cr was increased by 7.5% than that of the Ni-Cr alloy at the 10.0 mm distance. At the 5 mm distance, the component of Ni was decreased by 6.1%, Mo was increased by 9.0% than that of the Ni-Cr alloy but Cr was equally shown at the 5.0 mm distance. Only Ni was shown at the soldering point. 4. In the EPMA analysis of the infrared welding, the component of Ni was increased by 9.1%, Cr was increased by 0.4% than that of the Ni-Cr alloy but Al was equal at the 10.0 mm distance. At the 5 mm distance, the component of Ni was increased by 4.7%, Cr was increased by 4.7% and Al was increased by 0.1% than that of the Ni-Cr alloy. At the welding point, the component of Ni was increased by 8.8%, Cr was increased by 8.2% than that of the Ni-Cr alloy. Conclusion: From these results, at the 5 mm distance from the soldering point, the surface of the infrared welding was more smoother than that of the gas-oxygen torch soldering. On the EPMA analysis, the component of the specimens with infrared welding was more similar than that of the gas-oxygen torch soldering compared with the component of the Ni-Cr alloy.

Effect of high-temperature annealing on the microstructure of laterally crystallized polycrystalline Si films and the characteristics of thin film transistor (고온열처리가 측면결정화시킨 다결정 실리콘 박막의 미세구조와 박막트랜지스터 특성에 미치는 영향)

  • 이계웅;김보현;안병태
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.70-70
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    • 2003
  • 금속용액을 이용하여 측면고상결정화 시킨 다결정 실리콘 박막내의 고각입계를 줄이기 위해 서 고온열처리를 실시하였다. SEM과 TEM을 이용하여 다결정 실리콘내의 바늘모양의 결정립의 폭의 증가를 관찰하였고, 결정 립내의 결함이 감소를 관찰하였다. 그리고 결정화된 다결정 실리콘의 표면 거칠기를 AFM이용하여 퍼니스에서 53$0^{\circ}C$에서 25시간 동안 결정화 시킨 시편과 이후 80$0^{\circ}C$에서 40분간 추가 고온 열처리시킨 시편을 비교한 결과 6.09$\AA$에서 4.22$\AA$으로 개선되었음을 확인할 수 있었다. 박막내의 금속에 의한 오염을 줄이기 위해 금속의 농도를 줄인 금속용액을 결정화에 사용하였다. 이때 저농도 금속용액을 사용하여 측면결정화시킨 다결정 실리콘 박막내의 소각입계를 이루는 결정립군의 크기가 고농도 금속용액을 이용하여 측면결정화시킨 경우보다 증가함을 확인 할 수 있었다. 박막트랜지스터를 제작하여 트랜지스터의 전기적특성을 살펴보았다. 전계이동도가 80$0^{\circ}C$ 고온 열처리에 의해서 53$\textrm{cm}^2$/Vsec 에서 95$\textrm{cm}^2$/Vsec 로 상승하였는데 이는 고온열처리에 의해서 측면결정화된 다결정 실리콘내의 트랩 밀도가 2.2$\times$$10^{12}$/$\textrm{cm}^2$ 에서 1.3$\times$$10^{12}$$\textrm{cm}^2$로 감소하였기 때문이다.

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Microstructure and Superconducting Properties of (Bi,Pb)-Sr-Ca-Cu-O-(Ag, Au, Mg) Composites ((Bi,Pb)-Sr-Ca-Cu-O-(Ag, Au, Mg) 복합체의 미세구조와 초전도 특성)

  • 이민수
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.40 no.5
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    • pp.447-454
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    • 2003
  • Samples were prepared by the solid-state reaction method. The nominal composition of the samples was B $i_{1.84}$P $b_{0.34}$S $r_{1.91}$C $a_{2.03}$C $u_{3.06}$ $O_{10+{delta}$ prepared from powder of B $i_2$ $O_3$, PbO, SrC $O_3$, CaC $O_3$, and CuO. They were pulverized, mixed with AgO, A $u_2$ $O_3$and MgO of 50 wt%. Finally, they were sintered at 820 to 85$0^{\circ}C$ in air. The structural characteristics, the microstructure of surface and the critical temperature with respect to the each samples were analyzed by XRD, $T_{c}$, SEM and EDS respectively. It was found that the the critical temperature of the silver oxide additive samples (99.58 K) is higher than those of gold or magnesium oxides additive samples, but all those values are lower than that of pure Bi-2223 phase. The microstructure of surface showed the tendency which the AgO additive samples become more minuteness than A $u_2$ $O_3$ and MgO additive samples.s.samples.s.

PFC Ultrasonic Decontamination Efficiency on the Various Types of Metal Specimens (금속 시편 형태에 따른 PEC 초음파 제염 성능)

  • Won Hui-Jun;Kim Gye-Nam;Jung Chung-Hun;Park Jin-Ho;Oh Won-Zin
    • Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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    • v.3 no.4
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    • pp.293-300
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    • 2005
  • Ultrasonic decontamination of the type 304 stainless steel specimen loosely contaminated with $Eu_2O_3$ powders was investigated. Decontamination factors (DFs) by the three kinds of ultrasonic media such as water, pure PFC (Pefluorocarbon, $C_7F_{16}$) and a mixed solution of $99.9\;vol\%\;PFC\;and\;0.1\;vol\%$ anionic surfactant were determined. The determined DF values were 20, 50 and 200, respectively. This significant difference in the decontamination factors for the different decontamination solution was well explained by the surface tension of the media as well as the interaction between the positively charged surface of $Eu_2O_3$ powders and the anionic surfactant. Ultrasonic decontamination behavior of the loosely contaminated metal specimens such as plate, pipe, welding specimen and crevice specimen in the mixed solution of PFC and anionic surfactant was also investigated. The contaminants were completely removed for the tested specimens except for the longest specimen. For 6-cm long pipe specimen, however, $98.5\%$ of the contaminants were removed.

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Nb첨가가 Zr합금의 석출물과 산화막 특성에 미치는 영향

  • 김현길;위명용;최병권;김경호;정용한
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1998.05b
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    • pp.148-153
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    • 1998
  • 핵연료 피복관용 신합금을 개발하기 위한 기초연구로서 Zr-xNb계 합금과, Zr-0.8Sn-xNb계 합금을 각각 4종씩 선정하였다. 이들 합금을 판재시편으로 가공한 뒤 Autoclave를 이용하여 36$0^{\circ}C$에서 부식 시험을 실시하였다. 부식과정에서 생성되는 산화막의 미세구조를 관찰하기 위해 천이 전 영역에서 동일두께를 갖도록 부식시편을 준비하여 산화막/금속계면에 대해 SEM관찰을 실시하였다. 또한 석출물의 크기와 부식과의 관계를 조사하기 위하여 부식전의 시편에 대해 TEM관찰을 실시하였다. Zr-xNb 2원계 합금에서는 Nb함량이 적을수록 부식저항성이 증가하는 경향을 보이는데, 0.2Nb가 첨가된 합금이 가장 우수한 부식저항성을 보였다. Zr-0.8Sn-xNb 3원계에서도 천이 전 영역에서는 2원계 합금과 마찬가지로 Nb함량이 적을수록 부식저항성이 증가하나, 천이 후 영역에서는 이런 경향이 바뀌는 것이 관찰되었다. 이는 Sn이 첨가됨으로서 Nb가 부식에 미치는 영향이 달라지기 때문이라 생각된다. 산화막 관찰결과, 순수 Zr은 결정립계를 따라서 산화막이 급격히 성장하는 반면에, Zircaloy-4합금은 매우 균일한 산화막 계면을 유지한다. Zr-xNb계 합금과 Zr-0.8Sn-xNb계 합금에서도 내식성이 우수한 합금은 균일한 산화막/금속 계면을 유지하는 것이 관찰되었다.

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Microsturcture Control and Compression Characteristics at Room and High Temperature for$\gamma$-TiAI Intermetallic Compounds with Addition Elements (제 3원소가 첨가된 금속간 화합물$\gamma$-TiAI의 미세조직 제어와 상온 및 고온 압축 특성)

  • Jeong, Jin-Seong;Lee, Dong-Hui
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.1
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    • pp.67-78
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    • 1996
  • 제 3원소가 첨가된 금속간 화합물 TiAI 금속간 화합물 분말을 PREP법(플라즈마 회전전극법)으로 제조하여, 통.방전 강압소결법에 의해 치밀한 소결체를 만들었다. 이에 대해 첨가 원소의 종류와 열처리에 따른 고온 및 상온 압축 특성의 변화를 조사하였다. 소결체의 미세조직은 ${\gamma}$/$\alpha$2 lamella로 이루어진 완전 변태구조였고, 결정립의 크기는 140-150$\mu\textrm{m}$였으며 계단형 결정립계를 나타내었다. 소결체를 ($\alpha$+${\gamma}$)구역인 130$0^{\circ}C$에서 2시간 동안 열처리한 결과, 모든 조성의 시편이 등축점 ${\gamma}$와 lamella로 이루어진 전형적인 duplexrn조로 변태하였다. 상온 압축 시험에서 시편은 파괴될 때까지 가공경화 현상이 나타났으며, Cr을 첨가한 시편이 가장 큰 파괴응력과 변형률을 나타내었다. 한편, 고온 압축 시험의 경우 온도상승 때문에 가공경화의 속도가 감소되었고, 80$0^{\circ}C$에서는 가공경화와 회복이 균형을 이루는 소위 정상 상태의 변형을 보였다.

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Cold Crack Susceptibility of 700 MPa welding Consumable According Microstructure (700MPa급 용착금속의 미세조직에 따른 저온균열 감수성)

  • Seo, Jun-Seok;Kim, H.J.;Ryoo, H.S.;Park, C.K.;Lee, C.H.
    • Proceedings of the KWS Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.46-46
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    • 2009
  • 과거 고강도강 용접부에서 발생하는 저온균열은 주로 용접열영향부에서 발생하였는데, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 강재 메이커들은 고강도강의 용접성을 향상시키고자 노력하였다. 이러한 노력의 결과로 TMCP, HSLA 강 등이 개발되었고 이들 강재는 예열온도를 저하시킬 수 있다는 장점 때문에 보편화되어 사용되었다. 이러한 강재는 모재 예열온도를 기준으로 적용하게 되면 용착금속에서 저온균열이 발생하는 경우가 있다. 따라서 이제는 용접재료의 용접성, 즉 용접재료의 저온균열 저항성을 평가 할 수 있는 기법이 요구된다. 본 연구의 목적은 용착금속의 저온균열 저항성을 평가하는 것인데, 저온균열 저항성은 용착금속의 미세조직에 따라 다르게 나타날 수 있다. 용착금속의 합금조성은 기본적으로 용착금속에 요구되는 최저 강도와 충격인성을 만족할 수 있도록 설계한다. 하지만 유사한 강도의 유사한 합금조성이더라도 일부 합금 성분에 의해 용착금속의 미세조직들은 상이하게 나타날 수 있는데, 미세조직 특성에 의하여 용착금속의 강도와 저온인성이 결정된다. 용착금속의 저온균열 저항성을 평가하기위하여 Gapped Bead-on-Groove(G-BOG) 시험에 사용된 모재는 50mm 두께의 mild steel을 사용하였으며, 모재의 희석을 방지하기위해 15mm 깊이로 V-groove 가공 후 buttering 용접 하였다. 용접된 시편은 다시 5mm 깊이로 V-groove로 2차 가공 후 Ar + 20% $Co_2$ gas를 사용하여 용접하였다. 용접재료는 ER-100S-G grade로 비슷한 합금조성을 갖는 2 종류를 사용하였다. A용접재료는 Ti 이 0.1% 함유 되었으며, B용접재료는 Ti 함유되지 않은 것을 사용하였다. 또한 예열 온도에 따라 저온균열 감수성을 평가하기위하여 모재의 예열온도를 각각 상온, $50^{\circ}C,\;75^{\circ}C,\;100^{\circ}C$로 하여 실험을 진행하였다. 용착금속의 미세조직을 확인해본 결과 Ti 함유된 A 용착금속 미세조직은 대부분 침상형페라이트로 나타났으며, Ti 함유되지 않은 B 용착금속 미세조직은 대부분 베이나이트로 나타났다. G-BOG 시험 결과 Ti 함유된 A 시편이 Ti 함유되지 않은 B 시편보다 저온균열 발생량이 적었다. 이는 용착금속의 미세조직분포 및 특성에 따라 저온균열감수성이 다르다는 것을 나타낸다.

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