• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.437-441
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• 1995

In this paper, the ultra precision positioning system for servo motor and piezo actuator using dual servo loop control has been developed. For positioning system having long distance with ultra precision, the combination of global stage and micro stage is required. Servo moter and ball screw are used as a master stage and piezo acuator as a fine stage. By using this system, an positional precision witin .+-. 30nm has been achieved at dual servo loop control. When using micro stage, an positional precision within .+-. 10nm has been achieved. This result can be applied to develop semiconductor equipment such as wafer stepper.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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• pp.311-314
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• 1997

According to the development of industrial equipment such as semiconductor manufacturing machines, optical device, and precision machine tool, a high-precision translation system with wide range has been required. This paper describes a high-precision 2-axis translation system, which consists of microstage and global stage. In order to achieve the highresolution in the long range, some engineering techniques are used. Three linear guides with flexible coupling are adopted to reduce the motor vibration in the global stage. A simple elastic hinge structure activated by five PZT is applied to reduce the angular dev~atlon. As the result of combination of microstage and global stage associated with some engineering techniques, the 2-axis translation system can measure the 200 X 200 mrn range with the nanometer accuracy.

• 한국정밀공학회지
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• 제16권3호통권96호
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• pp.154-163
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• 1999

In this paper, an ultra precision positioning system has been developed using dual servo loop control. For positioning system having long distance with ultra precision , the combination of global stage and micro stage was required. A servo motor based ball screw is used as a global stage and the piezo actuator as a micro stage. For the improvement of positional precision, the digital Chebyshev filter is implemented in the developed to dual servo system. Therefore, the positional repeatability has been achieved within ${\pm}$ 10 mm, and this technique can be applied to develop precision semiconductor equipments such as lithography steppers and probers.

• 한국생산제조학회지
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• 제22권6호
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• pp.982-988
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• 2013

With conventional positioning apparatus, it is very difficult to simultaneously achieve the desired driving range and precision at the sub-micrometer level. Generally, lead screw and friction drive, etc., have been used as servo control systems. These have large driving ranges, and high-speed positioning is feasible. In this study, we present a global servo system controlled by a laser interferometer acting as a displacement measurement sensor for achieving positioning accuracy at the sub-micrometer level.

• 디자인학연구
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• 제13권4호
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• pp.85-93
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• 2000

세계화(Globalization)라는 국경 없는 글러벌 시장에서 디자인은 새로운 경쟁력의 원천이 되고 있다. 1970년대까지만 해도 기업의 경쟁력은 기술이었으며 디자인의 역할은 스타일링이나 그래픽적 요소에 대한 것으로 인식되었었다. 그러나 1980년대 이후 디자인은 더욱 기업의 경쟁력을 키우는 중요한 수단으로 인식되었고 세계적인 기업들은 더 이상 제품의 외관이나 색채를 결정하는 일이 아니라 제품의 성능은 물론 품격을 만들어 내는 막강한 경쟁력이라는 것을 인식하게 되었다. 세계적인 다국적기업 필립스의 경우도 디자인 정책의 변화는 이같은 추이를 반영하고 있다. 1970년대까지 디자인 책임자의 권한은 제한적일 수밖에 없었다. 그러나 1980년대 이후 필립스의 경쟁력 우위를 위한 전략에 주력하였고 미국의 디자이너이자 경영자인 로버트 블레이크(Robert Blaich)를 영입하여 디자인의 역할을 넓히고 조직을 개편하였으며 글로벌화를 추진하였다. 또한 1990년대의 디자인 책임자 스테파노 마르자노(Stefano Marzano)는 하이디자인(High Design)의 개념을 만들고 고객 지향적이면서 상업적인 성공을 할 수 있는 미래전략(Strategic Futures)을 강구하였다. 1996년까지 3년에 걸쳐 개발된 미래의 비젼(Vision of the Future)은 미래 10년을 예측하고 정보화 시대에 대비한 혁신적 제품디자인으로서 디자인을 통한 기업의 목표달성과 새로운 가치 창조를 할 수 있었다.