• Title/Summary/Keyword: 극자외선

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Fourth harmonic generation of a Nd：YAG laser using $CsLiB_6O_{10}$(CLBO) crystals ($CsLiB_6O_{10}$ 단결정을 이용한 Nd：YAG 레이저의 4차 조화파 발생)

  • 김지원;김민수;류기한;윤춘섭
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2001.02a
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    • pp.226-227
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    • 2001

  • CsLiB$_{6}$O$_{10}$(CLBO) 단결정은 넓은 광투과 영역, 극자외선 영역에서의 광투과성, 비교적 큰 비선형 광학계수, 높은 레이저 광손상 문턱값 등의 우수한 특성으로 인해 극자외선 영역에서의 파장변환과 고출력 레이저의 파장변환에 매우 활발한 응용이 시도되고 있다. 본 연구에서는 CLBO 단결정을 이용하여 Nd：YAG 레이저의 1064 nm 파장을 4차 조화파인 266 nm 파장으로 변환시키고 광변환 특성을 조사하였다. (중략)

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해외동정

  • Korea Radioisotope Association
    • 동위원소뉴스
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    • no.1 s.121
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    • pp.11-13
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    • 2007

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Holosymmetric 4-Mirror Optical System(Unit Maginification) for Deep Ultraviolet Lithography Obtained from the Exact Solution of All Zero Third Order Aberrations (모든 3차 수차를 제거하여 얻은 극자외선 Lithography용 4-반사경 Holosymmetric System(배율=1))

  • 조영민
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.4 no.3
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    • pp.252-259
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    • 1993

  • A holosymmetric four-mirror system with unit magnification is designed for use in the micro-lithography using a deep ultraviolet wavelength of $0.248 {\mu}m$(KrF excimer laser line). In the holosymmetric system all orders of coma and distortion are zero. By applying this principle to the 4-spherical mirror system, we have obtained only one exact solution for the unit magnification holosymmetric four-spherical mirror system with all zero third order aberrations. For correction of the residual higher order aberrations of the system, aspherization is introduced keeping the holosymmetric properties. We have obtained near diffraction-limited performance for the wavelength of 0.248 pm within N.A. of 0.33 and image field diameter of 7.6 mm.

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