• 한국진공학회지
• /
• 제17권2호
• /
• pp.165-169
• /
• 2008

반도체 소자공정에서 균일한 두께의 금속박막을 증착하는 것은 매우 중요하다. 기존의 기판고정식 sputtering 장비로 증착한 indium tin oxide(ITO)박막의 두께 균일도가 $\pm4%\sim\pm5%$ 정도로 중앙부분이 더 두껍다. 방전전극 구조물을 설계하고 제작하여 sputtering되는 물질의 방향을 조절하였다. 개량된 sputtering gun을 사용하여 기판고정식 sputtering 장비에서 4" wafer 내에서 $\pm0.8\sim1.3%$ 정도로 두께 균일도를 증가시켰다. wafer to wafer에서는 $\pm$5.3%에서 $\pm$1.5%로 두께 균일도가 향상되었다. Al박막의 경우 $\pm$1.0% 이내의 두께 균일도를 얻을 수 있었다.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
• /
• 한국산학기술학회 2011년도 춘계학술논문집 1부
• /
• pp.151-154
• /
• 2011

$NO_x$ 제어 기술로는 크게 연소 전 탈질, 연소 개선 및 연소 후 탈질 기술로 구분할 수 있으며, 연소 후 탈질 기술에 속하는 SCR은 촉매를 사용하여 $NO_x$를 환원하는 대표적인 배연탈질기술이다. SCR의 $NO_x$ 저감 성능은 촉매 요인(촉매 구성물질, 형태, 공간속도 등)과 배가스의 온도, 유속 분포, 공정 운전 조건 등의 다양한 인자에 의해 좌우되는데 특히, 촉매층으로 유입되는 유동의 균일도는 가장 중요한 요소가 된다. 유동이 균일하지 않을 경우 촉매 전단에 편류가 발생하게 될 것이며 일정 촉매만 사용하게 되어 촉매 사용주기 감소 및 SCR 성능 저하를 초래할 수 있기 때문이다. 본 연구에서는 3차원 수치 해석 기법을 이용하여 설계 초기의 SCR 반응기 내 유동 특성을 모사하여 기류 균일도 여부를 확인하고, SCR 내 유동 균일도를 최적화시키기 위한 설계를 목적으로 설치하는 가이드 베인과 배플, 다공판이 반응기 내부 유동 및 촉매층의 기류 균일도에 미치는 영향에 대하여 연구를 수행하였다. 그 결과, 유동 개선을 위해 인입 덕트 곡관부에 가이드 베인을 설치하여 처리가스를 적절하게 배분시키고, 반응기 상단에 3단 배플을 설치한 결과 반응기 내부 유동의 편류 개선에 매우 효과적임을 알 수 있었다. 또한 다공판을 예비 촉매층 하단부 위치에 추가로 설치함에 따라 유동을 한번 더 완충시킬 수 있어 기류 균일도가 매우 양호해짐을 알 수 있었다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보통신학회 2017년도 춘계학술대회
• /
• pp.633-636
• /
• 2017

본 논문에서는 차량용 전장품의 복사내성 시험에 적합한 균일장 측정방법에 대해 연구하였다. 복사내성 평가는 전자파 방해원에 대해 시험품이 충분한 내성을 가지고 정상적인 동작을 하는지 확인하는 평가이다. 복사내성 평가 중 시험품과 하네스의 균일한 전계형성을 위해 균일장 검증은 필수적이나 차량용 전장품의 복사내성 평가규격인 ISO 11452-2에는 균일장 측정에 대한 명시가 없다. 이에 균일장 측정 방법이 명시된 타 국제 규격과의 비교/분석을 하였고, 그 결과 시험 방법과 차량 전장품에 적용되는 평가 환경의 상이함으로 인해 편차가 발생함을 확인 하였다. 본 논문에서는 차량 전장품의 복사내성 평가 환경이 고려된 균일장 측정방법을 제안하고 실제 측정을 통한 검증을 통해 타당성을 확인하고자 한다.

• 한국광학회지
• /
• 제30권5호
• /
• pp.197-203
• /
• 2019

본 논문은 광 소결 공정에 쓰이는 제논 플래시 램프 사용 시 조도 균일도를 개선시킬 수 있는 반사경 설계에 대한 연구를 진행하였다. 조사 영역에서 기판의 완전한 소결이 이루어지기 위해서 광효율과 조도 균일도를 목표 성능으로 설정하였다. 기존의 타원 반사경 또는 포물 반사경을 이용한 방식은 광효율을 만족하기 용이하지만 조도 균일도를 만족하는데 어려움이 있다. 따라서 본 논문에서는 조도 균일도를 만족시키기 위해 포물경의 중앙부에 쌍오목 형상을 추가하였다. 이러한 쌍오목 형태의 중앙부 형상을 갖는 포물 반사경의 조도 균일도가 기존의 반사경에 비해 향상됨을 확인하였다.

• 현장농수산연구지
• /
• 제25권1호
• /
• pp.36-47
• /
• 2023

큰산꼬리풀(V. glabrifolia Kitag.), 부산꼬리풀(V. pusanensis Y.N.Lee), 큰산꼬리풀 교배조합(V. glabrifolia Kitag. × V. Spicata 'Alba')과 시판종 교배조합(V. spicata 'Ulster Blue Dwarf × V. longifolia) 등 4종에 대한 종자 소독액의 침지 시간, 광질, 온도 및 복토 깊이가 종자의 발아에 미치는 영향을 알아보았다. 종자의 소독액 침지시간에 따른 발아율 및 발아 균일도는 부산꼬리풀 120분 침지와 나머지 종은 60분 침지에서 다소 양호하였으나 큰 차이는 없었다. 광질의 처리에 있어서 복색광(적색광+청색광)에서 큰산꼬리풀의 발아율은 92.8%, 발아 균일도는 2.3, 부산꼬리풀의 발아율은 85.9%, 발아 균일도는 3.5로 가장 양호하였으며 교배조합에서도 같은 경향을 보였다. 꼬리풀에서 4종에서 적색광의 발아율은 79.1%~95.5%, 균일도는 3.2~4.2이었고, 청색광에서는 발아율은 83.1%~100%, 균일도는 1.9~3.8로 다소 높게 나타났으며 무광상태의 발아율은 40.0~56.3%, 균일도는 5.2~6.5로 현저하게 낮아졌다. 온도 처리에 있어서 주간 25℃/야간 20℃는 최종 발아율 92.1%~100%, 발아 균일도 1.5~2.6로 주간 20℃/야간 15℃ 최종 발아율 85.5%~98.9%, 발아 균일도 1.9~3.1보다 높은 것으로 나타났다. 부산 꼬리풀의 경우 주간 25℃/야간 20℃에서 최종 발아율 92.1%, 발아 균일도가 2.6으로 항온 25℃/24시간처리의 최종 발아율 80.9%, 발아 균일도 3.8보다 최종 발아율 및 발아 균일도가 높게 나타났다. 복토 정도에 따른 발아율 및 발아 균일도는 모든 종에서 1~2mm 복토에서 발아율이 83.4%~100% 및 발아 균일도 0.6~4.2로 가장 좋았으며 4mm로 복토를 많이 하면 최종 발아율 45.2%~72.1%, 발아 균일도 4.3~5.5로 현저하게 낮아지고 배축의 길이도 3cm 이상으로 길어졌다.

• 한국잠사곤충학회지
• /
• 제7권
• /
• pp.65-74
• /
• 1967

본 연구는 생사의 비균일성 섬도발생의 원인을 구명하기 위하여 견사형성에 관련되는 잠체기관의 해부학적 조사를 하였고 나아가서 그 비균일성을 개선하는 방안을 연구한 것이며 다음의 결과를 보았다. 1. 잠아의 토사관구조자체가 견사형성에 있어서 견사단면형태를 결정할뿐 아니라 견사선내의 견물질이 토사진행과 더불어 감소될 때 압출근육의 작용으로 섬도가 점차 가늘어져서 비균일성의 소인이 된다. 2. 우리나라 고치는 품종에 따라 다소의 차이는 있으나 견사종합섬도편차가 평균 0.58d로서 생사로 될 때 부득이 비균일성의 소인이 되고 있다. 3. 견사섬도가 생사목적섬도에 적합하지 못할때 더욱 비균일성이 악화된다. 4. 제사과정에서 작업부주의가 생사섬도의 비균일성에 크게 미치고 있으며 어느 조사법이 든간에 30％ 이상의 원인이 되고 있다. 5. 생사섬도 비균일성을 개선하는 데는 짐품종 선정을 심중히 하여 적절한 견사섬도를 택하여야 한다. 6. 정섬도조사법은 정립조사법에 비하여 섬도비균일성을 개선하게 되며 최소한 20％ 향상을 기할 수 있다. 7. 다조조사기에 사용할 수 있는 섬도감지기를 고안하여 시험조사한 결과 일반조사법에서 21 중사의 섬도편차가 1.57d인데 반하여 시험구는 1.30d이였으며 등급상으로 2격을 향상시킬 수 있었다.

• 폴리머
• /
• 제38권5호
• /
• pp.640-644
• /
• 2014

평판 디스플레이 제조공정 중의 하나인 유리기판 위에 감광액을 도포하는 과정에 슬롯코팅 방법이 많이 쓰이고 있다. 도포공정에서는 균일한 코팅 두께를 얻는 것이 중요하며, 코팅의 균일성은 노즐방향과 운전방향의 균일성으로 나뉜다. 운전방향의 코팅 균일성은 코터의 운전조건에 영향을 받고, 노즐방향의 균일성은 다이 내부의 흐름의 균일성에 영향을 받게 된다. 이러한 영향 인자들로 인해 코팅두께가 불균일한 현상이 발생하는데, 코터 진행의 초기 구간에는 비정상상태 구간으로 운전방향과 노즐방향으로 코팅두께가 균일하지 않다. 본 연구에서는 이러한 현상이 나타나는 원인을 파악하기 위해 비정상상태와 정상상태를 구별하여 해석하고 이를 실험과 비교하였다. 그 결과 감광액이 다이 내부에서 균일한 압력분포에 도달하기까지 시간이 필요하고 이로 인해 코팅 초기구간에서 다이의 양가장자리 영역의 속도가 중앙 영역에 비해 속도가 낮게 나타났으며 코팅 두께도 얇게 나타났다. 그러나 정상상태에 도달한 후에는 가장자리 영역의 속도가 중앙 영역보다 높게 나타났고 코팅 두께 역시 두껍게 나타났다.

• 청정기술
• /
• 제25권2호
• /
• pp.153-160
• /
• 2019

디젤 선박 운행 횟수의 증가로 인한 대기오염이 심각해짐에 따라 선박의 유해배출가스에 대한 규제가 강화되고 있다. 따라서 선박용 디젤 배기 후처리 장치의 개발이 요구되고 배기 처리 장치는 유동 균일도가 높을수록 처리효율이 증가된다. 본 연구에서는 ANSYS Fluent를 이용하여 기존 저감장치, 저감장치 내부의 Baffle 설치시, 배기가스 유량에 따른 배압과 유동 균일도를 시뮬레이션 하였다. 기존 장치조건에서는 시스템 배압이 38 ~ 40 mbar로 나타났으며, 유동 균일도는 DOC 입구와 출구에서 약 84 ~ 92%로 나타났다. 시스템 내부에 Baffle을 설치한 경우 압력이 상승되고 유속 증가로 인해 유동 균일도가 낮아진다. 배기가스 유량을 $7,548kg\;h^{-1}$에서 $3,772kg\;h^{-1}$로 50% 감소했을 때, 낮은 유속에 의해 DOC 입구와 출구의 유동 균일도는 약 1 ~ 3% 증가했다. DPF의 경우 불균일한 유동이 DOC를 균일하게 거쳐 흐른 후 유입되기 때문에 유동 균일도가 98 ~ 99%로 높게 나타났다.

• 전자공학회논문지
• /
• 제50권4호
• /
• pp.127-136
• /
• 2013

본 논문은 동영상 프레임 간 선명도를 균일하게 유지하면서 블러를 제거하는 기법을 제안한다. 고정된 변수들을 이용하는 기존 기법들과 달리, 제안하는 동영상 디블러링 기법은 영상에 따라 디블러 변수들을 조절함으로써 선명도를 균일하게 만들어 준다. 먼저, 입력 프레임의 초기 블러 커널을 추정하고, 디컨볼루션을 수행한 뒤, 선명도를 측정한다. 그리고 균일한 선명도를 유지할 수 있도록 측정된 선명도에 기반하여 정규화 변수와 커널을 조절하고, 다시 디컨볼루션을 수행한다. 실험 결과를 통해 제안 기법이 상당히 균일한 선명도를 유지하면서 디블러링을 수행함을 확인할 수 있다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2011년도 제42회 하계학술대회
• /
• pp.1662-1663
• /
• 2011

본 논문에서 하지 정맥 지료를 위한 마이크로파 시스템에서 사용될 가열 안테나의 전계 분포를 균일하게 형성시키기 위해 철사 도파관 안테나를 설계 및 제작하였다. 일반적인 도파관 안테나에 경우 안테나 중심 부분에 전계가 가장 세게 분포되어 온도가 다른 곳에 비해 차이가 많이 나므로 인체 피부가 회상을 입힐 위험이 있다. 제안된 철사 도파관 안테나는 끝단에 가느다란 철을 이용하여 전기장을 철사 부분에 집중시켜 안테나 중앙 부분에 집중된 전기장을 분산되도록 설계하였다. 따라서 전기장을 소스로 하는 온도도 균일하게 분포하게 된다. 제안된 철사 도파관 안테나 내부의 전계 분포는 Ansoft 사의 HFSS, 온도 분포는 CST 사의 MWS(Microwave Studio)를 이용하여 시뮬레이션을 하였고, 일반적인 안테나 경우보다 더 균일한 전계와 온도 분포 특성을 보임을 확인하였다. 제작된 철사 안테나는 사용주파수 15GHz에서 -10dB 이하의 반사 손실을 보였다. 또한 안테나 타당성을 검증하기 위해 개구면 앞에 돼지 껍데기를 두고 일정시간 가열하여 일반 안테나와 제안된 철사 도파관 안테나 온도 분포를 비교하였다. 열화상 카메라를 이용한 실험결과 일반 안테나에 경우 중앙과 가장 자리부분 사이에 약 $29^{\circ}C$, 제안된 철사 도파관 안테나에 경우에는 약 $12.5^{\circ}C$의 차이를 보였다. 이를 통해 제안된 철사 도파관 안테나가 전계 분포 균일성 향상에 기여함을 확인하였다.