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저온 Cu-Cu본딩을 위한 12nm 티타늄 박막 특성 분석 (Evaluation of 12nm Ti Layer for Low Temperature Cu-Cu Bonding)

  • 박승민;김윤호;김사라은경
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.9-15
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    • 2021
  • 최근 반도체 소자의 소형화는 물리적 한계에 봉착했으며, 이를 극복하기 위한 방법 중 하나로 반도체 소자를 수직으로 쌓는 3D 패키징이 활발하게 개발되었다. 3D 패키징은 TSV, 웨이퍼 연삭, 본딩의 단위공정이 필요하며, 성능향상과 미세피치를 위해서 구리 본딩이 매우 중요하게 대두되고 있다. 본 연구에서는 대기중에서의 구리 표면의 산화방지와 저온 구리 본딩에 티타늄 나노 박막이 미치는 영향을 조사하였다. 상온과 200℃ 사이의 낮은 온도 범위에서 티타늄이 구리로 확산되는 속도가 구리가 티타늄으로 확산되는 속도보다 빠르게 나타났고, 이는 티타늄 나노 박막이 저온 구리 본딩에 효과적임을 보여준다. 12 nm 티타늄 박막은 구리 표면 위에 균일하게 증착되었고, 표면거칠기(Rq)를 4.1 nm에서 3.2 nm로 낮추었다. 티타늄 나노 박막을 이용한 구리 본딩은 200℃에서 1 시간 동안 진행하였고, 이후 동일한 온도와 시간 동안 열처리를 하였다. 본딩 이후 측정된 평균 전단강도는 13.2 MPa이었다.

사료의 에너지 및 조단백질 함량이 토종오리의 성장과 도체 특성에 미치는 영향 (Effect of Dietary Metabolizable Energy and Crude Protein Concentrations on Growth Performance and Carcass Characteristics of Korean Native Ducks)

  • 김홍래;권형주;오성택;윤정근;최영인;추연경;강보석;김학규;홍의철;강창원;안병기
    • 한국가금학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.167-175
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    • 2012
  • 본 실험은 대사 에너지와 조단백질 수준이 토종오리의 생산성 및 도체 특성에 미치는 영향을 연구하기 위해 수행되었다. 육성 전기는 토종오리 828수를 9개 처리에 공시하여 사용하였고, 육성 후기는 육성 전기를 거친 토종오리 중 720수를 9개 처리에 공시하여 사용하였다. 육성 전기의 실험 사료는 ME 3,000, 2,900 및 2,800 kcal/kg, CP 23, 22 및 21%이었으며, 육성 후기에는 ME 3,100, 3,000 및 2,900 kcal/kg, CP 19, 18 및 17%로 처리하여 사용하였다. 육성 전기 실험 결과는 CP 수준이 증가함에 따라 체중, 증체량 및 사료 요구율이 유의적으로 개선되었지만(Linear effect, P<0.01), ME 수준과 $ME{\times}CP$ interaction에 의한 유의차는 나타나지 않았다. 균일도는 ME, CP 수준과 $ME{\times}CP$ interaction 모두에서 유의차가 나타나지 않았다. 육성 후기 실험 결과는 체중, 섭취량, 증체량, 사료 요구율 및 균일도에서 유의한 차이가 관찰되지 않았으나, 도체율에서는 ME 3,000 kcal/kg에서 유의적으로 가장 높게 나타났으며(Quadratic effect, P<0.01), ME와 CP의 수준이 증가함에 따라 간의 상대적 중량이 유의적으로 각각 작아지는 결과(Linear effect, P<0.01)가 나타났다. 가슴육, 넓적다리 및 북채의 상대적 중량에서는 수준간 유의적인 차이는 나타나지 않았다. 토종오리 고기의 화학 및 물리적 특성인 육색, pH, 가열 감량 및 전단력가에서는 ME 및 CP 수준과 $ME{\times}CP$ interaction 모두에서 유의차가 나타나지 않았다.

상수, 공업용수, 및 하천수를 활용한 균일한 실리카 나노입자 합성 및 전기감응형 스마트유체로의 응용 (Synthesis of Uniform Silica Nanoparticles using Tap, Industrial, and Stream water and Their Application to Electro-responsive Smart Fluid System)

  • 김하영;제갈석;이능히;사민기;김동현;김민상;김지원;윤창민
    • 유기물자원화
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    • 제31권1호
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    • pp.47-56
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    • 2023
  • 본 연구에서는 증류수를 사용하지 않고 상수, 공업용수 및 하천수를 활용하여 균일한 실리카 나노입자를 성공적으로 제조하는 방법에 대해 제시하였다. 또한, 제조된 실리카 나노입자들은 전기감응형 스마트유체의 분산 물질로 적용하였다. 상세히는, 다양한 종류의 물을 사용하여 500-700nm 사이즈의 실리카 나노입자를 한 번의 실험으로 대량 제조(약 12.0g) 하였으며 증류수를 활용하여 합성한 750nm 사이즈의 실리카 나노입자와 동일한 형태학적 화학적 특성을 가지고 있음을 확인하였다. 다양한 물을 사용하여 제조한 실리카 나노입자의 사이즈는 이온전도도에 따라 변화하였다. 이온전도도가 높으면 높을수록 제조된 실리카 나노입자의 크기가 작아짐을 확인할 수 있었고, 이는 이온들이 실리카 나노입자의 성장을 억제하기 때문이다. 또한, 제조한 실리카 나노입자들을 전기감응형 스마트유체로 응용하였다. 그 결과, 상수, 공업용수 및 하천수를 활용하여 제조한 실리카 나노입자가 증류수를 활용하여 합성한 실리카 나노입자 대비 높은 전단응력을 나타냄을 확인할 수 있었고, 이는 작은 사이즈의 실리카 나노입자가 전기장 하에서 더 강한 사슬 구조를 형성하기 때문이다. 결론적으로, 본 연구를 통해 다양한 물을 증류수와 같이 정제하지 않고 사용하여 실리카 나노입자를 성공적으로 제조할 수 있음을 확인하였고, 해당 입자들이 전기감응형 스마트유체 응용에서 우수한 성능을 나타냄을 확인할 수 있었다.

사료의 조단백질 및 아미노산 함량이 토종오리의 성장과 도체 특성에 미치는 영향 (Effect of Dietary Crude Protein and Amino Acid Contents on Growth Performance and Carcass Characteristics in Korean Native Ducks)

  • 권형주;추연경;오성택;김학규;강창원;안병기
    • 한국가금학회지
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    • 제40권4호
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    • pp.351-359
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    • 2013
  • 본 실험은 조단백질과 아미노산(Lysine/TSAA) 수준이 토종오리의 생산성 및 도체 특성에 미치는 영향을 연구하기 위해 수행되었다. 육성 전기는 토종오리 450수를 6개 처리에 공시하여 사용하였으며, 육성 후기는 육성 전기를 거친 토종오리 중 360수를 6개 처리에 공시하여 사용하였다. 육성 전기의 실험 사료는 조단백질 23 및 20% 아미노산(Lysine/TSAA)은 각각 1.31/1.09, 1.21/1.00 및 1.11/0.91와 1.11/0.91, 1.02/0.83 및 0.92/0.75였으며, 육성 후기에는 조단백질 19 및 17%, 아미노산(Lysine/TSAA)은 각각 1.00/0.79, 0.94/0.75 및 0.88/0.71와 0.88/0.71, 0.82/0.67 및 0.76/0.63로 처리하여 사용하였다. 육성 전기 실험 결과는 조단백질 수준이 증가함에 따라 생체중과 일당 증체량이 유의적으로 개선되었지만(P<0.05), 아미노산(Lysine/TSAA)과 조단백질 ${\times}$ 아미노산(Lysine/TSAA) interaction에 유의차는 나타나지 않았으며, 균일도는 조단백질, 아미노산(Lysine/TSAA) 및 조단백질 ${\times}$ 아미노산(Lysine/TSAA) interaction 모두에서 유의차가 나타나지 않았다. 육성 후기 실험 결과는 성장성적, 도체율 및 상대적 중량 모두에서 조단백질, 아미노산(Lysine/TSAA) 및 조단백질 ${\times}$ 아미노산(Lysine/TSAA) interaction간 유의차가 나타나지 않았으며, 토종오리 고기의 화학 및 물리적 특성인 육색, pH, 전단력가 및 가열 감량에서도 조단백질, 아미노산(Lysine/TSAA) 및 조단백질 ${\times}$ 아미노산(Lysine/TSAA interaction)간 유의차가 나타나지 않았다. 본 실험 결과, 토종오리는 육용종 오리와 달리 육성 후기의 경우 낮은 성장률으로 인하여 상대적으로 낮은 조단백질과 아미노산 수준이 필요할 것으로 사료된다.