• 제목/요약/키워드: 구리 영향

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V-Based Self-Forming Layers as Cu Diffusion Barrier on Low-k Samples

  • 박재형;문대용;한동석;강유진;신소라;박종완
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.409-409
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    • 2013
  • 최근, 집적 소자의 미세화에 따라 늘어난 배선 신호 지연 및 상호 간섭, 그리고 소비 전력의 증가는 초고집적 소자 성능 개선에 한계를 가져온다. 이에 따라 기존의 알루미늄(Al)/실리콘 절연 산화막은 구리(Cu)/저유전율 박막(low-k)으로 대체되고 있고, 이는 소자 성능 개선에 큰 영향을 미친다. 그러나 Cu는 Si과 low-k 내부로 확산이 빠르게 일어나 소자의 비저항을 높이고, 누설 전류를 일으키는 등 소자의 성능을 저하시킬 수 있는 문제점을 가지고 있다. 이러한 Cu의 확산을 막기 위하여 Ta, TaN 등과 같은 확산방지막에 대한 연구가 활발히 진행되어 왔으나, 배선 공정의 집적화와 low-k 대체에 따른 공정 및 신뢰성 문제로 인해 새로운 확산방지막의 개발이 필요하게 되었다. 이를 위해, 본 연구에서는 Cu-V 합금을 사용하여 low-k 기판 위에 확산방지막을 자가 형성 시키는 공정에 대한 연구를 진행하였다. 다양한 low-k 기판에서 열처리조건에 따른 Cu-V 합금의 특성을 확인하기 위해 4-point probe를 통한 비저항 평가와 XRD (X-ray diffraction) 분석이 이뤄졌다. 또한, TEM (transmission electron microscope)을 이용하여 $300^{\circ}C$에서 1 시간 동안 열처리를 거쳐 자가형성된 V-based interlayer가 low-k와 Cu의 계면에서 균일하게 형성된 것을 확인하였다. 형성된 V-based interlayer의 barrier 특성을 평가하고자 Cu-V합금/low-k/Si 구조와 Cu/low-k/Si 구조의 leakage current를 비교 분석하였다. Cu/low-k/Si 구조는 비교적 낮은 온도에서 leakage current가 급격히 증가하는 양상을 보였으나, Cu-V 합금/low-k/Si 구조는 $550^{\circ}C$의 thermal stress 에서도 leakage current의 변화가 거의 없었다. 이러한 결과를 바탕으로 열처리를 통해 자가형성된 V-based interlayer의 Cu/low-k 간 확산방지막으로서 가능성을 검증하였다.

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Serratia marcescens Strain P 성장에 미치는 중금속 내성 (Resistance of Some Metal Ions on Growth of Serratia marcescens Strain P)

  • 유관희;이호용
    • 한국미생물·생명공학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.693-698
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    • 1992
  • 공장 폐수를 비롯한 중금속 오염 환경으로부터 효율적인 중금속 제거를 위해 생물학적 오염제거에 관한 연구가 많이 이루어지고 있다. 본 실험에서는 항생제 내성 유전자를 많이 가지고 있는 것으로 알려진 Serratia marcescens를 대상으로 이 균주가 중금속들에 대해 어떤 영향을 보이는지 조사하였다. 그 결과 lead, iron, magnesium, manganese 등의 처리군에서 24시간내에 1,000ppm 이상의 고농도 처리군에서 최소억제성장농도(MIC)를 나타냈으며, cadmium에서는 600ppm 처리군에서, 구리는 800ppm의 처리군에서 MIC를 보였으며, 아연 처리군에서는 800ppm에서 MIC를 나타냈다. 또한 48시간 배양에 따른 MIC 비교 결과, 중금속의 고농도 처리군에서 매우 긴 적응기를 갖는 것으로 확인하였다. 15가지의 항생체를 대상으로 저항성을 조사한 결과, ampicillin, tetracycline, cefamandole, cephalothin에서 저항성을 보엿으며 다른 S. marcescens 균주들에 비해 chloramphenicol에 대한 특이한 민감성을 보였다. 카드뮴과 납을 대상으로 중금속의 세포내 흡수를 조사한 결과 16.59%와 35.38%의 중금속이 세포내로 흡수되었음을 확인하였다.

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펜톤 시스템에서의 과산화수소 분해연구 (Decomposition of Hydrogen Peroxide in Fenton Systems)

  • 목영선;조진오;김석태;정우태;강덕원;이병호;김진길
    • 대한환경공학회지
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    • 제29권1호
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    • pp.68-73
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    • 2007
  • 본 연구에서는 철$(Fe^{2+})$이나 구리$(Cu^{2+})$와 같은 전이 금속 이온 촉매에 의한 고농도(1.04-2.55 M) 과산화수소의 분해 거동에 대해 살펴보았다. 과산화수소의 분해에 미치는 금속 이온 농도의 영향이 실험적으로 조사되었고, 이로부터 얻어진 실험 데이터와 이론적 접근을 통해 과산화수소에 대한 분해속도상수가 결정되었다. 과산화수소의 분해 속도식은 과산화수소 농도 관점에서 1차인 것으로 나타났으며, 과산화수소 분해 속도 상수는 금속 이온 초기 농도의 선형 함수로 취급될 수 있었다. 본 연구에서 결정된 분해 속도 상수를 이용하여 계산한 결과는 실험적으로 얻어진 과산화수소 분해 데이터와 잘 일치하였다.

스퍼터링 공정 조건이 산화 구리 박막 특성에 미치는 영향 (Influence of Sputtering Conditions on Properties of Copper Oxide Thin Films)

  • 조재유;허재영
    • Current Photovoltaic Research
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    • 제5권1호
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    • pp.15-19
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    • 2017
  • The fossil fuel power consumption generates $CO_2$, which causes the problems such as global warming. Also, the increase in energy consumption has accelerated the depletion of the fossil fuels, and renewable energy is attracting attention. Among the renewable energies, the solar energy gets a lot of attention as the infinite clean energy source. But, the supply level of solar cell is insignificant due to high cost of generation of electric power in comparison with fossil fuels. Thus several researchers are recently doing the research on ultra-low-cost solar cells. Also, $Cu_2O$ is one of the applied materials as an absorption layer in ultra-low-cost solar cells. Cuprous oxide ($Cu_2O$) is highly desirable semiconductor oxide for use in solar energy conversion due to its direct band gap ($E_g={\sim}2.1eV$) and a high absorption coefficient that absorbs visible light of wavelengths up to 650 nm. In addition, $Cu_2O$ has several advantages such as non-toxicity, low cost and can be prepared with simple and cheap methods on large scale. In this work, we fabricated the $Cu_2O$ thin films by reactive sputtering method. The films were deposited with a Cu target with variable parameters such as substrate temperature, rf-power, and annealing condition. Finally, we confirmed the structural properties of thin films by XRD and SEM.

Cu-Sn 청동기의 미세조직 변화 양상이 색도 변화에 미치는 영향 (Effect of Changes on Color Characteristics by Microstructural Transformations of Cu-Sn Bronzes)

  • 이재성;박장식
    • 보존과학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.417-425
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    • 2014
  • 구리에 다양한 비율의 주석을 혼합하여 청동합금을 제작하고 합금 비율에 따른 색도 변화를 분석하였다. 색도를 미세조직의 변화와 함께 분석한 결과, Cu-Sn 청동은 주석함량이 높아질수록 적 황색도를 나타내는 $a^*$$b^*$값은 감소하며 전체적인 백색도가 크게 증가하였다. 하지만 백색도와 밀접한 $L^*$값이 감소하는 특이한 현상을 보였다. Cu-Sn 청동의 미세조직 내에서 존재하는 ${\alpha}$상의 비율이 증가될수록 적 황색도가 높아졌고, ${\delta}$상의 비율이 증가할수록 $a^*$$b^*$값이 낮아졌다. 한편 동일한 성분 조성을 가진 Cu-22% Sn 청동을 다양한 열처리 조건으로 상변화를 일으킬 경우 주조 조직인 ${\alpha}+{\delta}$상과 담금질 조직인 ${\alpha}+{\gamma}$상, ${\alpha}+{\beta}$상에서 미세한 색도변화가 일어났다. 이는 동일한 조성의 합금도 다른 분율을 가진 미세조직을 생성시킴에 따라 색상 변화가 생길 수 있음을 보여준다. Cu-Sn 청동을 담금질할 경우, 합금 내에서의 미세조직 변화에 따른 적 황색도는 ${\alpha}$상, ${\beta}$상, ${\gamma}$상, ${\delta}$상의 순으로 감소하였다.

구리⋅알킬암모늄화합물계 목재방부제 (ACQ) 유효성분의 목재 흡착 특성 (Adsorption Characteristics of Alkaline Copper Quat Preservative Components in Wood)

  • 이종신;최광식
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제42권4호
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    • pp.491-498
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    • 2014
  • ACQ 목재 방부처리 현장에서 약액의 농도관리에 필요한 기초 자료를 얻기 위하여 ACQ 약액을 회수하여 재사용하는 과정에서 일어나는 약액의 농도 변화, 처리 목재의 약제 흡수량 그리고 Cu (CuO로써)와 DDAC의 유효성분 비율변화 등을 조사하였다. 목재 수종은 낙엽송, 미송, 라디에타소나무를 사용하여 조사하였다. ACQ 약액을 회수하여 재사용하는 과정에서 재사용 횟수가 증가함에 따라 약액의 농도는 감소하였으며, 농도 감소경향은 유효성분의 종류별로 다르게 나타나 Cu보다는 DDAC의 농도 감소가 크게 나타났다. Cu의 농도감소는 처리 수종에 크게 영향을 받지 않았으나, DDAC의 경우에는 약액 흡수가 많은 수종에서 농도 감소의 폭이 크게 나타났다. 약액의 재사용 횟수에 관계없이 Cu의 목재 흡수량은 일정한 수준을 유지하였으나 DDAC 흡수량은 재사용 횟수의 증가와 함께 지속적으로 감소하였다. 약액의 재사용 횟수의 증가로 DDAC 농도가 감소하면 Cu의 흡수량이 증가하였으며, 이것은 처리 목재 내 흡착반응 과정에서 경쟁 관계에 있는 DDAC의 양이 감소함에 따라 상대적으로 Cu의 흡착량이 많아지기 때문인 것으로 판단하였다.

구리의 내식성에 미치는 어닐링 열처리의 영향 (Effect of Annealing Heat Treatment to Corrosion Resistance of a Copper)

  • 김진경;문경만;이진규
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제29권6호
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    • pp.654-661
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    • 2005
  • Copper is a well known alloying element that is used to improve the resistance to general corrosion of stainless steel And also Cu cation have the anti-fouling effect to inhibit adhesion of the marine algae and shellfish to the surface of heat exchanger cooling pipe or outside wall of the ship, Therefore there are some anti-fouling methods such as anti-fouling Paint mixed with copper oxide or MGPS(Marine Growth Preventing System) by using Cu cation dissolved to the sea wather solution. Cu cation can be dissolved spontaneously by galvanic current due to Potential difference between Cu and cooling pipe of heat exchanger with Ti material, which may be one of the anti-fouling designs. In this study the effect of annealing heat treatment to galvanic current and Polarization behavior was investigated with a electrochemical points of view such as measurement of corrosion Potential, anodic polarization curve. cyclic voltammetric curve, galvanic current etc The grain size of the surface in annealed at $700^{\circ}C$ was the smallest than that of other annealing temperatures. and also the corrosion Potential showed more positive potential than other annealing temperatures. The galvanic current between Ti and Cu with annealed at $700^{\circ}C$ was the largest value in the case of static condition. However its value in the case of flow condition was the smallest than the other temperatures. Therefore in order to increase anti-fouling effect by Cu cation, the optimum annealing temperature in static condition of sea water is $700^{\circ}C$, however non- heat treated specimen in the case of flow condition may be desirable.

알코올 섭취와 흡연이 혈청 구리, 아연과 Nitric Oxide에 미치는 영향 (The Influence of Smoking and Alcohol Intake on Copper, Zinc, and Nitiric Oxide Concentration in Serum)

  • 홍연표;최병선;박정덕;장임원
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
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    • 제31권2호
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    • pp.265-274
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    • 1998
  • To investigate the change of nitric oxide(NO), copper, and zinc in serum on smoking and alcohol ingestion in young adults, this study was performed in a cross-sectional study in 127 healthy men in Korea who had HBsAg(-), HCVAb(-), and no symptomatic liver, heart, gastrointestinal, chronic diseases, and inflammatory sign(lower than 10,000 white blood cell count in CBC). At the men's entry into the study, blood samples were drawn from each subject and immediately centrifuged for analysis of NO, copper, and zinc. Each man completed a questionnaire that provided information on smoking, alcohol intake and present and past medical history NO was analyzed by HPLC(Green et al., 1982), copper and zinc by atomic absorption spectrophotometer with air-acetylene flame and total cholesterol(TC) by Spectrum EPX. Smoking(number of cigarettes per day and pack-year) and alcohol intake was grouped fertile. Copper was adjusted for age and zinc and for age and TC. NO, copper, and zinc on smoking and alcohol ingestion were analyzed in general linear models, respectively. NO, copper and zinc in serum did not show statistical differences between non-smoking and high-smoking group and no-alcohol intake and high-alcohol intake group. This study suggested that copper, zinc, and NO was not. good biological marker for early effect by smoking and alcohol intake in young adults. However, selection bias should be considered in evaluation of this result. A large prospective study will be needed in advance on usefulness of copper, zinc, and NO as a marker for risk factors and early change of atherosclerosis.

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네모파 산화전극 벗김 전압전류법을 이용한 게르마늄의 미량분석 (Determination of Trace Level Germanium(IV) by Square Wave Anodic Stripping Voltammetry)

  • 김일광;천현자;정승일;박성우;유재훈
    • 대한화학회지
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    • 제37권11호
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    • pp.943-950
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    • 1993
  • 8.0 ${\times}\;10^{-2}$ M catechol이 들어있는 5.0 ${\times}\;10^{-2}$ M 과염소산 지지전해질 용액속에서 네모파 산하전극벗김 전압전류법으로 게르마늄의 미량분석을 조사하였다. ppb 수준의 분석에서는 석출시간 120초, 석출전위 -0.9 volts, 주파수 100Hz일 때 가장 적합하였다. 구리와 납, 실리콘 같은 금속이온이 상당량 존재하여도 공존이온이 영향을 받지 않고 게르마늄의 분석이 가능하였다. 검량선은 0.40 ppb 에서 2.0 ppm 범위까지 양호한 직선성을 보였으며, 검출한계는 0.080 ppb 이였다. 이 방법은 분석시간이 짧고 감도가 좋기 때문에 미량 게르마늄 분석에 유용하였다

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초음파(超音波) 분무(噴霧) 열분해법(熱分解法)으로 r-plane 사파이어 위에 증착(蒸着)된 ZnO 막(膜)의 특성(特性) (Properties of ZnO Films on r-plane Sapphires Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis)

  • 마대영;문현열;이수철
    • 센서학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.155-162
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    • 1997
  • zinc acetate를 포함하는 용액으로부터 r-plane 사파이어 기판 위에 ZnO 막(膜)을 증착하였다. 초음파(超音波) 발생기(發生器)로 용액을 진동시켜 증기입자를 만든 후 이것을 고온 반응로(反應盧) 내에서 열분해(熱分解) 시켜 막(膜)을 증착하였다. 제조된 막(膜)의 결정성, 표면형태 및 조성을 XRD, SEM 및 AES로 각각 분석하였다. 기판온도가 막(膜)의 특성에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 기판온도 $300^{\circ}C$에서 (110) 방향으로 강하게 성장된 막(膜)을 얻을 수 있었다. 구리의 첨가(添加)와 습식산화(濕式酸化)에 의해 막(膜)의 저항율을 $3{\times}10^{6}{\Omega}{\cdot}cm$이상으로 높일 수 있었다.

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