• Title/Summary/Keyword: 광학 특성

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O2 플라즈마 처리에 따른 ITZO 박막의 표면 및 광학적 특성 연구

  • Kim, Sang-Seop;Choe, Byeong-Deok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.217.2-217.2
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    • 2015
  • 본 연구에서는 ITZO를 용액으로 제작하여, $O_2$ 플라즈마 처리를 통해 표면 및 광학적 특성을 분석하였다. 열처리 전 처리시간(0초~70초)을 가변하여 $O_2$ 플라즈마 처리하였다. 박막의 표면 상태를 RMS (Root Mean Square)로 비교하였다. 처리 전 표면의 거칠기는 1.38 nm이고, 50초에서 0.67nm로 표면의 상태가 좋아지며, 이후에는 RMS가 증가하여 표면 상태가 안 좋아짐을 확인하였다. 50초까지는 $O_2$ 플라즈마 처리를 통해 표면 상태의 개선된 효과를 얻을 수 있지만, 70초 이후에는 표면이 에칭되어 저하된 특성을 보이는 것을 확인하였다. 광학적 특성은 투과도와 밴드갭으로 차이를 확인하였다. 가시광선 영역 (380 nm~770 nm)에서의 투과도는 92%에서 90%로 감소하였고, 밴드갭은 3.64eV에서 3.57eV로 줄어들었다. $O_2$ 플라즈마 처리 시간에 따라 개선효과를 얻을 수 있지만, 70초 이후에는 표면에 결함을 야기하여 표면 및 광학적 특성의 저하를 보였다.

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지르코니아 박막의 광학적 특성에 미치는 산소 효과에 관한 연구

  • Bang, Gi-Su;Yun, Hoe-Jin;Jo, Deok-Ho;Lee, Seung-Yun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.360.2-360.2
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    • 2014
  • 박막 태양전지의 변환효율을 높이기 위해 전면에는 반사방지막을, 후면에는 고반사막을 적용한다. 태양전지 구조에서 고반사막을 대신하여 선택적 투과막을 적용할 경우 가시광선은 투과하고 적외선은 광 흡수층으로 재반사되기 때문에 변환효율을 향상 시킬 수 있고 동시에 투명 태양전지를 얻을 수 있다. 선택적 투과 특성을 보이는 지르코니아 박막의 광학적 특성이 이미 보고된 바 있으며, 본 연구에서는 반응성 스퍼터링 방식을 이용하여 지르코니아 박막을 증착하고 산소 유량에 따른 광학적 특성을 관찰한 후 이를 통해 선택적 투과막 성장에 적합한 산소 유량 조건을 얻고자 하였다. 산소 유량에 따라 지르코니아 박막의 투과율은 400 nm 이상의 파장에서 약 10%에서 약 85%의 범위에서 변화하였고 반사율은 적외선 영역에서 최소 약 30%에서 최대 약 60%의 수치를 나타내었다. 이러한 결과로부터 반응성 스퍼터링 시 산소 유량이 지르코니아 박막의 광학적 특성 변화에 큰 영향을 미치는 인자임을 확인하였다.

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선택적 투과막에 이용 가능한 지르코니아 박막의 광학적 특성 평가

  • Bang, Gi-Su;Im, Jeong-Uk;Lee, Seung-Yun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.217.2-217.2
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    • 2013
  • 태양전지의 기본구조는 전면전극, 후면전극, 그리고 이들 사이에 위치하는 광흡수층으로 구성된다. 여기에 더하여 광흡수층에서 반사되거나 투과되는 빛 에너지의 손실을 줄이기 위해 윗면에는 반사방지막을, 아랫면에는 고반사막을 적용한다. 투명 태양전지의 경우 고반사막을 대신하여 선택적 투과막을 적용할 경우 변환효율을 향상 시킬 수 있다. 본 연구에서는 투명 태양전지의 구성물질로서 이용 가능한 선택적 투과 특성을 보이는 지르코니아 박막의 광학적 특성을 보고한다. RF magnetron sputtering 방식을 이용하여 지르코니아 박막을 증착하고 두께에 따른 광학적 특성 및 표면 형상 변화를 관찰하였다. 투과율 및 반사율을 측정한 결과 지르코니아 박막의 투과율은 400 nm 이상의 파장에서 약 85% 이상의 양호한 값을 나타내었다. 반사율은 평균적으로 적외선 영역에서 약 35%의 수치를 나타내었다. 이러한 광학적 특성으로부터 지르코니아 박막은 선택적 투과막으로 적합한 물질이라는 결론을 얻을 수 있다.

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Optical super-resolution for ultrahigh density optical data storage (초고밀도 광자료 저장을 위한 광학적 초해상)

  • Kim, Myeong-Jun
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2009.02a
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    • pp.243-245
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    • 2009
  • 광학 현미경의 분해능이 파장에 따른 회절에 의해 결정된다. 이것을 극복하기 위해서 나노미터까지 분해능을 향상시키기 위해서 근접장 광학이 각광을 받고 있다. 본 보고에서는 흡수 에지 근처의 위상변화 특성에 기인한 초해상을 보고한다.

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Recent trends in optical thin film fabrication techniques using ion beam (이온빔을 이용한 최근의 광학박막 제조기술 동향)

  • 황보창권
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 1990.07a
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    • pp.59-67
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    • 1990
  • 최근 레이저 기술의 발달과 광학 부품의 고급화 추세에 따라, 광학 박막의 성능을 개선하기 위해, 이온 빔을 이용한 여러 기술이 개발 중이거나 생산에 사용되고 있다. 본 논문에서는 각 기술의 방법, 구조 및 제작된 박막의 특성 등을 비교 분석한다.

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Key issues in optics for optical memory devices (광기억장치에서의 핵심 광학기술연구)

  • 이철우
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.28-29
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    • 2000
  • 최근, 통신, PC등의 보급과 함께, 메모리기기의 발전이 급속히 이루어 지고있다. 이 중에서 광기억장치는 기록 및 재생용량을 증가시키는 기술이 활발히 연구되어 왔다. 본고에서는 대용량기기의 대표적인 DVD(Digital Versatile Disc)에 있어서, 핵심광학기술로 각광을 받고있는 CD호환을 위한 환형(annular type) lens의 특성을 고찰하였다. 그리고, 반도체 메모리, Hard disk등도 고밀도연구가 지속적으로 연구되고있으며, 이에 대응되는 광기억장치의 기술로서 근접장 광학이 최근 활발히 연구되고있다. 근접장에 의한 고개구수를 달성하기 위한 효율적인 대물렌즈로서 종래의 굴절렌즈만이 아닌 반사광학계도 사용한 굴절-반사광학계 (Cata-dioptric Optics)를 응용한 Solid Immersion Mirror (SIM)에 관한 특성을 살펴보았다. (중략)

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Optical and structural properties of $TiO_2$ thin films by high-vacuum reactive magnetron sputtering (고진공 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 $TiO_2$ 박막의 광학적, 구조적 특성)

  • 김성화;이인선;황보창권
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.08a
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    • pp.170-171
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    • 2000
  • 최근 광 응용기술, 레이저 및 광통신 기술이 빠르게 발전함에 따라 고부가 가치 광학박막의 규격이 높아지고 있으며, 덩어리와 같은 광학적, 기계적 특성을 갖는 광학박막이 요구되고 있다. 일반적으로 이러한 성능을 만족하는 광학박막을 제작하기 위해 전자빔으로 증발되어 기판에 증착되는 박막에 직접 산소 이온을 이온총을 이용하여 기판에 쏘아줌으로써 양질의 산화박막을 제작하는 이온빔 보조 증착법이 가장 많이 적용되고 있다. 여기서 이온빔은 증착되는 박막의 기둥구조를 파괴시켜 원래의 덩어리(bulk)에 가까운 성질을 갖는 조밀한 박막을 제작하는데 이용된다. 좀더 조밀한 박막을 만들어 덩어리에 가까운 성질을 갖도록 하기 위해서는 박막을 형성하는 이온들의 이온에너지를 높여주어야 하는데, 그 방법으로 이온빔 스퍼터링이나 RF 또는 DC 마그네트론 스퍼터링 방법 등이 있으며, 최근에는 medium frequency에 의한 twin-마그네트론 스퍼터링 기술을 이용하기도 한다$^{(1 4)}$ . (중략)

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Studies on Shack-Hartmann wavefront analyzer for measuring the optical aberration of human eye (인체안의 광학수차 측정을 위한 Shack-Hartmann 파면분석 기 연구)

  • 고동섭;이경섭;유용성;권혁제;김현수
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.78-79
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    • 2002
  • 눈의 시력을 진단하는 도구 또는 장비로는 자각식 측정법인 시력표, 타각식 계측기로는 검영기와 자동굴절력측정기 등이 있다. 이들 방법으로 얻는 결과는 시력 또는 굴절력 값으로 제한된다. 그러나 인체안도 일반 광학계와 같이 공간적으로 불균일한 광학적 특성을 가지기 때문에, 눈의 광학적 기능을 정확하게 진단하기 위해서는 공간에 따른 광학수차 분포를 측정할 필요가 있다. 특히 엑시머레이저를 이용한 굴절각막교정수술에서, 광학수차 정보는 정교한 교정수술을 위한 기초 자료가 될 수 있다. (중략)

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