• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.128-128
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• 2000

박막의 탄성 특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 이러한 방법들은 필름의 두께가 일정 두께 이상이 되어야 정확한 측정이 가능한 방법으로 매우 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang, bridge 방법이 제시되었으며, 이 방법은 간단한 식각 공정을 통해 매우 얇은 박막에도 적용시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 아주 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang 방법을 이용하여 순수한 Diamond-like carbon (DLC) 필름과 Sidl 첨가된 DLC 필름의 탄성 특성을 평가하고자 한다. 실험에서 사용한 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400 Vb로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응 가스는 벤젠(C6H6), 그리고 벤젠과 희석된 실렌(SiH4 : H2 = 10 : 90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 일정량의 Si을 함유시켰다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 변화시켰으며, KOH(5.6mol) 용액을 이용하여 습식 식각을 함으로써 freehang을 제작하였다. 이때 식각액에 의한 DLC 필름의 손상은 관찰되지 않았다. 필름의 잔류 응력을 측정하기 위해 200$\pm$10 혹은 100$\pm$5$\mu\textrm{m}$ 두께의 얇은 (100) Si wafer를 5$\times$50 mm2의 strip 형태로 절단하여 사용하였다. 필름의 압축 잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률은 laser 반사법과 $\alpha$-step profiler를 이용하여 측정하였으며, 이 결과를 Brenner 등에 유도된 식을 이용하여 잔류 응력을 계산하였다. 또한 제작된 frddhang은 광학 현미경과 전자주사현미경에 의해 관찰되었다. 이렇게 제작된 freehang을 이용하여 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류 응력을 박막의 응력-변형률 관계식에 적용하여 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. 측정 결과 필름의 잔류 응력과 biaxial elastic modulus는 필름의 두께가 감소함에 따라 감소하는 경향을 나타냈으며, 같은 두께의 필름인 경우, 식각 깊이에 따른 biaxial elastic modulus 의 변화를 통해 최적의 식각 깊이를 알 수 있었다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.20 no.8
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• pp.174-180
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• 2019

In this study, we evaluated and analyzed the properties of polymeric transparent films used in military vehicle covers according to weathering test. Two types of polymer films (Film A and Film B) that are mostly used for military vehicle covers were selected. The weathering treatment condition and tester are described in KS K 0706, and the following weathering times were tested: 0hour, 40hours, 160hours and 320 hours. The tensile strength, elongation and thermal decomposition behavior and optical characteristics were analyzed. The tensile strength tended to decrease - increase - decrease with increasing weathering treatment time in both transparent films. The thermal decomposition temperature gradually decreased. Regarding the optical property, the light transmittance decreased and the haze tended to increase. However, film A showed almost similar optical characteristics after 160-hour weathering treatment.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.29 no.6
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• pp.262-267
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• 2018

In this paper, we designed a new antireflective film to improve the optical efficiency of organic light-emitting diode displays (OLEDs). The reflection characteristics in the normal and side viewing directions of OLEDs with the antireflective film were calculated, depending on the degree of polarization and transmittance of the currently used polarizer when used in the antireflective film of an OLED. The results showed that when the polarization degree of the commercial polarizer (99.990~99.995%) is lowered to 99.900%, the average reflectance of the antireflective film is increased by about 0.1% (2.5% in terms of rate of increase) which is difficult to notice with the human eye, while the transmittance is increased by 1.63~3.34% (4.2~8.2% in terms of rate of increase). This study provides an optimal design for high-light-efficiency OLEDs with good antireflection properties.

• Polymer(Korea)
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• v.36 no.5
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• pp.662-667
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• 2012

Poly(ethylene terephthalate) (PET) base films with high light transmittance have been used for the substrate of various functional films in the flat panel display. The effects of the reflective index of coated films, the roughness of the film surface and the content of inorganic silica particles on the light transmittance were studied in this article. Light transmittance was increased by coating a water soluble resin with a low reflective index at an optimum thickness. The roughness of the film did not affect light transmittance when the Ra of the film surface was less than a quarter of the wavelength of incident light. Inorganic silica particles decreased light transmittance due to their absorbance and scattering of the incident light.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.575-576
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• 2012

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2009.02a
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• pp.511-512
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• 2009

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2009.06a
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• pp.1043-1044
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• 2009

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2004.07a
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• pp.92-93
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• 2004

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2007.02a
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• pp.257-258
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• 2007

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2007.02a
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• pp.76-77
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• 2007