• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.71-71
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• 2015

반도체 및 디스플레이 소자 제조를 위한 진공 플라즈마는 다양한 공정 조건하에서 다양한 공정 가스의 물리화학적 반응에 의한 박막의 형석 및 식각 반응을 유도한다. 실 공정 하에서 기체 성분의 환경 조건에 의하여 박막층 및 식각 구조 형성에 심각한 영향이 발생할 수 있으며, 공정 조건에서 기체 압력을 완벽하게 컨트롤 하는 것은 현실상 불가능하므로 기체 부분압력이 실시간으로 반드시 모니터링 되고 이를 피드백으로 하여 압력 변수가 조정되어야 완벽하게 공정을 제어할 수 있다. 이를 위하여 현장에서 플라즈마 공정을 실시간 in-situ 모니터링 할 수 있는 다양한 진단 방법이 도입되고 있으며 접촉신 진단 방법은 플라즈마와 섭동으로 인한 교란을 유발하고, 이온에너지 측정의 한계가 존재하며 비접촉식 방법 중의 하나인 유도형광법(LIF)은 측정 물질의 제한으로 인하여 플라즈마 내에 존재하는 다양한 가스 종의 거동을 살필 수 없는 등 현실 적용 측면에서 실 공정에 적용하는데 단점이 존재한다. 공정 상태 및 RF에 의한 영향을 주고받지 않고, 민감한 공정 변화의 감지 및 혼합가스를 사용하는 실시간 공정 진단을 위하여 비접촉 광학 측정 방식인 발광 분광 분석법(optical emission spectroscopy, OES)이 각광받고 있으며, 본 강습에서는 분광학의 기본 개념 및 OES를 이용한 진공 플라즈마 진단 방법에 관한 전반적인 개요를 설명하도록 한다

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.11a
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• pp.209-209
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• 2009

ITO 박막은 박막 태양전지, 유기 태양전지뿐만 아니라 유연한 디스플레이, 발광다이오드와 같은 광학적 장치에 투명한 전극으로써 널리 사용된다. 글라스나 플라스틱 기판위에 형성된 투명 전극은 식각을 통하여 전기회로를 구성한다. 또한 식각 특성을 개선할 필요가 있다. 이 연구에서 우리는 유리 기판위에 코팅된 ITO 박막을 유도결합 $BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용하여 식각하였다. ITO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링을 사용해 200 $^{\circ}C$에서 비알칼리 글라스 위에 증착하였고 ITO 박막의 총 두께는 약 250 nm 이었다. 또한 전기 전도성은 $4.483{\times}10^{-4}{\Omega}cm$, 캐리어 농도는 $3.923{\times}10^{20}cm^{-3}$이고, 홀 이동도는 $3.545{\times}10cm^{-2}/Vs$이었다. Ar 플라즈마에 $BCl_3$ 가스를 첨가시키면서 가스 비율에 따른 ITO의 식각 속도와 ITO와 PR과의 선택비를 측정하였다. 최대 식각 속도는 $BCl_3$(25%)/Ar(75%), 500 W의 RF power, -200 V의 DC-bias voltage, 그리고 2 pa의 공정압력일 때 588 nm/min이었고 선택비는 0.43으로 다소 낮게 측정되었다. 식각된 표면의 화학적 반응은 엑스선 광전자 분광법 (X-ray Photoelectron Spectroscopy)을 사용해 조사되었다. 그리고 식각된 표면의 거칠기는 원자현미경 (Atomic Force Microscopy)을 사용해 측정하였다.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.27 no.1
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• pp.42-46
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• 2017

$SrAl_2O_4$ : $Eu^{2+}$,$Dy^{3+}$ phosphorescent phosphors were synthesized by skull melting method. The molar ratio of oxides in the phosphors synthesized by the skull melting technique was $SrCO_3$ : $Al(OH)_3$ : $Eu_2O_3$ : $Dy_2O_3$= 1 : 2 : 0.015 : 0.02. Crystal structure and surface morphology were investigated by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD) analysis. Optical properties of the synthesized $SrAl_2O_4$ : $Eu^{2+}$,$Dy^{3+}$ were measured by photoluminescence (PL) spectrometer for in-depth study on the excitation, emission and afterglow properties. From the PL measurements, it was found that excitation occurred in the wavelength range from 300 to 420 nm with peak position at 360 nm. The emission spectrum showed a broad curve in the wavelength from 450 to 600 nm with peak position at 530 nm. $SrAl_2O_4$ : $Eu^{2+}$,$Dy^{3+}$ phosphors exhibited afterglow properties with emission that lasted for a long period.

• Journal of the Korean Society for Marine Environment & Energy
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• v.18 no.4
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• pp.304-309
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• 2015

To evaluate the degree of contamination caused by oil spill accident in the sea, the in-situ sensors which are based on the scientific method are needed in the real site. The sensors which are based on the fluorescence detection theory can provide the useful data, such as the concentration of oil. However these kinds of sensors commonly are composed of the ultraviolet (UV) light source such as UV mercury lamp, the multiple excitation/emission filters and the optical sensor which is mainly photomultiplier tube (PMT) type. Therefore, the size of the total sensing platform is large not suitable to be handled in the oil spill field and also the total price of it is extremely expensive. To overcome these drawbacks, we designed the fluorimeter for the oil spill detection which has compact size and cost effectiveness. Before the detail design process, we conducted the experiments to measure the excitation and emission spectrum of oils using five different kinds of crude oils and three different kinds of processed oils. And the fluorescence spectrometer were used to analyze the excitation and emission spectrum of oil samples. We have compared the spectrum results and drawn the each common spectrum regions of excitation and emission. In the experiments, we can see that the average gap between maximum excitation and emission peak wavelengths is near 50 nm for the every case. In the experiment which were fixed by the excitation wavelength of 365 nm and 405 nm, we can find out that the intensity of emission was weaker than that of 280 nm and 325 nm. So, if the light sources having the wavelength of 365 nm or 405 nm are used in the design process of fluorimeter, the optical sensor needs to have the sensitivity which can cover the weak light intensity. Through the results which were derived by the experiment, we can define the important factors which can be useful to select the effective wavelengths of light source, photo detector and filters.