• Title/Summary/Keyword: 광학두께

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Simulation for the center-wavelength shift of interference filters by temperature variation (온도변화에 따른 간섭필터의 중심파장 이동의 전산모의)

  • 김성화;황보창권
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.80-81
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    • 2003

  • DWDM 필터와 같은 간섭필터는 밴드폭이 좁아지고 투과파장에 해당하는 채널의 수가 증가함에 따라 투과파장의 외부환경에 대한 안정성이 중요하다. 기존의 전자빔 증착법으로 증착된 유전체 다층박막은 일반적으로 미세기둥구조로 인해 낮은 조밀도를 가지기 때문에 외부의 습도나 온도 변화 등에 민감하다. 낮은 조밀도의 유전체 다층박막을 대기 중에 노출되었을 때, 대기 중의 습기가 기둥과 기둥 사이로 침투되어 유효굴절률의 증가로 인하여 박막의 광학두께가 증가하게 되고 결국 스펙트럼이 장파장으로 이동하게 된다. (중략)

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A study on thickness optimization of inflatable circular membrane for large optical system (대구경 광학계의 팽창 전개용 원형 박막 두께 최적화에 관한 연구)

  • 소민관;조지현;이준호;윤성기
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.100-101
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    • 2003

  • 최근 들어 지구 관측 위성 및 천문 관측 위성의 정밀한 해상도를 얻기 위한 대안으로 대구경 광학계에 대한 요구가 커져 왔다. 이는 기존의 광학계와 다른 방식으로 광학면을 구성해야 할 필요성이 제시되며, 크게 두 가지의 방법으로 전개용 광학 시스템(Deployable optical system)과 팽창용 광학 시스템(Inflatable optical system)을 제안된다. 이 두 방법은 기존의 방법에 비해 광학계의 부피와 무게를 크게줄일 수 있다. 게다가 같은 해상도를 가지는 광학계를 구현할 경우, 광학면의 크기를 증가로 인해 위성을 현재보다 높은 궤도에서 운영할 수 있으면 이로 인해 위성의 수명을 늘릴 수 있다. (중략)

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The Structural, Electrical, and Optical Properties of ZnO Ultra-thin Films Dependent on Film Thickness (ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구)

  • Kang, Kyung-Mun;Wang, Yue;Kim, Minjae;Lee, Hong-Sub;Park, Hyung-Ho
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.26 no.2
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    • pp.15-21
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    • 2019

  • We investigated the structural, electrical and optical properties of zinc oxide (ZnO) ultra-thin films grown at $150^{\circ}C$ by atomic layer deposition (ALD). Diethylzinc and deionized water were used as metal precursors and reactants, respectively, for the deposition of ZnO thin films. The growth rate per ALD cycle was a constant 0.21 nm/cycle at $150^{\circ}C$, and samples below 50 cycles had amorphous properties due to the relatively thin thickness at the initial ALD growth stage. With the increase of the thickness from 100 cycles to 200 cycles, the crystallinity of ZnO thin films was increased and hexagonal wurtzite structure was observed. In addition, the particle size of the ZnO thin film increased with increasing number of ALD cycles. Electrical properties analysis showed that the resistivity value decreased with the increase of the thin film thickness, which is correlated with the decrease of the grain boundary concentration in the thicker ZnO thin film due to the increase of grain size and the improvement of the crystallinity. Optical characterization results showed that the band edge absorption in the near ultraviolet region (300 nm~400 nm) was increased and shifted. This phenomenon is due to the increase of the carrier concentration with the increase of the ZnO thin film thickness. This result agrees well with the decrease of the resistivity with the increase of the thin film thickness. Consequently, as the thickness of the thin film increases, the stress on the film surface is relaxed, the band gap decreases, and the crystallinity and conductivity are improved.

  • https://doi.org/10.6117/kmeps.2019.26.2.0015 인용 PDF KSCI HTML