• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.148-149
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• 2003

렌즈와 거울의 형상을 정밀하게 측정하고 평가하는 광학시험에 많은 형태의 광간섭계가 개발되고 사용되어왔다. 그 중, 회절격자를 광선분할기로 사용하는 광간섭계들을 통칭하여 회절격자 간섭계라 부른다. 회절격자 간섭계는 별개의 광학표면을 사용하지 않고 회절격자에서 회절된 파면을 직접 기준파면으로 사용할 수 있으므로, 격자의 형태, 주기를 선정하여 기준파면과 측정파면을 원하는 방향으로 재생하여 다양한 형태의 간섭계를 만들 수 있다.(중략)

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.3 no.2
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• pp.101-104
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• 1992

One of coefficients showing the degree of thermal effects is the thermooptic coefficient. It is the ratio of the refractive index change versus the change of temperture and was already measured by other general interferometric method. In this research, an optical system with the electronic speckle pattern interferometer complementing faults of the general interferometer was developed and its potentiality was validated experimentally.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.13 no.2
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• pp.98-104
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• 2002

We present a new self-calibration method to remove the systematic error of a 2-axis lateral shearing interferometer that has been specially designed for optical testing of aspheric optics. The method takes multiple measurements by rotating the test optics and extracts the systematic error by fitting the measured wavefronts into the Zernike polynomials. The method works with arbitrary azimuthal angles for test optics rotation, which offers an advantage of correcting the error induced by the non-orthogonality of the two axes of wavefront shearing as well as the error caused by the optical components of the interferometer system itself.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.28 no.2
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• pp.75-82
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• 2017

We present a new type of receiver-transmitter optical system that can be adapted to the sensor head of a displacement-measuring interferometer. The interferometer is utilized to control positioning error and repetition accuracy of a wafer, down to the order of 1 nm, in a semiconductor manufacturing process. Currently, according to the tendency of scale-up of wafers, an interferometer is demanded to measure a wider range of displacement. To solve this technical problem, we suggest a new type of receiver-transmitter optical system consisting of a GRIN lens-Collimating lens-Afocal lens system, compared to conventional receiver-transmitter using a single collimating lens. By adapting this new technological optical structure, we can improve coupling efficiency up to about 100 times that of a single conventional collimating lens.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1991.06a
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• pp.109-109
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• 1991

자기변형 효과가 큰 Metallic glass 2605SC에 20cm의 광섬유를 붙여서 교류 자기장 측정을 위한 Mach-Zehnder형 광섬유 간섭계를 구성하였다. 능동 위상 추적 방법을 사용하여 간섭계의 위상차를 최대 측정감도를 갖는 $\pi$/2로 고정시킴으로써 온도 및 진동등의 영향에 의한 신호소멸 현상을 해결하였다. 0.2~2.0 KHz에서 주파수특성, dc bias의 영향 그리고 교류 자기장과 간섭계 출력 사이의 선형성을 조사하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.240-241
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• 2001

주파수 위상 간섭계를 이용한 전기장 재구성 방법(SPIDER)은 현재의 전자장치로 분해 해낼 수 없는 짧은 펄스의 시간적 특성을 광학적 방법을 사용하여 분해 해내는 기술이며, 다음과 같은 순서로 시간 영역의 펄스를 재구성한다 ： 1)주파수 간섭계(spectral inteferometry)를 사용하여 일정한 시간지연을 갖는 동일한 펄스 쌍을 만든다. 2)분산이 큰 물질(highly dispersive material)이나 에돌이 발 쌍(pairs of gratings)을 사용하여 크게 chirping되며 200배 전후로 펄스폭을 늘인 펄스를 생성한다. (중략)

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.02a
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• pp.216-217
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• 2000

영상매체의 발달은 고성능의 정밀한 광학소자의 발전을 요구하게 된다. 이러한 광학소자는 제작의 용이함 때문에 주로 구면소자가 많이 사용되어 왔으나 구면소자만으로 해결하기 어려운 구면수차, 왜곡수차, 비점수차 등의 요인을 극소화하고 광학소자의 소형, 경량화를 위하여 비구면 광학소자의 사용이 필요하게 되었으며 비구면 가공기술의 발전과 더불어 그 사용이 증가하고 있다. 그러나 비구면광학소자는 제작과정의 어려움과 더불어 품질평가의 어려움이 있다. 특히 급속한 기울기를 가진 면의 측정은 3차원측정기에 의한 방법이나 간섭계를 사용한 단순한 null optics 검사로는 정확도와 실험의 한계가 있다. 비구면 광학소자의 평가방법으로는 간섭계를 사용하여 기준파면과 대상파면을 비교하는 일반적인 null testing과 최근에는 CGH(computer generated hologram)로 재생된 비구면파면과 대상파면을 비교하는 방법도 많이 연구되고 있다. 본 연구에서는 일반적인 검사방법으로는 검사가 어려운 급속한 기울기를 가진 포물면(parabolic surface)에 대한 하나의 검사방법을 제시하고자 한다. (중략)

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1995.06a
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• pp.59-67
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• 1995

부분간섭조명과 central obscuration의 Optical Transfer Function(OTF) 에의 영향을 조사해보고, 이의 programing 기법을 소개하며, 모든 3차 수차와 5차 구면수차가 제거된 5반사광학계에 적용하여 축소배율(M = +1/5)을 갖는 리소그래피용 광학계로서의 가능성을 알아보았다. 이렇게 하여 얻어진 광학계 central obscuration이 약 31%이고 과월을 ArF excimer 레이저( 파장 0.193$\mu$m) 로 하는 nearly inchorent illumination($\sigma$ = 1.0)인 경우 NA가 0.45이며 분해능이 50% MTF 기준치와 초점심도 0.8$\mu$m에 대해 약 600cycles/mm 정도인 성능을 갖는 시스템이 되었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.5 no.2
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• pp.231-237
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• 1994

We present spectroscopic methods to analyze the structural parameters of tandem Fabry-Perot interferometers. By using laser beams of two different frequencies by several tens of GHz, we investigated the cavity spacings of the two interferometers and ways to measure and to find the limitation of the neccesary conditions between the two interferometers. All of the theoretical results has been also confirmed experimentally.ntally.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.216-217
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• 2003

컴퓨터 기술, 영상 처리기술, 기계장치의 자동화 발전에 따라 레이저를 이용한 형상 측정 기술 개발은 반도체 표면 측정 등에 응용되어지는 매우 중요한 분야를 차지하고 있다. 레이저를 이용한 정밀 표면 측정 기술은 레이저 파장의 1／4에 해당하는 높이까지 CCD 카메라와 연계시켜 측정할 수가 있다. 레이저 간섭계는 Michelson, Mirau, Linnik 등에 의해 개발된 간섭계가 주로 이용되고 있다. 본 논문에서는 4-bucket 알고리즘을 사용하기 위하여 영상을 $\theta$＝$\pi$／2씩 위상 이동시켜 다음과 같은 4개의 간섭 무의 강도 영상 정보를 획득하여 Borland C++ 프로그램을 이용 위상을 계산하였다. (중략)