• Title/Summary/Keyword: 공정 과정

Search Result 3,035, Processing Time 0.032 seconds

저온 플라즈마 반응기에서의 수정충돌주파수를 이용한 실리콘 나노 입자 형성 모델링

  • Kim, Yeong-Seok;Kim, Dong-Bin;Kim, Hyeong-U;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2014.02a
    • /
    • pp.217.1-217.1
    • /
    • 2014
  • 반도체 및 디스플레이 산업은 많은 공정들에서 저온 플라즈마 반응을 이용한다. 특히 소자 제작을 위한 실리콘 박막의 증착은 저온 플라즈마 공정의 주요 공정이다. 하지만 실리콘 박막을 합성하는데 있어서 저온 플라즈마에서 형성되는 실리콘 나노 입자는, 오염입자로써 박막의 특성을 악화시켜 소자생산 수율을 악화시키는 주요 원인이 되고 있다. 따라서 플라즈마에서 입자 형성의 원인이 되는 화학반응 및 입자들의 성장 매커니즘에 대한 연구는, 1980년대 플라즈마 공정에서 입자 합성이 보고된 이래 공정의 최적화를 위해 꾸준히 연구되어왔다. 이러한 매커니즘의 연구들은, 플라즈마 화학반응에 의해 실리콘 입자 핵을 만들어 내는 과정과 입자들이 충돌에 의해 성장해가는 과정으로 나눠진다. 플라즈마 화학 반응 과정은 아레니우스 방정식에 의해 정의된 반응계수를 이용하여 플라즈마 내 전자와 이온, 중성 화학종들이 전자 온도와 전자 밀도, 챔버 온도 등에 의해 결정되는 현상을 모사한다. 또한 이 과정에서 실리콘을 포함하는 화학종들의 반응에 의해 핵이 생성 되가는 양상을 모사한다. 생성된 핵은 충돌에 의해 입자가 성장해 가는 과정의 가장 작은 입자로써 이용된다. 입자들이 성장해가는 과정은 입자들이 서로 충돌하면서 다양한 입경의 입자로 분화되어가는 현상을 모사한다. 이 과정에 의해 다양한 입경분포로 분화된 입자들은 플라즈마 내 전자에 의해 하전되며, 이러한 하전 양상은 입경에 따라 다른 분포를 보인다. 본 연구에서는 입자의 하전 분포를 고려하여, 입자들의 성장의 주요 원인인 입자간의 충돌을 대표하는 충돌주파수를 수정하는 방식을 채택하여 보다 정밀한 입자 성장 양상을 모델링하였다. Inductively coupled plasma (ICP) 타입의 저온 플라즈마 반응기에서 합성된 입자들을 Particle Beam Mass Spectrometer (PBMS)와 Scanning Electron Microscope (SEM)를 이용하여 입경분포를 측정한 데이터와 모델링에 의해 계산된 결과를 비교하여 본 모델의 유효성을 검증하였다. 검증을 위해 100~300 mtorr의 챔버 압력 조건과 100~350 W의 입력 전력 조건들을 달리하며 측정한 결과와 계산한 데이터를 조건별로 비교하였다.

  • PDF

생물공정과 공장설계

  • 김인호
    • The Microorganisms and Industry
    • /
    • v.16 no.2
    • /
    • pp.62-66
    • /
    • 1990
  • 생물공정의 개념을 단백질, 탄수화물, 지방등의 생물질을 동물, 식물, 미생물의 자원으로부터 생산하기 위한 과정의 집합체로 정의 한다면 매우 광범위하며 이에 대해 본 고에서와 같이 작은 글에서 논한다는 것은 불가능에 가깝다 하겠다. 더욱이 생물공정을 산업화하기 위한 공장설계의 단계로 넘어간다면 예를 들어 한정된 경우에 대해 설명할 수 밖에 없겠다. 따라서 본 고에서 재조합 단백질의 정제 공정과 이것의 공정설계에 있어 고려할 점을 논술함으로써 생물공정과 공장설계의 한 단면을 조감하였으면 한다.

  • PDF

Study of Developing Simulation Package for Cleaner Production Assessment : Case Study for ECH Process (청정생산평가를 위한 모사기 개발에 관한 연구 : ECH 생산공정 사례 적용)

  • Park, Young Cheol;Chang, Wook;Bak, Sin-Jeong;Wong, Won Hi;Lee, Tai-Yong;Kim, Young Sub;Yun, Chang Han;Cho, Byong Nam;Kim, Yeon Seok
    • Clean Technology
    • /
    • v.9 no.1
    • /
    • pp.1-8
    • /
    • 2003
  • In order to implement clean technology to Petro-chemical process, simulation package of given process should exist. In this paper, reaction and recycling parts of a process are explained using EA process and MEK process respectively so as to explain how to make simulation package. Based on simulation package, several options are generated and feasibility tests are performed.

  • PDF

The Effects of Fairness and Quality on the Trust and Loyalty in the R&D Processes (연구개발 과정에서 공정성과 품질이 신뢰와 충성도에 미치는 영향)

  • Jeong, Yonggil
    • Journal of Service Research and Studies
    • /
    • v.8 no.3
    • /
    • pp.115-136
    • /
    • 2018
  • Recently R&D projects take a collaborative works which involve industries, research institutions, and academic fields together. Collaborative R&D enjoys the economy of scales and economic efficiencies in that costs and risks share each others and compensate their competences. But there are some problems. The imbalance of power, the asymmetry of information, loss of trust, and opportunism among the co-researchers make the collaborative R&D difficult to succeed and disappointed outcomes. There are many variables on explaining the interorganizational relationships. Among them, I choose some relevant variables, construct research model and some hypotheses. Independent variables are fairness and quality, and dependent variables is loyalty. And trust are treated as the intervening variable between the independent variables and dependent variable. To test the research model and some hypothesis empirically, I collected the data using the questionnaire, The questionnaire was distributed to the persons that do collaborative R&D in Daeduck Innopolis. Sample size was 448, it was enough to analyze statistically. Data were analysed using the SPSS and AMOS. Procedural fairness and distributive fairness affect the organizational trust positively, and procedural fairness and distributive fairness affect member trust positively. Procedural quality and outcome quality affect the organizational quality positively. Procedural quality affects the member trust positively, but outcome quality does not affect member trust. Procedural fairness and distributive fairness does not affect the loyalty positively. Procedural quality does not affects loyalty, but outcome quality affects the loyalty positively. The organizational trust affects loyalty positively, and member quality affect loyalty positively.

DUPIC 핵연료 공정에서의 핵임계 안전성

  • 신명원;김명현
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
    • /
    • 1996.05a
    • /
    • pp.169-172
    • /
    • 1996
  • 본 연구에서는 DUPIC 핵연료 주기개발이 상업화 됨을 전재로 하였을때 핵연료 제조 공정에 대하여 핵임계 해석을 수행하였다. 계산 과정은 PWR 핵연료봉을 해체하는 공정과 분말을 취급하는 공정으로 나누었으며, 이중 우발성의 원리를 기초하여 가상 사고 조건을 고려하였다. 핵임계 해석의 결과, DUPIC 핵연료 제조 공정에서는 특별한 가상조건을 제외하고는 핵임계의 위험은 없는 것으로 나타났다.

  • PDF

Fault Detection Method for Multivariate Process using ICA (독립성분분석을 이용한 다변량 공정에서의 고장탐지 방법)

  • Jung, Seunghwan;Kim, Minseok;Lee, Hansoo;Kim, Jonggeun;Kim, Sungshin
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
    • /
    • v.24 no.2
    • /
    • pp.192-197
    • /
    • 2020
  • Multivariate processes, such as large scale power plants or chemical processes are operated in very hazardous environment, which can lead to significant human and material losses if a fault occurs. On-line monitoring technology, therefore, is essential to detect system faults. In this paper, the ICA-based fault detection method is conducted using three different multivariate process data. Fault detection procedure based on ICA is divided into off-line and on-line processes. The off-line process determines a threshold for fault detection by using the obtained dataset when the system is normal. And the on-line process computes statistics of query vectors measured in real-time. The fault is detected by comparing computed statistics and previously defined threshold. For comparison, the PCA-based fault detection method is also implemented in this paper. Experimental results show that the ICA-based fault detection method detects the system faults earlier and better than the PCA-based method.

Processing of Metallic Materials by Gas Atomized Spray Forming (고성형성 합금 제조를 위한 가스 분무성형 공정)

  • Baik, K. H.;Seok, H. K.
    • Transactions of Materials Processing
    • /
    • v.14 no.7 s.79
    • /
    • pp.587-594
    • /
    • 2005
  • 분무성형공정은 급냉응고 및 결정입자 제어에 따른 고품위 소재 개발의 장점과 함께 고밀도 near-net-shape 제품의 제조가 가능한 합금제조기술이다 분무성형체의 미세조직은 적층표면에 도달하는 액적들의 평균 열용량, 즉 고상분율에 의하여 결정되며, 이는 액적의 비행과정에서의 분사가스-액적간의 열전달과 적층표면에서의 열유입과 열유출 속도에 영향을 받는다. 실제 다양한 공정변수들이 복합적으로 미세조직 형성과정에 영향을 미치지만, 균일한 미세조직을 얻기 위하여서는 적층표면에서의 온도와 고상분율을 항상 일정하게 제어하여야만 한다 즉, 적층표면 온도를 분무 성형공정중에 지속적으로 측정하여 이를 공정 제어 시스템에 feedback하여 원하는 적층표면온도를 유지하도록 공정변수를 제어하는 것이 필수적이다. 분무성형에 제조된 성형체는 합금원소의 편석이 없고 미세한 등방성의 결정립으로 이루어진 특징적인 미세조직을 나타낸다 이와 같은 미세조직으로 인하여 분무성형체는 우수한 성형성과 기계가공성을 나타내며, 또한 분무성형-후속가공된 최종 제품은 잉곳주조에 의하여 제조된 것과 비교하여 크게 향상된 기계적 성질을 가진다.

가전제품의 제조와 관련된 열공학 문제

  • 이형인;정완진;신승주
    • Journal of the KSME
    • /
    • v.32 no.8
    • /
    • pp.685-690
    • /
    • 1992
  • 가전제품의 제조와 관련된 열공학문제를 몇가지 예를 들어 검토하여 보았다. 제품은 강도가 커야 하고 설계공차 내에 들어야 하는 등의 조건을 만족함과 아울러, 그의 생산공정은 가급적으로 쉬워야 하고 재료를 절감할 수 있어야 한다. 제조공정 중의 열공학적인 과정이 제품 구조내의 열응력분포를 결정지우므로 열전달과정의 세심한 제어가 필요하다. 근래에 들어 컴퓨터의 발달로 열전달과정의 수치해석이 제조장비의 설계와 제조과정의 최적제어의 보조수단으로 등장하고 있다. 실제의 문제에서는 대부분 삼차원형상을 가지고 있고, 시스템을 고려하여야 하므로 여러 가지 현상이 연계되어 있다. 그러므로 수치계산에는 여전히 종래의 실험기법에 의한 실험식들과 여러 가지 축적된 경험의 도움을 필요로 한다. 이러한 측면에서 볼 때, 종래의 실험식, 경험식, 물성치, 기존의 수치해석의 결과 등을 컴퓨터에 데이터베이스(data base)화하여 소위 전문가 시 스템(expert system)을 구축하는 편이 단순히 공정의 극히 일부분 현상들을 수치해석하는 작업 보다 선행되어야 함이 바람직할 수 있다. 또한, 가전제품의 제조에는 열공학 또는 열전달현상에만 따로 주의를 기울이지 말고, 재질의 선택, 그의 유변학(rheology), 구조내의 균열문제 등을 연계 하여 고려하여야 한다.

  • PDF

Diagnostic Classification Based on Nonlinear Representation and Filtering of Process Measurement Data (공정측정데이터의 비선형표현과 전처리를 활용한 분류기반 진단)

  • Cho, Hyun-Woo
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
    • /
    • v.16 no.5
    • /
    • pp.3000-3005
    • /
    • 2015
  • Reliable monitoring and diagnosis of industrial processes is quite important for in terms of quality and safety. The goal of fault diagnosis is to find process variables responsible for causing specific abnormalities of the process. This work presents a classification-based diagnostic scheme based on nonlinear representation of process data. The use of a nonlinear kernel technique is able to reduce the size of the data considered and provides efficient and reliable representation of the measurement data. As a filtering stage a preprocessing is performed to eliminate unwanted parts of the data with enhanced performance. The case study of an industrial batch process has shown that the performance of the scheme outperformed other methods. In addition, the use of a nonlinear representation technique and filtering improved the diagnosis performance in the case study.

입찰소식 - LH, 입찰업체 선정과정 완전공개

  • 대한설비건설협회
    • 월간 기계설비
    • /
    • s.237
    • /
    • pp.62-64
    • /
    • 2010
  • 한국토지주택공사가 입찰업체 심사과정을 완전공개 하는 새로운 입찰심사제도를 도입하는 등 입찰 업체선정을 둘러싼 잡음을 제거하기 위해 발 벗고 나섰다. 한국토지주택공사(사장 이지송, 이하 LH)는 건설부조리를 뿌리 뽑고 기술력만으로 경쟁하는 공정한 입찰질서를 확립하기 위하여 "투명한 심사조직, 깨끗한 심사위원, 공정한 심사제도"를 모토로 LH 만의 독자적인 심사제도인 '투명하고 공정한 LH클린심사제도'를 마련 운영키로 했다. 이에 따라 지난 3월 4일부터 6일까지 시행하는 보금자리주택 2차 시범지구(구리갈매, 부천옥길, 시흥은 계) 설계용역 및 아산배방, 인천청라 U-City 구축사업 심사부터 성공적으로 적용했고, 앞으로 시행할 영종자동크린넷 등 모든 턴키심사에 적용한다고 밝혔다.

  • PDF