• 제목/요약/키워드: 공정변수

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grid를 이용한 plasma parameter control

  • 배근희;김성식;홍정인;장홍영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.181-181
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    • 2000
  • 최근 반도체 공정에 있어 0.2$\mu\textrm{m}$ 이하의 미세 공정에 필요해짐에 따라 plasma를 이용한 공정이 필요하게 되었다. 그러나 ICP를 이용하여 SiO2를 etching 할 경우, SiO2/Si 선택비를 높이기 우해 전자 온도 제어가 필요하다. grid를 이용하여 전자 온도를 제어할 경우 plasma potential이 plasma 변수 제어에 중요한 역할을 하게 된다. 이번 실험에서는 grid를 이용하여 plasma potential를 변화시켜 주면서 생기는 플라즈마 변수 변화에 대해 연구하였다.

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경력만족의 선행변인으로서의 조직공정성: 통합적 문헌연구를 통한 개념적 모델 도출 (Organizational Justice as the Antecedent of Career Satisfaction: Building a Conceptual Model from an Integrative Literature Review)

  • 오정록
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제14권11호
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    • pp.915-929
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    • 2014
  • 이 논문의 목적은 통합적 문헌연구를 통해 경력만족의 선행변인으로서의 조직공정성(분배공정성, 절차공정성, 상호작용공정성)에 관해서 고찰하는 것이다. 또한 이 연구는 경력개발을 위한 조직지원(조직의 스폰서십)이 조직공정성과 경력만족의 관계에서 잠재적인 매개변수로서 기능할 수 있는지를 탐색하는 것을 목적으로 한다. 선행 연구들에 관한 통합적 문헌조사에 기초하여, 이 연구는 조직공정성과 경력만족과의 관계를 경력개발을 위한 조직지원과 더불어 개념적 모델로서 제시하였다. 이러한 개념적 모델에 의하면 조직공정성은 경력만족의 주요한 선행변인의 하나로 포함될 수 있으며, 경력개발을 위한 조직지원은 조직공정성과 경력만족의 관계를 매개하는 변수로서 기능할 수 있다. 이 연구는 직장 내 경력개발의 맥락에서 조직공정성과 경력만족과의 관계를 규명함으로써 인적자원개발 분야에 기여한다. 나아가 이 연구는, 경력만족에 영향을 줄 수 있는 잠재적인 매개변수들과 같이, 조직공정성과 관련된 다양한 요인에 관한 연구를 수행하기 위한 추가적인 이론적 기초를 제공해 준다고 할 수 있다.

인공신경망에 의만 생물공정에서 2차원 영광스펙트럼의 분석 II - 역전파 신경망에 의한 공정의 모델링 - (Analysis of Two-Dimensional Fluorescence Spectra in Biotechnological Processes by Artificial Neural Networks II - Process Modeling using Backpropagation Neural Network -)

  • 이금일;임용식;손옥재;정상욱;이종일
    • KSBB Journal
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    • 제20권4호
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    • pp.299-304
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    • 2005
  • 본 연구에서는 인공신경망 알고리즘을 이용하여 생물공정에서 수집된 형광스펙트럼 데이터를 분류, 분석하고 공정변수들을 예측하기 위한 공정의 모델링에 대해서 논의하였다. SOM에 의해 분류된 전파장 스펙트럼 데이터들은 발효공정의 변수와 형광데이터 사이에 비선형관계를 설명하기 위하여 사용되었다. BPNN알고리즘은 SOM에서 분류된 데이터들을 입력자료로 이용하여 공정에 대한 모델식을 세우고, 이를 이용하여 배출가스 내 $CO_2$ 농도 및 발효액 중 세포농도와 같은 공정변수들을 예측하는데 사용되었다. 또한 BPNN 모델은 강력하면서도 훈련데이터의 범위를 넘어서는 공정의 데이터들을 예측할 수 있기 때문에 폭넓은 활용가능성을 가지고 있다.

유성압연기를 사용한 스테인리스 강관 압연공정의 유한요소해석 (FEA of Pipe Rolling Process Using Planetary Rolling Mill for Stainless Steel)

  • 이정길;김관우;조해용
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제35권2호
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    • pp.244-251
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    • 2011
  • 유한요소법을 통하여 유성압연기에 의한 스테인리스 강관 압연공정을 연구하였다. 3개의 롤에 의한 만네스만 공법을 압연공정에 적용하였다. 보통 유성압연은 냉간가공으로 시작하여 열간가공으로 종료되며, 기존의 압출공정에 비해 공정단축과 생산비절감의 장점을 갖고 있다. 압연공정은 다양하고 복합적인 공정변수를 가지고 있으며, 각각의 변수들은 성형결과에 영향을 미친다. 따라서 유성압연의 다양한 공정변수가 해석에 고려되어야 한다. 본 연구에서는 스테인리스 강관성형의 가능성과 생산성을 검토하였고, 소재예열 및 자전속도, 제품두께 변화를 해석에 반영하였다. 스테인리스 강관 압연공정은 성공적으로 시뮬레이션 되었고 최적의 압연조건을 결정하는데 유용할 것이다.

재료변수와 공정변수가 스템핑 성형성에 미치는 영향 연구 (Sensitivity Analysis of Material and Process Variables Affecting on the Stamping Formability)

  • 김영석;박기철
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제20권7호
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    • pp.2246-2256
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    • 1996
  • To investigate the effect of material and precess variables on stamping formability of sheet materials, simulations for the cup drawing and the Yoshida buckling test were carried out using ABAQUS, commercial nonlinear finite element analysis code. The various factor effects on stamping formability of sheet materials were analyzed by the designed process according to Taguch's orthogonal array experiment. Cup drawing simulation showed that local neckling was very sensitive to plastic anisotropy parameter of sheet material and friction coefficient between sheet and tool interface. Simulations for the Yoshida buckling test have clarified that buckling behaviour of sheet material was mostly susceptible to yield stress and sheet thickness mostly. However, plastic anisotropy parameter and strain hardening coefficient affect moderately buckling behaviour of steel sheets after the buckling initiation.

연마재 투입형 워터젯 시스템의 공정 변수에 따른 연마재 투입량 변화 (Variation of abrasive feed rate with abrasive injection waterjet system process parameters)

  • 주건욱;오태민;김학성;조계춘
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제17권2호
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    • pp.141-151
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    • 2015
  • 터널굴착의 효율성 증진 및 굴착시 발생하는 진동 저감을 위해 연마재 투입형 워터젯 시스템을 이용한 새로운 형태의 암반 굴착 방식이 개발되어 적용 중에 있다. 연마재 투입형 워터젯 시스템을 이용한 암반 굴착 방식에 있어서, 적절한 양의 연마재를 투입하는 것은 절삭 성능뿐만 아니라 전체 공정의 경제성 향상을 위해서도 매우 중요하다. 본 연구에서는, 다양한 공정 변수들 중 터널 굴착용 워터젯 시스템에서 특히 중요한 공정 변수들인 기하학적 변수(연마재 탱크(또는 호퍼) 높이, 연마재 투입관의 구배, 연마재 투입관의 길이, 연마재 투입관의 굴곡도), 연마재 변수(연마재 입자 크기), 젯 에너지 변수(수압, 유량)이 연마재 투입량 및 연마재가 믹싱 챔버 내로 흡입될 때 발생하는 흡입 압력에 미치는 영향을 규명하기 위하여 다양한 조건에서 실험을 수행하고 그 결과를 분석하였다. 또한, 실험적 연구를 통하여 연마재 투입량이 절삭 성능에 미치는 영향을 논의하였다. 본 연구 결과를 바탕으로 주요 공정 변수들을 조절하여 적절한 연마재 투입량을 유지하면 터널 굴착용 워터젯의 절삭 성능을 극대화할 수 있을 것으로 기대된다.

이상진단 성능에 미치는 변수선택과 추정방법의 영향 (Effect of Different Variable Selection and Estimation Methods on Performance of Fault Diagnosis)

  • 조현우
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제20권9호
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    • pp.551-557
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    • 2019
  • 생산 공정에서 발생하는 비정상적인 이상 (fault)의 진단 (diagnosis)은 고품질의 제품을 생산함에 있어 필수적이라 할 수 있다. 회분식 공정 (batch process)과 같이 부가가치가 큰 반도체나 의약품 등의 첨단 제품을 생산하는 공정에서는 더욱 실시간 진단의 역할이 커지고 있다. 본 연구에서는 회분식 공정으로부터 얻은 측정 데이터와 비선형 분류(nonlinear classification)에 기초한 실시간 이상 진단 체계에 있어서 변수선택과 미래값 추정 기법이 진단 성능에 미치는 영향을 평가한다. 공정 변수 중 진단에 필수적이며 기여도가 높은 변수만을 선택하여 진단 모델 (diagnosis model)을 구성함으로써 진단 성능의 향상을 기대할 수 있다. 본 연구에서는 여러 변수선택 (variable selection) 기법들의 진단 성능을 비교 평가한다. 또한, 현재 진행 중인 회분식 조업 데이터는 종료되기 이전에는 진단에 필요한 전체 데이터를 얻을 수 없으므로 현재 시점에서 측정되지 못한 미래 측정값 (future observations)이 추정되어야 한다. 미래값 추정방법들의 선택이 변수선택과 분류기반 진단 관점에서 진단 성능에 어떻게 영향을 주는지 평가한다. 폴리염화비닐 회분식 공정에 대한 사례 연구를 수행하여 최적의 변수선택과 미래값 추정방법을 도출하였다. 변수선택 방법에 따라 최대 21.9%와 13.3%의 성능 향상을 보였으며 미래값 추정방법에 따라서는 최대 25.8%와 15.2% 향상됨을 알 수 있었다.

폴리설폰 중공사막에 의한 부식산 제거공정의 최적화 (The Optimization of Removal Process of Humic Acid by Polysulfone Hollow-fiber Membrane)

  • 송근호;이광래;이찬기
    • 대한환경공학회지
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    • 제22권7호
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    • pp.1273-1284
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    • 2000
  • 본 연구에서는 한외여과막을 이용하여 수중에 함유되어 있는 부식산의 제거실험을 수행하였다. 한외여과성능에 미치는 공정변수들의 영향이 비선형적으로 서로 얽혀 있기 때문에, 응답표면분석법(RSM)을 이용하여 분리막 공정의 최적화와 각 변수간의 상호관계 및 투과성능에 영향을 미치는 공정변수(압력, 농도, 유량 등)들이 분리성능에 미치는 영향을 분석하였다. 부식산용액의 공정변수에 대한 투과량의 변화는 유입용액의 부식산의 농도가 10ppm, 40ppm 70ppm으로 증가함에 따라 2.56, 2.27, $2.10({\times}10^{-2}cc/cm^2{\cdot}min)$으로 감소하였다. 즉, 순수한 물의 투과량에 비해 각각 17.7%, 26.7%, 32.2%만큼 감소하였으며, 투과부에서의 부식산농도는 0.5, 1.2ppm, 2.1ppm으로 증가하였다. 막내에서의 압력차를 1atm, 2atm, 3atm으로 변화하였을 때, 1atm에서의 투과량보다 각각 66%, 152%로 증가하였으며, 투과부에서의 부식산의 농도도 각각 0.5ppm, 1.5ppm, 3.5ppm으로 증가하였다. 응답표면분석(RSM)에 의하면 공정변수의 최적운전조건은 유입부식산농도 38.8~40ppm, 유입유량 30~30.7cc/min, 압력차는 2atm이었다.

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폴리수폰 중공사막에 의한 산소농축 및 공정변수의 영향 (Enrichment of Oxygen and process engineering aspects using polysulfone hollowfiber membrane)

  • 조정식;김종수;이광래
    • 한국막학회:학술대회논문집
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    • 한국막학회 1997년도 추계 총회 및 학술발표회
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    • pp.65-66
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    • 1997
  • 1. 서론 : 현재의 막분리 기술로는 단 단계 분리공정(single-stage separation)으로 약 40%의 산소농축공기(oxygen-enriched air)를 얻을 수 밖에 없지만 심냉법(cryogenic techniques)보다는 에너지 소비율이 적으며, 공정이 비교적 간단하기 때문에 용도에 따라 순 산소를 꼭 필요로 하지 않는 제철소, 발전소 등의 연소분야, 호흡기 환자를 위한 의료분야, 생물공학이나 항공기 분야 등에 편리하게 이용될 수 있다. 이와 같이 용도가 다양한 산소를 분리막을 이용하여 보다 편리하고 값싸게 얻기 위해서는 산소와 질소의 막투과에 대한 새로운 지식을 얻고 막투과가 기체의 어떤 성질에 지배되고 있는가를 조사할 필요가 있다. 본 연구에서는 고무상 고분자막(rubbery polymer membrane)에 대한 산소/질소의 수착특성과 순수한 기체의 투과율(permeation rate)을 기초로 하여 혼합기체의 투과율, 분리인자(separation factor), 막분리 공정변수에 의한 중공사 분리막에서의 기체분리특성에 대하여 연구하였다.

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브라운가스를 이용한 유리접합법에 관한 연구 (A Study on the Glass Sealing for a Brown Gas Heat Source)

  • 이종곤;이종선;전의식
    • 한국산학기술학회:학술대회논문집
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    • 한국산학기술학회 2008년도 추계학술발표논문집
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    • pp.439-441
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    • 2008
  • LCD, PDP 공정에서 사용하는 유리접합법은 유리용 본드를 사용하는 방법을 사용하고 있다. 그러나 접합부의 내구성 증대 및 경제성을 고려하기 위한 유리접합 방법의 고안이 필요하다. 본 논문에서는 전기로 안에서 유리용접을 수행하기 위한 공정변수를 실험적으로 도출하여 유리를 접합하는 방안을 제시하고자 한다. 이를 위하여 유리용접에 필요한 이송기와 유리용접 전기로, 브라운 가스 발생기, 브라운 가스 토치를 사용하였으며, 유리용접 공정변수인 토치의 이송속도, 전기로의 공정온도, 토치와 유리모재사이의 거리를 측정하여 분석하였다.

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