• 제목/요약/키워드: 공급 모듈

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수치 모델을 이용한 TSV 스퍼터링 장비의 특성 해석 (Characterization of a TSV sputtering equipment by numerical modeling)

  • 주정훈
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.46-46
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    • 2018
  • 메모리 소자의 수요가 데스크톱 컴퓨터의 정체와 모바일 기기의 폭발적인 증가로 NAND flash 메모리의 고집적화로 이어져서 3차원 집적 기술의 고도화가 중요한 요소가 되고 있다. 1 mm 정도의 얇은 웨이퍼 상에 만들어지는 메모리 소자는 실제 두께는 몇 마이크로미터 되지 않는다. 수직방향으로 여러 장의 웨이퍼를 연결하면 폭 방향으로 이미 거의 한계에 도달해있는 크기 축소(shrinking) 기술에 의지 하지 않고서도 메모리 소자의 용량을 증대 시킬 수 있다. CPU, AP등의 논리 연산 소자의 경우에는 발열 문제로 3D stacking 기술의 구현이 쉽지 않지만 메모리 소자의 경우에는 저 전력화를 통해서 실용화가 시작되었다. 스마트폰, 휴대용 보조 저장 매체(USB memory, SSD)등에 수 십 GB의 용량이 보편적인 현재, FEOL, BEOL 기술을 모두 가지고 있는 국내의 반도체 소자 업체들은 자연스럽게 TSV 기술과 이에 필요한 장비의 개발에 관심을 가지게 되었다. 특히 이 중 TSV용 스퍼터링 장치는 transistor의 main contact 공정에 전 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 글로벌 업체의 경우에도 완전히 만족스러운 장비를 공급하지는 못하고 있는 상태여서 연구 개발의 적절한 시기이다. 기본 개념은 일반적인 마그네트론 스퍼터링이 중성 입자를 타겟 표면에서 발생시키는데 이를 다시 추가적인 전력 공급으로 전자 - 중성 충돌로 인한 이온화 과정을 추가하고 여기서 발생된 타겟 이온들을 웨이퍼의 표면에 최대한 수직 방향으로 입사시키려는 노력이 핵심이다. 본 발표에서는 고전력 이온화 스퍼터링 시스템의 자기장 해석, 냉각 효율 해석, 멀티 모듈 회전 자석 음극에 대한 동역학적 분석 결과를 발표한다. 그림1에는 이중 회전 모듈에 대한 다물체 동역학 해석을 Adams s/w package로 해석하기 위하여 작성한 모델이고 그림2는 180도 회전한 서브 모듈의 위상이 음극 냉각에 미치는 효과를 CFD-ACE+로 유동 해석한 결과를 나타내고 있다.

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달착륙선의 전력시스템 개념설계와 지상시험모델용 추력기 밸브구동 전원장치 개발

  • 장성수;주광혁
    • 천문학회보
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    • 제37권2호
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    • pp.196.2-196.2
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    • 2012
  • 본 논문은 달착륙선의 개념설계를 위하여 고려한 전력시스템의 설계와 달착륙선의 지상시험모델용 추력기 밸브구동 전원장치 개발에 대해 기술하였다. 달착륙선의 임무특성을 고려하여 전력시스템의 구조를 검토하고, 극한의 온도환경에서 달착륙선의 임무수행을 위하여 필요한 전력에너지를 충분히 공급할 수 있도록 태양전지 배열기와 배터리의 용량, 그리고 전장품의 용량을 설계하였다. 특히 경량의 달착륙선 개발을 위하여 고효율의 태양전지를 이용한 태양전지 배열기와 리튬-이온 배터리를 검토하였다. 극한의 우주환경에서 태양전지배열기의 동작특성을 검토하고 생성될 수 있는 최대 전력을 분석하여 최적의 태양전지 배열기의 면적을 분석하고, 장시간의 월식을 고려하여 배터리의 방전특성에 따른 배터리의 전압특성을 검토하였다. 그리고 달착륙선의 전력시스템 개념설계의 타당성 검토를 위하여 유럽에서 개념설계 중인 달착륙선의 전력시스템 사양과 용량에 대해 비교검토를 수행하였다. 현재 개발중인 지상검증모델용 달착륙선의 전력시스템 설계와 추력기 밸브구동 전원장치의 개발에 관해 기술하였다. 지상검증용 전력시스템은 태양전지배열기의 장착 없이 배터리의 전력만을 사용하여 지상검증모델용 달착륙선의 부하에 전력을 공급할 수 있도록 설계되었다. 달착륙선 지상시험모델의 비행시간과 임무에 따른 부하특성을 고려하여 상용 리튬-이온 배터리의 용량을 선정하였으며, 부하의 전력을 고려하여 간단한 보호회로를 설계하였다. 그리고 지상검증용 전원시스템은 추력기의 밸브구동을 위한 추력기 밸브구동 전원장치, DC/DC 컨버터 전원 모듈, 모니터링 모듈, 그리고 위급상황에서 전원을 차단하기 위한 "Emergency STOP" 모듈로 구성되어 있다.

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CDI 모듈 설계와 전산유동해석 (The Capacitive Deionization Module Design and Its Analysis by Computational Flow Dynamics)

  • 남기진;임지원
    • 멤브레인
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    • 제29권5호
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    • pp.284-291
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    • 2019
  • 본 연구에서는 대면적을 지니는 CDI 모듈의 흐름 향상을 위하여 유체가 들어가는 유입구로부터 면적이 증가하는 직사각형 형태의 유로를 설계하였다. 이를 바탕으로 설계된 모듈 형태에 대해 공급수의 흐름성과 사영역의 유무를 파악하였고 CFD 전산 유체 역학 프로그램을 통해 유로 내의 내부 압력, 유선 그리고 속도 벡터 분포를 분석하였으며 실제 흐름 관측과 CFD 프로그램을 비교 분석하였다. 실험 결과 모든 유속 10, 20, 30 mL/min에서 유로 내 사영역이 거의 발생하지 않았으며 공급수의 흐름성도 일정하게 유지되어 추후 대면적을 가지는 CDI 공정에 적용이 가능할 것이라 판단된다.

정지궤도 위성용 전력공급 모듈의 버스 전압 안정화를 위한 최적동작 제어에 관한 연구 (A Study on Adaptive Operation Control to Stabilize bus Voltage of GEO Satellite Power Supply Module)

  • 안태영;최현수
    • 전자공학회논문지
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    • 제53권2호
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    • pp.123-129
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    • 2016
  • 본 논문에서는 PCU(Power Control Unit)의 성능을 최적화 시킬 수 있는 동작모드를 제안하고 제작하여 그 결과를 보고 하였다. 특히 세 개의 기능별 모듈이 최적의 동작 상태를 유지할 수 있도록 버스의 전압과 연동되게 제어회로를 구성하여 동작 우선순위를 정하고 필요에 따라 자동적으로 동작하도록 최적 동작 제어 방식을 제안하였다. PCU는 태양광 전력을 부하와 연결된 버스에 정전압으로 변환시키는 S3R(Sequential Switching Shunt Regulator)과 보조 에너지 저장장치인 배터리에 잉여 전력을 저장하는 BCR(Battery Charge Regulator) 및 배터리에 충전되어 있던 전력을 부하에 공급하는 BDR(Battery Discharge Regulator)로 구성되어 있다. 세 개의 전력변환 모듈은 위성용 전원장치의 특성상 높은 신뢰성을 유지하기 위해서 각각의 모듈이 병렬로 동작하며, 특히 각 모듈의 기능이 최적의 상태를 유지하기 위해서 안정된 버스 전압이 상시 유지되어야 한다.

마이크로 연료전지용 강제 호흡형 공기 공급 모듈에 관한 연구 (A Study on Forced Aspirating Air Supplying Module for Micro Fuel Cell)

  • 황준영;윤효진;이상호;강희석;강경태
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.49-52
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    • 2008
  • The present study conducts a series of experiments to develop a novel air supplying module for a micro fuel cell using piezoelectric linear actuator. An intermittently and operating air breathing module with reciprocating motion of the linear actuator has been suggested in the present study. A test bench for a micro fuel cell system has been constructed to estimate performance of the active fuel cell system using the air supplying module. With the stroke and operating duty as main control parameters, the optimal operating method of the air supplying module has been discussed.

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모드 유지 알고리즘이 적용된 직류 배전용 ESS의 모듈형 운전 제어 기법 (Modular control method of ESS for DC grid with keeping mode algorithm)

  • 김동욱;김범준;김성훈;박정민;원충연
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2019년도 추계학술대회
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    • pp.218-219
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    • 2019
  • 본 논문은 모드 유지 알고리즘이 적용된 직류 배전용 에너지 저장 장치(Energy Storage System, ESS)의 모듈형 운전 제어 기법에 관해 제안한다. 모드 유지 알고리즘은 설정된 방전 깊이(Depth of Discharge, DoD) 내에서 계통의 전력 수요 및 공급의 변화가 생긴 경우에 수시로 변화하는 충/방전 모드의 변경을 제한하는 알고리즘이다. 이를 통해 ESS의 가용 용량을 최대한 사용 가능하며, 계통의 전력 공급 및 부하 수요에 따라 계통의 동작 상태를 결정할 때 도움을 줄 수 있다. 제안한 알고리즘은 PSIM 시뮬레이션을 통해 검증하였다.

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Java Servlet 기술을 이용한 Smart Grid DataBase 개발 (Development of Smart Grid DataBase Using Java Servlet Technology)

  • 표성배;김민기;박대우
    • 한국컴퓨터정보학회:학술대회논문집
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    • 한국컴퓨터정보학회 2011년도 제44차 하계학술발표논문집 19권2호
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    • pp.217-219
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    • 2011
  • Smart Grid를 위해서 전기의 끊김없는 공급과 안전한 전기사용이 중요하다. Smart Grid에 사용되는 전기IT기기의 성능평가와 인증을 받기 위해서는 모듈 기준값, 모듈 성능값, 제품별 기능, 실험장비, 허용오차 등 실험 DataBase가 발생한다. 전기IT기기는, 기존의 존기기기에 IT와 통신기능을 융합하여 전기의 공급과 안전성을 강화시킨 제품이다. 본 논문에서는 Smart Grid DataBase 개발을 위한 전기IT기기들을 안전하게 관리하고, IT와 통신을 통한 인터넷 웹브라우저에서 접속할 수 있는 Java Servlet 기술을 이용한, 전기IT기기에 대한 평가기관 및 인증기관이 실시간으로 평가와 인증 자료를 관리 할 수 있도록 한다.

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세라믹 발열체기반 비저장식 순간 전기 온수기 개발 및 검증 (Design and Verification of Ceramic Heating Element-based Tankless Instant Electric Water Heater)

  • 안성수;김우현
    • 전자공학회논문지
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    • 제53권11호
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    • pp.151-159
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    • 2016
  • 본 논문에서는 다량의 온수가 필요하지 않는 세면을 목적으로 개발된 세라믹 발열체 기반 비저장식 순간 전기온수기를 제안한다. 입력되는 물을 가열하여 온수로 출수시키는 히팅모듈은 유량센서를 이용하여 입력되는 물을 감지하고 세라믹 히팅 모듈을 동작시킨다. 히팅 모듈 내부는 분당 1.5리터로 입수되는 물의 온도 대비 약 $15^{\circ}C$정도로 가열된 온수로 입수 2초 내에 출수시키기 위해 1 path 유로로 설계하였고 또한 설계의 타당성을 검증하기 위해 히팅모듈 내부 물의 흐름과 온도변화에 대한 열유동해석을 수행하였다. 기본 설계를 기초로 내부에 막대형 세라믹 발열체 1개가 내장된 히팅모듈을 제작하였다. 히팅모듈 제작 후 3단계로 온도 세팅 기능을 가지는 온수기 시제품을 제작하였다. 제작된 시제품을 분당 1.5리터의 물을 공급하는 상수도관에 연결하고 출수되는 물의 온도 및 시간을 측정한 실험에서 물 공급 후 2초 후에 온수기 3단 기준으로 공급되는 물 온도 대비 $18.3^{\circ}C$로 가열된 온수를 출수할 수 있음을 확인하였다. 그리고 대기전력 1w 미만, 순간 전력도 일반가정에서의 허용범위를 넘지 않는다. 성능 측정 결과들을 통해 제안된 비저장식 순간 전기온수기가 겨울철 세면용으로 가정, 고속도로휴게소, 공장 등의 세면대에 적용이 가능함을 확인하였다.

인공위성 추진시스템 모듈 브라켓의 구조해석 (Structural Analysis of Satellite Propulsion System Module Bracket)

  • 이균호;김정수
    • 한국항공우주학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.89-95
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    • 2003
  • 현재 개발중인 인공위성의 추진시스템은 크게 추진제 탱크 및 4개의 주요모듈로 구성되어 있다. 각 주요 모듈은 위성체 자세제어에 필요한 펄스 모멘텀, 추진제와 가압제의 공급/배출, 추진제 여과, 그리고 위성체 비상상태에서늬 유로변경 기능 들을 각각 제공한다. 이러한 주요 모듈들은 각각의 지지용 브라켓에 의해 추진시스템의 플랫폼에 장착되는데 모든 발사 환경 및 궤도상에서 주요 모듈들이 정상적으로 작동할 수 있도록 각 브라켓의 설계가 적절하게 이루어져야 한다. 본 논문에서는 주요 모듈의 지지용 브라켓들에 대해 유한요소해석(FEM)을 이용한 구조해석을 수행함으로써 규정된 설계 요구조건을 만족하는지 확인하였고 이를 통해 브라켓들의 구조적 안전성을 검증하였다.

자동차 부품산업의 공간적 재구조화와 입지 패턴 변화 (The Spatial Restructuring and Changes of Locational Pattern of Auto Parts Industry in Korea)

  • 김태환
    • 대한지리학회지
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    • 제42권3호
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    • pp.434-452
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    • 2007
  • 경제의 글로벌화에 따른 자동차 부품산업의 구조 재편과정에서 경쟁력 강화를 위한 기업의 입지선택과 공간조직은 더욱 중요해졌다. 완성차 업체의 인수 합병으로 촉발된 부품업체의 변화는 거래선 다변화와 부품 생산의 모듈화를 중심으로 진행되었다. 이에 따른 부품업체의 입지변화와 생산조직의 공간적 특성은 다음과 같다. 첫째, 전국적인 스케일에서 보면, 수도권 남부 및 충청권 북부지역에서 부품업체의 수가 증가였고, 현대차는 수도권에서, 기아차는 동남권에서 부품공급 거래가 확대되었다. 둘째, 완성차 공장을 중심으로 보면, 전속거래업체는 완성차 공장과 근접경향을 나타내고 있으며, 복수(네트워크)거래 업체들은 분산경향을 나타내고 있다. 또한 부품공급체계에 있어서 JIT(Just In Time, 적기공급)보다 더욱 세밀해진 JIS(Just In Sequence, 동기서열공급)체계를 확인할 수 있었다. 셋째, 사례연구를 통해 부품업체의 전략적 입지선정과정을 살펴볼 수 있었으며, 완성차 업체의 외부화 경향과는 반대로 규모의 경제를 위한 내부화 경향이 현저하게 나타났다.