• 제목/요약/키워드: 고온영역

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내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) system에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향

  • 김경남;이영준;경세진;염근영
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.3-3
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    • 2003
  • 고밀도 플라즈마를 생산할 수 있는 대면적용 플라즈마 소스의 개발은 미세전자구조 산업에서부터 FPD 산업에 이르기까지 많은 영역에 걸쳐 필수 불가결한 기술요소가 되어가고 있 다. 이러한 대면적용 고밀도 플라즈마에의 적용을 위하여 새로운 유도결합형 플라즈마 소오스의 개발이 진행되고 있으며, 차세대 반도체 식각 및 세정 공정을 위하여 여러 형태의 안 테나가 연구되어지고 있다. 그러나 TFT -LCD에 적용이 가능하게끔 기존의 ICP 소오스를 직 접적으로 대면적화 하는 데에는 여러 가지 문제점들로 인해 그 한계점이 들어났다. 그 예로 안테나의 길이가 길어짐에 따른 안테나 저항 값이 커지며, 안테나 소스 길이자체가 사용하는 인가전력(13.56MHz)의 반파장에 해당되는 길이가 되었을 경우 생기는 심각한 정상파 효과, 유전물질의 두께 증가 및 그에 따른 재료비의 상승 및 관리상의 어려움들이 바로 그것 이라 할 수 있겠다. 그러므로, 본 연구에서는 차세대 TFT -LCD 대면적 공정에 적용 가능한 고밀도 플라즈마 를 발생시키기 위해서 내장형 유도결합형 선혈 안테나를 사용하였다. 내장형 유도결합형 선 혈 안테나가 가지고 있는 고유의 정전기적 결합효과를 최소화시키기 위해 직사각형모앙의 플라즈마 댐버(830mm*1,020mm)에서 영구자석을 사용하여 multi-cusp 자장효과 및 다양 한 자장의 배열에 따른 플라즈마 특성변화를 살펴보았다. 영구자석을 사용하여 외부자장을 인가하였을 때가, 그럴지 않은 때보다 RF 안테나 코일의 전압을 낮춰주었으며, 영구자석의 배열에 따라 코일의 인덕턴스의 값이 크게 변함을 알 수 있었다. 그리고 최적화된 자장의 배열은 플라즈마의 이온밀도를 증가시켰으며, 플라즈마의 균일도도 10% 이내로 유지됨을 알 수 있었다. 또한 영구자석에 의한 자장의 유무 및 공정압력과 인가전력에 따른 P Photoresist Film의 식각특성에 관해 살펴보았다.증을 위한 실험.측정장비의 구입 및 업계와의 공동활용, 국내.외 최신기술 정보자료의 수집과 신속제공, 국내.외 전문가 초청 활 용, 미래 지향적 목적활용 기초연구사업 수행, 미래기술 동향예측 및 홍보 등을 통해 서 국내 도금기술의 기술자립 및 고도화를 위한 여건마련을 위하여 노력하고 있다.빛 이때의 부식속도(선형분극법), 인위적인 피막 파괴 전,후 의 전위 변화 및 부식속도 측정법에 의한 국부부식 발달 저지능 등을 평가하여 각 실험결과를 비교분석하여 보았다. 수록 민감하여 304 의 IGSCC 와 매우 유사한 거동을 보인다. 본 강연에서는 304 와 600 의 고온 물에서 일어나는 IGSCC 민감도에 미치는 환경, 예민화처리, 합금원소의 영향을 고찰하고 이에 대한 최근의 연구 동향과 방식 방법을 다룬다.다.의 목적과 지식)보다 미학적 경험에 주는 영향이 큰 것으로 나타났으며, 모든 사람들에게 비슷한 미학적 경험을 발생시키는 것 이 밝혀졌다. 다시 말하면 모든 사람들은 그들의 문화적인 국적과 사회적 인 직업의 차이, 목적의 차이, 또한 환경의 의미의 차이에 상관없이 아름다 운 경관(High-beauty landscape)을 주거지나 나들이 장소로서 선호했으며, 아름답다고 평가했다. 반면에, 사람들이 갖고 있는 문화의 차이, 직업의 차 이, 목적의 차이, 그리고 환경의 의미의 차이에 따라 경관의 미학적 평가가 달라진 것으로 나타났다.corner$적 의도에 의한 경관구성의 일면을 확인할수 있지만 엄밀히 생각하여 보면 이러한 예의 경우도 최락의 총체적인 외형은 마찬가지로 $\ulcorner$순응$\lrcorner$의 범위를 벗어나지 않는다. 그렇기 때문에도 $\ulcorner$순응$\lrcorner$$\ulcorner$표현$\lrcorner$

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졸-겔 방법으로 합성된 TiO2 상안정성에 대한 pH 및 열처리 온도의 영향 (Phase stability of TiO2 synthesized by Sol-gel Method at various pH and calcination temperatures)

  • 이재연;김용진;김대성;신효순;남산;전명표
    • 한국결정성장학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.166-173
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    • 2021
  • TiO2의 rutile 상은 anatase 상에 비해서 고온에서 안정한 상을 형성하지만 anatase의 안정한 온도 영역은 합성조건에 따라 변화된다. 본 연구에서는 TiOSO4와 에탄올과 증류수의 혼합용매를 사용하여 Sol-gel법으로 나노 사이즈의 TiO2를 합성하여 pH 및 열처리 온도를 따른 anatase와 rutile의 상변화에 대하여 조사하였다. 제조한 TiO2의 pH(3, 5, 7, 9)와 열처리 온도(500, 600, 700, 800, 900℃) 조건을 변화시켜 anatase와 rutile의 비율 변화를 관찰하였다. XRD, FE-SEM 분석을 통해 이와 같은 변화를 관찰한 결과, 500℃에서는 anatase TiO2, 900℃에서는 rutile TiO2가 관찰되었다. 이 중간 온도인 600, 700, 800℃에서는 pH에 따라 anatase와 rutile의 비율이 변화한다. 700℃를 기준으로 pH = 3, 5는 anatase TiO2의 비율이 더 크고, pH = 7, 9는 rutile TiO2의 비율이 더 크다는 결론을 얻었다.

압축하중 및 전계 인가에 따른 PIN-PMN-PT 단결정의 33-모드 유전 및 압전특성 (The 33-mode Dielectric and Piezoelectric Properties of PIN-PMN-PT Single Crystal under Stress and Electric Field)

  • 임재광;박재환;이정호;이상구
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제27권4호
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    • pp.91-96
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    • 2020
  • Pb(In1/2Nb1/2)O3-Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3계 압전 단결정의 유전특성과 압전특성을 전계 및 압축응력 인가 조건 하에서 33-모드 방식으로 측정하였다. 110~140℃ 영역에서 저온 rhombohedral 구조에서 고온 tetragonal 구조로의 상전이가 관찰되었으며, cubic 구조로 변화하는 큐리온도는 165℃ 정도로 나타났다. 압축응력 및 전계 변화에 따른 분극의 크기변화를 측정하였다. 전계인가 분극 곡선의 기울기로부터 비유전율을 계산하였고, 인가되는 응력의 크기가 증가할수록 계산된 비유전율의 크기는 증가하고, 인가되는 전계의 크기가 증가할수록 비유전율의 크기는 감소하는 경향성을 나타내었다. 압축응력 및 전계 변화에 따른 변위 거동을 측정하였으며, 곡선의 기울기로부터 압전상수를 계산하였고 압력인가에 따른 상전이를 확인하였다. 수중 또는 의료용 초음파 발진자로 실제 응용할 경우 선형성을 유지하여 구동이 가능하기 위하여 소자 기구물을 형성하는 단계에서 인가하게 되는 압축응력의 크기와 구동 전계의 DC 바이어스의 크기를 적절하게 설계할 필요가 있다.

한국의 하추잠작 안정을 위한 환경요인에 관한 연구 (Studies on the Environmental Factors Affecting the Cocoon Crops in Summer and Autumn in Korea)

  • 이상풍
    • 한국잠사곤충학회지
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    • 제16권2호
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    • pp.1-34
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    • 1974
  • 우리나라의 다회육 육잠체계를 확립하기 위해서 하추잠작을 안정시키기 위한 각종 요인 및 동요인이 실용형질에 미치는 경향을 구명코저 실시한 수개시험중 사육시기별 잠작에 관한 시험에서는 우선 우리나라에서 3회육 이상의 다회육을 할 경우 사육시기별 잠작의 정도를 구명코저 연간 11기를 4개장소, 3개년에 걸처 실시하였고, 결과에서 하추잠작이 불량했던 원인을 알고저 실시한 양잠농가의 추잠작 불안정 요인시험에서는 우리나라 전형적인 양잠농가로 추정되는 19호에 대한 주재 관찰조사 및 실험분석을 통한 실제의 불작요인을 조사하였다. 동조사에서 지적된 불작요인을 개선할 경우의 효과를 알고저 실시한 육잠기술 지도효과에서는 춘추 연40개 농가에게 불작요인을 개선 지도하였을 때 얻어지는 지도효과를 지도전년, 지도당년, 지도후년, 육잠기술 상, 하위 농가 및 춘추별로 인근 춘추 연758농가를 대조로 비교분석 하였다. 이상에서 간제되는 상엽질의 계절적 변화 추이를 알고저 시기별로 채취한 상엽분말을 동일시기 인공사료육을 통해서 양부의 판정을 시도하였고 이상에서 가장 큰 문제점으로 대두된 영양 및 온도조건이 하, 초추잠작에 있어서 누에 계량형질에 미치는 정도를 알고저 하잠시험에서는 치, 장잠별 엽질과 온도 등 4개요인을 하, 초추잠시기의 양부조건 2개수준(2$^4$), 초추잠시험에서는 하잠과 같은 4개요인에 변온 혹은 경엽구 1개수준을 추가한 3개수준(3$^4$)의 요인시험으로 실시했다. 이상에서 얻어진 시험들의 결과를 종합 요약하면 다음과 같다. 1. 사육시기별 잠작에 관한 시험 1)잠작의 일반적 경향은 춘잠은 소잠이 빠를수곡 양호하였으며 추잠은 관행소잠시기를 정점으로 하여 그 시기로부터 빠르거나 늦어질수록 점차로 불량하나, 빠를수록 급격하게 불량하다. 2) 우리나라의 잠기별 잠작은 춘(1~4기), 추(7~10기), 만추(11기), 하(5기) 초추(6기)잠 순으로 불량하였다. 3) 잠작과 영역접배를 고려한 다회 보통육은 1, 3, 8, 10기 등 4회육이 적합하고 조상 4회육은 10기 대신에 11기 대치로 무난하다. 2. 양잠농가의 추잠작 불안정 요인시험 1) 양잠농가의 수견량을 지배한 치명적인 요인은 잠실 잠구의 소독불충분에 의한 병원축적이며 2) 이차적 요인은 사육온습도 관리불량, 배게치기, 적숙엽 선정기술 불량 및 결상총과소 등이며 잠작과 경영구 요소는 관련이 없는것 같다. 3) 견층비율에는 뽕의 엽질이 가장 크게 영향되고, 다음으로 통원누적으로 인한 누에의 건강도에 영향한 것 같다. 3. 육잠기술 지도효과 1) 지도농가의 상자당 수견량 춘잠기 32.3kg, 추잠기 25.8kg으로서 대조 농가보다 각각 20%, 35%가 증수되어 연평균 29.0kg으로서 26%의 증수를 실증하였다. 2) 지도농가의 3등견 이상의 고치는 춘잠기 77.1%, 추잠기 83.7%로서 대조농가보다 각각 14.3%, 11.3%가 많았다. 3) 지도농가의 지도후년도의 상자당 수견중은 춘잠기 31.2kg, 추잠기 26.9kg, 연평균 28.9kg으로서 대조농가보다 각각 3%. 16%, 8%가 증수되였으므로 이는 기술지도의 잔류효과로 인정하였다. 4) 기술수준에 따른 잔류효과는 기술수준 상위농가는 0% 하위농가는 19%이었다. 4. 상엽질의 계절적 변화추이 1) 장잠기 상엽을 주재로 한 인공사료육의 결과는 춘> 만추≒하>추≒> 초추의 순으로 우수했다. 2) 치잠기 상엽을 주재로한 인공사료육의 결과는 춘, 만추, 추, 하, 초추 순위의 경향을 보였으나 유의차는 인정되지 않았다. 5. 하추잠작 흉작 요인시험 1) 초추잠 (1) 치잠기의 고온은 생존율과 수견량을 크게 감소케 한 요인이 었으며, (2) 장잠기의 온도는 고온순으로 생존율, 수견량 및 견질을 저해하였다. 따라서 장잠기의 적온유대가 양과 질의 양면에서 중요함이 인정되었다. (3) 치잠기 연엽과 경엽은 단견중을 다소 가볍게 하고 경과일수를 크게 연장케 하였으나 생존률, 수견량 및 견층중 등에는 영향을 미치지 않았다. (4) 장잠기의 경엽은 수량과 특히 견질을 크게 저해 하였으나 연엽, 경엽 모두 생존률에는 영향을 미치지 않았다. (5) 장잠기 온도를 변온으로 하였을 경우 치잠기 온도도 변온으로 한 것이 유리한 경향을 보였는바 평강한 문제는 금후 검토되어져야 할 것이다. 2)하 잠 (1) 치잠기의 고온은 수견량과 단견중을 크게 감소케하였으며 다음으로 생존율을 저해하였다. (2) 장잠기의 고온은 수견량, 생존율 및 견질을 크게 저해하였다.

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$CO_{2}$$CO_{2}-O_{2}$ 시스템에서 알카놀아민류 흡수제를 이용한 $CO_{2}$ 흡수 및 흡수제 열화 특성 (Characteristics of $CO_{2}$ Absorption and Degradation of Aqueous Alkanolamine Solutions in $CO_{2}$ and $CO_{2}-O_{2}$ System)

  • 최원준;이종섭;한근희;민병무
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제49권2호
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    • pp.256-262
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    • 2011
  • 아민 흡수 공정에서 아민은 $O_{2}$ 및 고온에 의해 비가역반응을 일으키며, 이러한 현상을 열화반응이라 한다. 열화반응은 아민의 가치를 떨어뜨릴 뿐만 아니라 부식, fouling과 같은 문제를 일으킨다. 따라서, 본 연구에서는 여러가지 화학흡수제(MEA; monoethanolamine, AMP; 2-amino-2-methyl-propanol, DAM; 1,8-diamino-p-menthane)를 이용하여 i) 50, $120^{\circ}C$에서의 흡수평형, ii) $CO_{2}$$CO_{2}/O_{2}$ 계에서 흡수제의 열화에 따른 농도변화 및 초기열화속도상수, iii) 산소 $(O_{2})$에 의한 열화 영향을 살펴보았다. DAM은 흡수영역에서 MEA와 AMP에 비해 400~270% 높은 흡수평형부하를 보이며, MEA나 AMP에 비해 흡수/재생영역에서 흡수평형부하가 커 흡수능이 우수하였다. $CO_{2}$계에서 DAM의 초기열화속도상수는 $2.254{\times}10^{-4}$ $cycle^{-1}$로 MEA와 AMP의 $2.761{\times}10^{-4}$ $cycle^{-1}$, $2.416{\times}10^{-4}cycle^{-1}$에 비해 작아 열화가 늦게 진행되며, $O_{2}$ 주입시 초기열화속도상수는 1.3배 증가하여 2배 증가한 MEA보다 열화 영향이 적었다. 이러한, 일련의 열화반응은 GC chromatogram에서 새로운 peak의 생성과 FT-IR spectrum 분석을 통하여 확인할 수 있었다.

단일 밴드 중적외선 영상으로부터 표면온도 추정을 위한 기초연구 (A Basic Study for the Retrieval of Surface Temperature from Single Channel Middle-infrared Images)

  • 박욱;이윤경;원중선;이승근;김종민
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.189-194
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    • 2008
  • [ $3{\sim}5{\mu}m$ ] 파장대의 중적외선 영상은 화산 활동이나 산불과 같이 고온 현상을 관측하는데 효과적이다. 그러나 중적외선 영역은 지표의 복사율과 대기의 영향으로 인한 변화가 매우 심하고, 특히 낮 영상의 경우 태양 복사량에 의한 영향도 고려해야 하는 어려움이 있다. 따라서 단일밴드인 중적외선 영상을 이용하여 표면온도를 얻기 위해서는 영상이 취득된 시간과 장소에서 관측된 태양 복사량 및 여러 가지 대기 변수가 필요하다. 이 연구는 기존의 다중밴드 기반의 중적외선 영상 활용방법과 달리 단일 밴드 중적외선 영상을 이용하여 표면온도 측정을 위한 기초연구에 그 목적이 있다. 이를 위하여 MODIS 영상을 대상으로 MODTRAN을 사용하여 중적외선 영역의 대기보정 기법을 적용 한 뒤 복사전달 모델을 이용하여 지표의 온도를 측정하였다. 획득된 온도 영상의 정밀도를 측정하기 위해 기존의 온도 알고리즘인 MODIS Sea Surface Temperature 알고리즘에 의해 얻어진 해수온도와 비교를 통하여 오차 원인에 대해 분석을 실시하였다. 두 결과의 온도차는 낮 영상의 경우 $0.89{\pm}0.54^{\circ}C$ 밤 영상의 경우 $1.25{\pm}0.41^{\circ}C$로 비교적 긍정적인 결과를 보였다. 그러나 낮 영상의 육지의 경우 대기에 의한 영향보다 태양빛의 반사가 주된 오차의 원인이 되며 이는 지표 복사율에 의한 영향이 매우 크게 작용하고 있음을 추정할 수 있다. 이 연구는 현재까지 해수에 대한 적용에 국한된 것으로 육상의 경우 복사율 변화가 매우 크기 때문에 중적외선 단일밴드에 의한 온도추정이 매우 어려울 것으로 예상된다.

간헐 압축응력 완화와 시간-온도 중첩 원리를 이용한 FKM 오링의 수명 예측 연구 (Life-time Prediction of a FKM O-ring using Intermittent Compression Stress Relaxation (CSR) and Time-temperature Superposition (TTS) Principle)

  • 이진혁;배종우;김정수;황태준;박성두;박성한;여태민;김원호;조남주
    • Elastomers and Composites
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    • 제45권4호
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    • pp.263-271
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    • 2010
  • 간헐 CSR 측정법을 이용하여 FKM 오링의 노화 거동과 수명 예측에 관하여 연구하였다. Intermittent CSR 지그는 오링의 실제 사용환경을 고려하여 설계 제작하였다. 각 측정 조건에 따른 마찰 영향, 열 손실 영향 및 Mullins 효과에 의한 간헐 CSR의 응력 거동 변화를 관찰하였다. 오링의 노화 거동은 $60{\sim}160^{\circ}C$에서의 가속 노화 연구를 통하여 관찰하였다. 고온 영역($100{\sim}160^{\circ}C$)에서 오링은 선형 노화 거동을 나타내었으며, 아레니우스 관계를 만족시켰다. 이때의 활성화 에너지는 60.2 kJ/mol로 나타났다. 아레니우스 도식으로 부터, 오링의 예측 수명은 고장 조건 50%와 40%에 대하여 각각 43.3 년과 69.6 년으로 나타났다. 시간-온도 중첩 원리를 이용하여 $60^{\circ}C$에서의 노화 거동을 관찰하였으며, 실험 시간을 절약 할 수 있었다. $60{\sim}100^{\circ}C$의 저온 영역에서의 활성화 에너지는 48.3 kJ/mol로 감소하였다. WLF(William-Landel-Ferry) 도식을 통하여 FKM 오링은 $100^{\circ}C$ 이하에서 비선형 노화 거동을 나타내는 것을 확인하였다. 시간-온도 중첩 원리로부터, FKM 오링의 수명은 고장 조건 50%와 40%에 대하여 각각 19.1년과 25.2년으로 나타났다. 시간-온도 중첩 원리를 이용하여 예측한 오링의 수명이 아레니우스 관계에 의한 수명 보다 보수적인 것으로 나타났다.

파종기 차이가 보리의 등숙과 등숙관련 형질에 미치는 영향 (Effects of Sowing Date on Grain Filling and Related Traits in Winter Barley)

  • 류용환;이창덕;하용웅
    • 한국작물학회지
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    • 제37권1호
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    • pp.93-103
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    • 1992
  • 보리의 등숙향상을 위하여 등숙효율을 높일 수 있는 형질을 선발하고 파종기를 달리 하였을 때의 등숙과정 및 등숙관련 형질들 간의 관련성을 검토하고자 특성이 상이한 보리품종인 올보리, 강보리 및 수원18호를 공시하여 시험한바 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 파종기 차이에 따른 구성 요소중 단립면적당 수수와 입중이 비교적 민감한 반응을 보였으며 만기파종에서 수량 감소가 컸다. 2. 등숙과정에서 조기와 적기파종은 출수후 20-30일 사이, 만기 파종은 출수후 1-20일 사이에서 종실의 축적량이 각각 1.03-1.94mg / grain/day과 0.88~1.88mg / grain / day 으로 가장 왕성하였으며 입중이 최대에 달하는 시기는 조기 및 적기파종에서는 출수후 40일, 만기파종은 출수후 30일경 이었다. 3. 출수이후 종실의 수석 일실량은 1.20-1.66%/day 범위로 만숙 품종과 만기파종에서 증가된 것으로 볼 때, 수분일신량과 등숙속도와는 상호밀접한 관계가 있었으며 등숙과정중 수분일실량이 가장 많은 시기는 출수후 25-30일 사이로 종실의 발육량이 최대에 이르는 시기와 일치하였다. 4. 종실의 전당 함량은 출수직후부터 직선적인 증가를 보이다가 출수후 20일을 기점으로 점차 감소됨에 동시에 전분함량은 등숙이 완료될 때까지 계속 증가되었는데 품종간에는 올보리, 강보리, 수원18호 순으로 높게 유지되었으나 파종기간에는 일정한 경향이 없었다. 5. 입중과 등숙기간과는 높은 정의 상관(r=0.767$^{**}$ )관계가 있었으나 등숙기간중의 일평균 온도(r=-0.548$^{**}$ ) 및 적산 온도(r=-0.595$^{**}$ )와는 유의한 상관관계가 인정되었다. 품종보다 노후화 속도가 느려 습윤ㆍ고온처리를 하였을 때도 하배축신장이 뚜렷하게 컸다.은 내한유채가 86.7%로 가장 높았으며, 기타(mono, di-glyceride 및 free fatty acid) 는 13.3~17.4%로 나타났다.로 빠른 시일에 집중적인 연구가 필요하다고 본다.다. 4. 저온저장(4$^{\circ}C$, RH 50%)한 벼는 2년반 저장한 벼도 밥맛의 변화가 거의 없었다. 5. 1988년산 및 1989년산 일반계를 10분도와 12분도로 도정하였을 때 도정도에 따른 밥맛의 차이는 없었다.X>$CoO_x$는 $Co_3O_4$로 존재하고, 반응 전의 경우에는 이와는 다른 chemical state를 보여주었다. XRD 및 XPS 결과를 바탕으로, 촉매표면에 존재하는 $Co_3O_4$의 외부표면이 $Co_2TiO_4$$CoTiO_3$ 같은 $CoTiO_x$로 encapsulation되어 있는 모델구조를 제안할 수 있고, 이는 반응시간의 함수로 나타나는 촉매활성에 있어서 전이영역의 존재를 잘 설명할 수 있을 뿐만 아니라, XRD와 XPS에서 얻어진 촉매의 물리화학적인 특성을 잘 반영할 수 있다. 나타냈고, 골격근과 눈 조직에서 피루브산에 대한 LDH의 친화력이 상당히 크므로 LDH가 혐기적 조건에서 효율적으로 기능을 하는 것으로 사료된다.5) and "Cleanliness of clothes & features" (p <0.05) of VIP ward were significantly higher than those of a general ward.tive to apply.아울러 고려(考慮)해야

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새로운 대기압 플라즈마 제트를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구 (Research of Heavily Selective Emitter Doping for Making Solar Cell by Using the New Atmospheric Plasma Jet)

  • 조이현;윤명수;손찬희;조태훈;김동해;서일원;노준형;전부일;김인태;최은하;조광섭;권기청
    • 한국진공학회지
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    • 제22권5호
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    • pp.238-244
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    • 2013
  • 태양전지 제조공정에서 열처리로 레이저를 사용하는 도핑공정은 태양전지의 성능을 결정짓는 중요한 요소이다. 그러나 퍼니스를 이용하는 공정에서는 선택적으로 고농도(Heavy) 도핑영역을 형성하기가 어렵다. 레이저를 사용한 선택적 도핑의 경우 고가의 레이저 장비가 요구되어지며, 레이저 도핑 후 고온의 에너지로 인한 웨이퍼의 구조적 손상 문제가 발생된다. 본 연구는 저가이면서 코로나 방전 구조의 대기압 플라즈마 소스를 제작하였고, 이를 통한 선택적 도핑에 관한 연구를 하였다. 대기압 플라즈마 제트는 Ar 가스를 주입하여 수십 kHz 주파수를 인가하여 플라즈마를 발생시키는 구조로 제작하였다. P-type 웨이퍼(Cz)에 인(P)이 shallow 도핑 된(120 Ohm/square) PSG (Phosphorus Silicate Glass)가 제거되지 않은 웨이퍼를 사용하였다. 대기압 플라즈마 도핑 공정 처리시간은 15 s와 30 s이며, 플라즈마 전류는 40 mA와 70 mA로 처리하였다. 웨이퍼의 도핑프로파일은 SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy)측정을 통하여 분석하였으며, 도핑프로파일로 전기적 특성인 면저항(sheet resistance)을 파악하였다. 도펀트로 사용된 PSG에 대기압 플라즈마 제트로 도핑공정을 처리한 결과 전류와 플라즈마 처리시간이 증가됨에 따라 도핑깊이가 깊어지고, 면저항이 향상하였다. 대기압 플라즈마 도핑 후 웨이퍼의 표면구조 손상파악을 위한 SEM (Scanning Electron Microscopy) 측정결과 도핑 전과 후 웨이퍼의 표면구조는 차이가 없음을 확인하였으며, 대기압 플라즈마 도핑 폭도 전류와 플라즈마 처리시간이 증가됨에 따라 증가하였다.

온실가루이 병원성 곰팡이의 특성 및 살충제 개발을 위한 평가 (Characterization of Entomopathogenic Fungus from Trialeurodes vaporariorum and Evaluation as Insecticide)

  • 윤휘건;신태영;유미라;이원우;고승현;배성민;최재방;우수동
    • 미생물학회지
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    • 제49권1호
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    • pp.64-70
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    • 2013
  • 온실가루이(Trialeurodes vaporariorum)는 온실에서의 경제적 주요 해충으로, 직접적으로는 작물을 흡즙 가해하여 영양분고갈로 작물을 고사시키고 간접적으로는 많은 식물바이러스를 매개한다. 이러한 온실가루이를 방제하기 위해 최근에 다양한 합성 농약을 사용하고 있지만, 농약의 오남용으로 인해 온실가루이 개체의 저항성이 높아지고 환경오염을 초래하는 문제가 있다. 그리하여 본 연구에서는 이러한 문제를 극복하고자 온실가루이 사충으로부터 분리된 곤충병원성 곰팡이의 생물학적 특성과 살충성을 조사하였다. 분리된 곤충병원성 곰팡이는 형태학적 조사와 ITS, ${\beta}$-tubulin, EF1-${\alpha}$ 영역의 염기서열을 이용한 분자생물학적 동정을 통하여 Isaria fumosorosea로 동정하였고, I. fumosorosea SDTv로 명명하였다. 그리고 I. fumosorosea SDTv의 온실가루이 약충에 대한 살충력과 포자의 고온, UV-B 안정성, 저온발아력에 대하여 조사 하였다. 살충력 검정은 실험실 조건에서 온실가루이 약충에 대하여 다양한 포자 농도($1{\times}10^5$ - $10^8$ conidia/ml)로 접종한 결과, 7일차에서 84-100%의 살충력을 보였으며 포자 농도가 증가할수록 살충력도 증가하는 양상을 나타내었다. 분리 균주의 포자는 $35^{\circ}C$에서 그리고 0.1 $J/cm^2$ UV-B 조사에 대하여 비교적 안정적이었으며, $4^{\circ}C$ 조건에서 8일차부터 발아하였다. 또한, I. fumosorosea SDTv의 배지에 따른 chitinases와 proteases의 생산 활성을 비교한 결과 배지에 따라 다른 효소 생산 양상을 보였다. 이상의 결과로 온실가루이에 대하여 높은 살충력을 보인 I. fumosorosea SDTv는 온실가루이에 대한 종합적 해충 방제 방법에 있어 효과적인 방제수단의 일환이 될 수 있을 것으로 기대된다.