• 한국자기학회지
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• 제12권6호
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• pp.224-230
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• 2002

직경 200mm의 실리콘 기판에 균일한 코발트 금속박막을 증착하는 DC-스퍼터 장비에서 공정변수는 증착온도, 증착압력, DC power로 하고 종속변수(response)는 면저항, 면저항 균일도로 하는 '||'&'||'quot;통계적 실험방법'||'&'||'quot;을 채택한 실험을 수행하여 Co 박막의 공정 특성에 대해 다음과 같은 결과를 얻었다 '||'&'||'quot;통계적 실험방법'||'&'||'quot;을 이용한 Co박막의 공정 특성을 조사하는 본 실험에서 면저항과 면저항 균일도는 0.05 이하의 significance수치. 낮은 RMS error, 0.91 이상의 R-sq수치로부터 실험의 우수한 신뢰성을 확인하였다. 면저항에 대한 공정변수의 영향성은 증착온도가 -1.83$\Omega$/$\square$의 감소효과, 증착압럭이 1.17$\Omega$/$\square$의 증가 효과. DC power가 -0.65$\Omega$/$\square$의 감소 효과로 실험 구간에서 일정한 경향의 영향성을 보였으며, 면저항 균일도에서는 증착온도에 의해 $25^{\circ}C$~147$^{\circ}C$에서 -4.04%의 감소로 증착온도에 가장 민감함을 확인하였다. Co 박막의 최적 증착 조건은 증착온도 $25^{\circ}C$, 증착압력 12mTorr, DC power 1500 W로 예상되었다.