• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2014년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.121-121
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• 2014

본 연구에서는 반도체 제조의 Diffusion 공정설비의 FFU (Fan Filter Unit) 진동에 의해 발생한 wafer 불량 현상을 규명 및 개선하였다. EFEM(Equipment Front End Module)의 Loading 부에 장착된 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 들어 있는 Wafer 들이 설비 EFEM 하부로 떨어져 깨지거나 FOUP 내에서 겹침 현상이 발생하는 것을 확인하였다. 이에 생산현장의 모든 Diffusion 공정 설비를 조사하였으며, 그 결과 A 사(社)의 특정 설비에서만 발생되는 현상임을 확인하였다. 해당 A사(社)설비군에서만 월 평균 10 건의 Slot Mapping Error 가 발생하였으며, 이로 인해 Wafer가 재 제조된 매수가 월 평균 53 매로 확인되었다. 따라서 본 연구는 A 사(社)설비에서 발생하는 Mapping Error 의 원인 규명 및 개선을 위해 추진되었다. 총 12 개의 항목을 불량 발생 원인 후보 군으로 선정 후 예비 진단한 결과 FFU(Fan Filter Unit)에 의한 문제 발생 가능성이 가장 높을 것으로 추정되었다. 이에 따라 4 개의 서로 다른 물리적 환경/조건에서 진동을 측정하였으며, 최종 평가 결과 Motor 와 Blade 의 불균형에서 기인한 진동이 설비의 loader 부에 직접적으로 영향을 주는 것을 확인하였다. 진동 문제를 해결하기 위해 고 RPM blade 에서 저 RPM 및 유량 감소를 보완할 수 있는 신규모델로 교체하였다. 신규 Module(blade/motor) 장착 후 Load port 에서의 진동 측정 결과 개선 전 대비 91% 감소하였으며, 결과적으로 Slot mapping error 발생 건수가 50% 이상 감소되는 효과와 Wafer 재 제조 매수도 월 평균 약 43% 감소하는 효과를 얻을 수 있었다.

• 한국의류학회지
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• 제36권9호
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• pp.991-999
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• 2012

The Korean wintertime Onmapsi Campaign recommends wearing underwear, layered clothing, or thermal accessories in an indoor environment of a lower than room-heating condition. We surveyed 132 government officers, about Onmapsi wearing conditions and campaign satisfaction. The term was found to be unfamiliar to them, even if they wore underwear or thermal accessories as participants in the campaign for the wintertime office of low temperature 18-$20^{\circ}C$. They wore thick shirt/pants or cardigans/sweaters; however, underwear or thermal vests was worn relatively less. They wear 2.9 layers on top and 1.7 layers in bottom in average. They have their own methods to keep the body warm, which are using 1) functional thermal clothing, such as turtleneck shirts of heat technology new material, 2) functional thermal accessories, such as warmer and muffler, 3) functional office goods, such as a thermal computer mouse and blanket on the desk. The campaign requires more advertisement, a revision on the details of the proper wintertime indoor environment, and develops the varieties of Onmapsi apparel.