• Journal of the Korea Concrete Institute
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• v.17 no.1 s.85
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• pp.95-104
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• 2005

The research conducted to study the potential practicability of recycled aggregate concrete by analyzing the characteristics of concretes made of recycled quality aggregates produced by wet and dry process has found the following results. The air content of recycled aggregate concrete increased with increase of the substitut on rate due to mortar included while producing recycled aggregates. However, the concretes with aggregate produced by dry process had relatively low rate of increase in air content. The slump showed generally decreasing trend as the substitution rate of recycled aggregate increased regardless of the wet or dry process. It was assumed that the mortar particles remained in recycled aggregate absorbed the surplus hydration in concrete and decreased fluidity The compressive strength generally decreased as the substitution rate of recycled aggregate increased, however there was an increasing trend as well due to decreasing effect of water-cement ratio when the substitution rate of recycled aggregate reached 25, 50% after mix. This phenomena also appeared in early age, which meant that recycled aggregate concrete should not be retarded in setting when applied in the field. The tensile strength also reached the maximum when wet or dry recycled aggregate replaced with 25%. To conclude, recycled aggregates for concrete produced by wet or dry process are expected to demonstrate essential characteristics of concrete without significant decline in physical or dynamic quality when the substitution rate is below 25% although there are variations subject to water-cement ratio. However, slight differences are expected due to types of recycled aggregate and physical quality.

• Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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• v.10 no.3
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• pp.209-218
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• 2012

A pyroprocess is currently being developed by KAERI to cope with a highly accumulated spent nuclear fuel in Korea. The pyroprocess produces a certain amount of high-level radioactive waste (HLW), which is solidified by a ceramic binder. The produced ceramic waste will be confined in a secure disposal canister and then placed in a deep geologic formation so as not to contaminate human environment. In this paper, the development of a disposal canister was overviewed by discussing mainly its design premises, constitution, manufacturing methods, corrosion resistance in a deep geologic environment, radiation shielding, and structural stability. The disposal canister should be safe from thermal, chemical, mechanical, and biological invasions for a very long time so as not to release any kind of radionuclides.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.220-220
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• 2010

펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마를 이용하여 GaAs와 AlGaAs의 건식식각을 연구하였다. 공정의 주요 변수는 펄스 직류 전압(350~550V), 펄스 직류 시간($0.4{\sim}1.2{\mu}sec$.), 펄스 직류 주파수(100~250kHz)이었다. 식각 실험 후 샘플의 식각률, 식각 선택도, 표면 형상을 비교, 분석하였다. 또한, 광학 발광 분석기(Optical Emission Spectroscopy)를 이용하여 식각하는 동안 플라즈마 방전 특성을 분석하였다. 표면 단차 측정기(Alpha-step IQ, Tencor)로 식각 깊이를 측정해 식각률을 계산하였다. 표면 거칠기 또한 단차 측정기의 표면 거칠기 프로그램을 이용하여 분석하였다. 식각 벽면과 표면 상태는 주사전자현미경(Field-emission scanning electron microscopy)을 이용하여 관찰하였다. 분석 결과는 1) 펄스 직류의 전압이 증가하면 전극에 걸리는 파워가 올라가고 GaAs와 AlGaAs의 식각률도 증가하였다. 2) 76 mTorr 공정 압력, $0.7{\mu}sec$. 펄스 직류 시간과 200 kHz 주파수 일 때 10 sccm $BCl_3$ 펄스 직류 플라즈마에서 GaAs와 AlGaAs 둘 다 약 $0.4{\mu}m/min$ 이상의 식각 속도를 보여주었다. 3) 식각 선택도는 펄스 직류의 전압이 높아지면 증가하였고, 펄스 직류 주파수의 증가도 공정 파워와 GaAs와 AlGaAs의 식각률을 증가시켰다. 4) 그러나 펄스 직류 주파수가 150kHz 이하일 때에는 GaAs와 AlGaAs가 거의 식각되지 않았다. 5) 표면 거칠기는 펄스 직류 주파수가 증가하면 미세하게 좋아졌고 플라즈마는 펄스 직류 주파수가 100~250kHz 일 때 생성되었다. 6) 펄스 직류 시간의 증가는 공정 파워, 식각률, 식각 선택도 모두의 증가를 가져왔다. 7) 광학발광분석기(OES) 데이타는 $BCl_3$ 플라즈마에서 넓은 범위(450~700nm)에서의 염소(Cl) 분자 피크를 나타내었다. 8) 전자 현미경 사진은 펄스 직류 전압이 400 V보다 550 V 일 때보다 더 이방성(Anisotropic)측면과 부드러운 표면을 나타냈지만, 조금의 홈(Trench)이 발견되었다. 결론적으로 펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마는 GaAs와 AlGaAs의 건식식각에서 우수한 결과를 나타냈었다.

• Journal of the KSME
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• v.52 no.5
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• pp.30-34
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• 2012

고효율 청정 발전기술인 석탄가스화 복합발전(IGCC)에서 고온 고압의 연소성 합성가스에 함유된 비회(fly ash) 입자를 제어하는 집진 공정으로 사이클론, 필터 및 습식 스크러버 등이 사용된다. 이 글에서는 분류층 건식가스화공정이 적용된 IGCC 플랜트의 입자제어를 위한 집진 기술에 대하여 소개하고자 한다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.1 no.2
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• pp.302-313
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• 1992

10-9Torr 정도의 압력에서 작동하는 반도체 공정 도구들을 펌프하기 위해 주로 사용되는 기술들을 살펴보고, 이 분야에서 진공을 만드는 기술적 방향에 대해 언급한다. 특히, Roots, Claw, Roots/claw 펌프의 작동원리와 자기 부양식 turbomolecular 펌프를 다루었다.

• Journal of the Mineralogical Society of Korea
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• v.15 no.4
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• pp.283-291
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• 2002

Dry-based processes such as crushing, milling, sieving, magnetic and gravity separation were employed in order to investigate the purification characteristics of bentonite. The CECs of Gampo 13 and 35 bentonites were estimated at 88.3 and 93.3 meq/100 g and the samples contained quartz and feldspar as impurity minerals. According to the physical properties of constituent minerals of bentonite, the purification techniques were adopted to enhance the grade of montmorillonite High grade of montmorillonite could be obtained by the combination of each process. Consequently, the recovery of final products of Gampo 13 and 35 bentonite were 68.6 and 49.5%, and the CECs of them were 96.9 and 109.6 meq/100 g, respectively.

• Journal of Biomedical Engineering Research
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• v.22 no.2
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• pp.145-150
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• 2001

대뇌 피질에 삽입하여 깊이에 따라 신경 신호를 기록하기 위한 탐침형 반도체 미세전극 어레이(depth-type silicon microelectrode array, 일명 SNU probe)를 제작하였다. 붕소를 확산시켜 생성된 고농도 p-type doping된 p＋ 영역을 습식식각 정지점으로 사용하는 기존의 방법과 달리 실리콘 웨이퍼의 앞면을 건식식각하여 원하는 탐침 두께만큼의 깊이로 트렌치(trench)를 형성한 후 뒷면을 습식식각하는 방법으로 탐침 형태의 미세 구조를 만들었다. 제작된 반도체 미세전극 어레이의 탐침 두께는 30 $\mu\textrm{m}$이며 실리콘 건식식각을 위한 마스크로 6 $\mu\textrm{m}$ 두께의 LTO(low temperature oxide)를 사용하였다. 탐침의 두께는 개발된 본 공정을 이용해서 5~90 $\mu\textrm{m}$ 범위까지 쉽게 조절할 수 있었다. 탐침의 두께를 보다 쉽게 조절할 수 있게 됨에 따라 여러 신경조직에 필요한 다양한 구조의 반도체 미세전극 어레이를 개발할 수 있게 되었다. 본 공정을 이용해서 개발된 4채널 SUN probe를 사용하여 흰쥐의 제1차 체감각 피질에서 4채널 신경 신호를 동시에 기록하였으며, 전기적 특성검사에서 기존의 탐침형 반도체 미세전극, 텅스텐 전극과 대등하거나 우수한 신호대 잡음비(signal to noise ratio, SNR)특성을 가짐을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2004.06a
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• pp.346-346
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• 2004

차세대관리 종합공정(ACP)은 사용후핵연료의 안전하고 효율적인 관리를 위하여 제시된 건식처리공정으로 이 공정을 이용하여 사용후핵연료를 금속으로 전환하고, 고발열성 핵종(Cs, Sr)을 효율적으로 제거하여 사용후핵연료의 부피, 발열량 및 방사선의 세기를 최대 1/4까지 감소시키고, 처분용기의 소요량과 처분장의 소요면적을 1/2 이상으로 축소함으로서 처분 안전성과 경제성을 높일 수 있는 장점으로 인해 연구개발 중에 있으며, 현재 기초연구가 완료되어 실증시험 수행을 위한 상세 계획이 확정되었다.(중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 1999.10a
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• pp.258-259
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• 1999

각종 산업공정에서 발생되는 SO$_2$를 처리하기 위하여 화력발전소와 같은 대형 배출업소에서는 주로 FGD 공법이 사용되고, 중소형의 배출업소에서는 건식 또는 반건식 공법 등이 많이 사용되고 있다. 또한 NO$_{x}$의 제거는 SCR 또는 SNCR 공법을 사용하고 있다.(중략)

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.11a
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• pp.278-279
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• 2002

소각시설에서 다이옥신 배출문제가 사회문제화 되면서 대부분의 소각시설이 소석회 슬러리 분무의 반건식세정기와 백필터가 연결된 공정에 분말활성탄을 분무하는 시스템으로 운영하고 있다 원래, 다이옥신이 사회문제화 되기 이전부터 소석회 슬러리 분무의 반건식 세정기가 소각시설에서 사용되었는데 이는 주로 산성가스 제거 및 백필터 보호차원의 온도조절기능이었다. 백필터의 경우도 전기집진기와 더불어 먼지를 제거하는 기능을 담당하는 방지시설이었다. (중략)