• 제목/요약/키워드: 강산

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RF-Plasma를 이용한 Ru-Cr 금속합금 분말 제조 및 특성

  • 호종환;임성철
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.211-211
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    • 2013
  • Ru-Cr은 차세대 반도체 메모리(RAM, MRAM, FeRAM), 헤드(MR, TMR), 캐피시터의 웨이퍼 등에 전극층이나 시드층 형성을 위해 스퍼터링 타겟으로 제조되며, IT산업이 발달함에 따라 수요가 증가하고 있다. 기존의 스퍼터링 타겟은 산처리와 주조와 같은 습식법이 주를 이루었으나, 긴 제조시간과 강산사용의 위험성화 강산폐유의 처리가 문제되고 있다. 최근에는 습식공정을 보완하기 위한 건식법의 연구가 진행 중이며, 합금소재에 대한 건식법의 연구가 필요하다. 본 연구에서는 폐 Ru-Cr 금속합금 스퍼터링 타겟을 Hammer-mill, jet-mill 등 건식으로 분쇄하고 RF-Plasma를 이용하여 소결에 용이한 구형, 고순도 Ru-Cr금속합금분말을 제조하였다.

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결산 2003! 전망 2004!

  • 대한제과협회
    • 베이커리
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    • 3호통권428호
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    • pp.75-79
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    • 2004
  • '10년이면 강산이 변한다'는 말은 이제 호랑이 담배피던 시절 얘기일 뿐이다. 하루가 멀게 바뀌는 트렌드의 물결 속에서 제과업계는 어떻게 변해가고 있을까. 유난히 힘겨웠던 지난해 우리업계가 걸오온 발자취를 더듬으면서 하반기부터 슬슬 다시 좋아진다는 올해의 희망을 예감해본다. 2003년부터 2004년까지 쭉 훑어본 제과업계를 들여다보자.

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