• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.5 no.1
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• pp.15-22
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• 1996

FET type $Ca^{2+}$ sensor(Ca-ISFET) was fabricated by micropool and photolithographic method utilizing photosensitive polymer as membrane materials. When OMR-83 negative photoresist was used as membrane material, it gave good sensitivity by micropool method with dioctyladipate as plasticizer but it could not be used in the photolithographic method. When poly(viny1 butyral), PVB was used as membrane material, it gave relatively high sensitivity ($23{\pm}0.2\;mV/decade$) for $Ca^{2+}$ concentration range of $10^{-4}{\sim}10^{-1}\;mole/{\ell}$ by photolithographic method. PVB also provided good adhesion to the pH-ISFET base device without adhesion promoter pretreatment and any plasticizer.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.8 no.7
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• pp.1436-1441
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• 2004

Abnormal current-voltage characteristics of an oxide semiconductor have been investigated and a novel method of detecting reducing gases utilizing self-heating mechanism of sensing layer without an additional heater has been developed. Planar-type sensors based on WO3-doped SnO2 were fabricated using a screen-printing technique. The applied voltage across the sensing layer caused heating of the sensing layer and the current abruptly varied upon exposure to a gas mostly as a result of surface reactions. A unique and fascinating aspect of the gas sensing scheme is that no additional heater is necessary for detection. The new sensing method has been applied to C2H5OH gas in this preliminary work.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.11 no.6
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• pp.342-349
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• 2002

New formation technique of metal oxide sensing film was proposed m this paper. Silicon wafer with Pt electrodes was used as a substrate for depositing metal Sn film. Metal Sn was deposited in the state of not continuous film but only island state. The samples were prepared to obtain the optimal condition of metal Sn deposition. The resistances of deposited Sn onto Pt electrodes amounted to $1\;k{\Omega}$, $5\;k{\Omega}$, $10\;k{\Omega}$ and $50\;k{\Omega}$, respectively. Also The sample with $1,500\;{\AA}$ thickness of Sn was prepared m order to compare sensing properties between conventional type and proposing type. After deposition of metal Sn, $SnO_2$ was formed by thermal oxidation method for 3 hrs. in $O_2$ ambient at $700^{\circ}C$. Surface morphology, crystal structure and surface roughness of oxidized-sensing film were examined by SEM, XRD, and AFM, respectively. From the results of these analyses, the optimal deposition condition of Sn was that the Pt electrode resistance became $10\;k{\Omega}(300\;{\AA})$. Also, the sensing characteristics of fabricated sensing film for various concentrations of butane, propane and carbon monoxide gases were measured at he operating temperatures of $250^{\circ}C$, $300^{\circ}C$ and $350^{\circ}C$, respectively. Although catalyst as not added to the sensing film, it has exhibited the high sensitivity to all the test gases.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.420-420
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• 2014

최근, 과학 기술이 발달함에 따라 현장에서의 실시간 검사 및 자가 지단 등 질병 치유에 대한 사람들의 관심이 증가하고 있으며, 이에 따라 의료, 환경, 산업과 같은 많은 분야에서 바이오 센서에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 그 중, EGFET는 전해질 속의 각종 이온 농도를 전기적으로 측정하는 바이오 센서로, 외부 환경으로부터 안전하고, 제작이 쉬우며, 재활용이 가능하여 비용을 절감 할 수 있다는 장점을 가지고 있다 [1]. EGFET는 감지부와 FET부로 분리된 구조를 가지고 있으며, 감지부의 감지막으로는 Al2O3, HfO2, $TiO_2$, SnO2 와 같은 다양한 물질들이 사용되고 있다. 그 중, SnO2는 우수한 감도와 안정성을 가지고 있는 물질로 추가적인 열처리 공정 없이도 우수한 감지 특성을 나타내기 때문에 본 연구에서 감지막으로 사용하였다. 한편, EGFETs 의 FET부로는 기존의 비정질 실리콘 TFTs 에 비해 10배 이상의 높은 이동도와 온/오프 전류비를 갖는 InGaZnO 를 채널층으로 사용한 TFTs 를 사용하였다. a-IGZO 는 넓은 밴드 갭으로 인해 가시광 영역에서 투명하며, 향후 투명 바이오센서 제작 시, 물질들 사이의 반응을 전기적 신호뿐만 아니라 광학적인 분석 방법으로도 검출이 가능하기에 고 신뢰성을 갖는 센서의 제작이 가능할 것으로 기대된다. 한편, a-IGZO TFTs 의 경우 우수한 전기적 특성을 나타냄에도 불구하고 소자 동작 시 문턱 전압이 불안정하다는 단점이 있으며 [2], 이러한 문제의 개선과 향후 투명 기판 위에서의 소자 제작을 위해서는 저온 열처리 공정이 필수적이다. 따라서, 본 연구에서는 저온 열처리 공정인 u-wave 열처리를 통하여 a-IGZO TFTs 의 전기적 특성 및 안정성을 향상시켰으며, 9.51 [$cm2/V{\cdot}s$]의 이동도와 135 [mV/dec] 의 SS값, 0.99 [V]의 문턱 전압, 1.18E+08의 온/오프 전류 비를 갖는 고성능 스위칭 TFTs 를 제작하였다. 최종적으로, 제작된 a-IGZO TFTs 를 SnO2 감지막을 갖는 EGFETs 에 적용함으로써 우수한 감지 특성과 안정성을 갖는 바이오 센서를 제작하였다.

• Progress in Medical Physics
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• v.3 no.2
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• pp.43-57
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• 1992

Phase detector techique provides a unique probe to membrane recycling phenomenon by enabling dynamic monitoring of cell membrane capacitance. However, it has inherent errors due to constant changes in measurement environments. The present study analyzed several error sources to develope application criteria of this technique. and the following was found based on a theoretical analysis. The initial phase angle has to be appropriately selected to minimize the error due to perturbation of access and membrane conductances. Excitation frequency is also important to determine the initial phase angle. However. deviation of the phase angle from a predetermined initial value during the measurement period does not affect capacitance estimation to a significant degree. Despite an appropriate initial phase selection an error in scaling factor is expected for a large increase in capacitance during exocytosis. which may be overcome by iteratively correcting the scaling factor over the measurement period. These results will provide a useful guideline in practical application of this technique.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.37 no.4
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• pp.49-54
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• 2000

A new functional organic thin film optical waveguide ion sensor is designed, which can select a specific ion, i.e., $Ca^{2+}$ -ion. The sensing membrane was composed of PVC-PVAC-PVA copolymer matrix based on anionic cation-selective chromoionophor(ETH5294), neutral ionophore(K23El), anionic site and plasticizer and it was coated on the etched glass substrate as embeded type optical waveguide itself. The sensor sensitivity dependence on waveguide length and thickness, contence of chromoionophore, and each mode was investigated. And this sensor could detect $Ca^{2+}$ ion in concentrations ranging from 1$\times$10­6~1M(with 0.05M tris-HCI buffer solution of pH7.4) by measuring the absorbance change at 514nm of light. Utilizing thin film membrane, the fast response time and high sensitivity are obtained. Also, it is expected that this sensor can be applied to various biochemical important ions.ons.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.05a
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• pp.159-160
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• 2008

본 논문에서는 변압기 절연유 상태를 측정하여 변압기 열화정도를 분석할 수 있는 CNT센서를 개발하였다. 센서의 감지막 형성을 위해 MWCNT(multi walled carbon nanotube)로 CNT paste를 제작하고 이를 프린팅공정을 이용하여 그 규격을 최적화하였다. 제작된 CNT 센서를 이용하여 절연유 상태를 분석하고 이를 전기 화학적 분석을 통하여 변압기 열화 정도를 확인하였다. 변압기 사용 여부에 따른 센서의 특성과 절연유의 산가, 절연파괴전압 등 기타 특성과 비교하여 변압기 절연유의 열화정도를 확인하였다. 변압기 과부화 및 과전류에 의해 열화가 진행되어 전산가가 높아지면 이를 CNT 감지막의 전기적 특성 변화로 확인 할 수 있다. 개발된 IT 센서를 이용하면 변압기 열화 정도를 실시간으로 확인 할 수 있어 변압기 사용에 있어서 안정성 확보 및 유지관리에 경제성을 높일 수 있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1475-1477
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• 2003

본 논문에서는 LNG/LPG 센서와 솔벤트 센서를 국산화한 결과를 보고한다. LNG/LPG 센서는 $SnO_{2-}\;WO_3$ 모물질에 Pd, Pt 촉매를 첨가하여 제작하였다. 센서를 $400^{\circ}C$ 이상에서 동작시키면 CO가 촉매층에서 거의 $CO_2$로 산화되어 감지막의 저항변화에 아무런 기여도 못하기 때문에 팔라듐 촉매 센서부와 백금촉매 센서부의 신호로부터 탄화수소와 CO를 구별할 수 있다. 또한 촉매층 위에 다공성 보호층를 형성하여 촉매층과 감지막을 보호함으로써 장기 안정성이 크게 향상 되었다. 한편, 감지물질로 $BaSnO_3$를 사용해 제작된 솔벤트 센서는 에탄올에 매우 우수한 감도와 선택성을 나타내었다.

• Journal of IKEEE
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• v.22 no.4
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• pp.1062-1067
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• 2018

In this study, the research processed with a chemical sensor for measuring trace amount of heavy metal ions which is based on the requirements of the efficient sensing technology as recent equipment is applies molecular system in the chemical sensing section that can precisely recognizing selective target substance and transmit its data to physical signal as a result. In this research is concentrated on realize highly precise by utilizing SPR sensor application of recognition functional sensing membrane. Consequently, according to DTSQ-dye sensing membrane, the resonance angle from low-concentration to the highest concentration $10^{-4}M$ of $Ag^+$ ion is $2.17[^{\circ}]$ and this result indicating 4.3 times larger resonance angle changes compare to the other metal substance. Based on SQ-dye sensing membrane, the difference of resonance angle between low concentration and the highest concentration $10^{-4}M$ of $Cu^{2+}$ ion is $2.3[^{\circ}]$ and this outcome is indicating 4.5 times greater resonance angle change to the other metal substance.

• Review of KIISC
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• v.3 no.3
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• pp.23-30
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• 1993

이 논문에서는 고도의 정보보호를 필요로 하는 문서나 시스템에 대한 불법 행위를 막을 수 있는 침입 감지 시스템을 설계함에 있어 필요한 시스템 모델의 구성요소를 분석하였다. 또한 외국에서 개발되었거나 개발 중인 침입 감지 시스템들을 소개하였다. 전산망이나 컴퓨터 시스템에 있어 신분확인과 외부의 침입을 막기 위한 1차적인 방어 수단이 되지만 이러한 것들이 타협이나 공모에 의해 파괴되었을 때 이러한 침입 감지 시스템은 큰 역할을 수행하게 된다. 앞으로 다양한 형태의 내부적/외부적 침입 행위와 컴퓨터 시스템을 악용하려는 모든 행위를 즉각적으로 감지하는 기능을 수행하는 실시간 ㅣㅁ입 감지 시스템에 대한 연구가 절실히 요구될 것이다.