• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.137-137
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• 2011

펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 건식식각을 연구하였다. 공정변수는 펄스 직류 전압 (350~550 V), 펄스 직류 주파수 (100~250 kHz), 리버스 시간 (0.4~1.2 ${\mu}s$)이었다. 전기적 특성은 오실로스코프를 이용하여 분석하였다. 펄스 직류 전원의 경우 평균 전압이 일정하더라도 주파수가 커지거나 리버스 시간이 커지면 peak-to-peak 전압이 증가한다는 사실을 이해하였다. GaAs 식각 실험 후 샘플의 식각률, 식각 선택비, 표면 형상을 비교, 분석하였다. GaAs의 식각 결과는 식각 속도, 식각 선택비, 표면 형상, 잔류 물질 분석을 실시하엿다. 본 실험에서는 1대의 기계적 펌프만을 상ㅇ하여 진공 압력을 유지하였다. GaAs의 식각 속도는 10 sccm $BCl_3$를 사용한 경우 최대 0.4 ${\mu}m$까지 얻을 수 있었다. 감광제에 대한 최대 식각 선택비는 약 2.5 : 1이었다. BCl₃ 플라즈마의 경우 75 mTorr의 저진공 조건에서는 500 V, 250 kHz, 0.7 ${\mu}s$의 실험에서 가장 좋은 식각 특성을 얻을 수 있엇다. X-레이 광전 분석기 데이터에 의하면, 식각된 GaAs의 표면을 깨끗하였으며, 염소와 관련된 잔류 물질은 거의 발견되지 않았다.

• 연구논문집
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• s.33
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• pp.99-109
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• 2003

Recently the utilization of the ozone dissolved de-ionized water(DIW-$O_3$) in semiconductor wet cleaning process and photoresist stripping process to replace the conventional sulfuric acid and hydro peroxide mixture(SPM) method has been studied. In this paper, we propose the water-electrode type ozone generator which has the characteristics of the high concentration and purity to produce the high concentration DIW-$O_3$ for the photoresist strip process in the semiconductor fabrication. The proposed ozone generator has the dual dielectric tube structure of silent discharge type and the water is both used to electrode and cooling water. Through this study, we obtained the results of the 10.3 wt% of ozone gas concentration at the oxygen gas of 0.5 [liter/min.] and the DIW-$O_3$ concentration of 79.5 ppm.. Through the photoresist stripping test using the produced DIW-$O_3$, we confirmed that the photoresist coated on the silicon wafer was removed effectively in the 12 minutes.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.11a
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• pp.152-155
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• 2003

Ashing of photoresist was investigated in dielectric barrier discharges in atmospheric pressure by changing applied voltage, frequency, flow rate. we analyzed the plasma by Optical Emission Spectroscopy(OES) to monitor the variation of active oxygen species. Another new peaks of oxygen radical is observed by addition of argon gas. This may explain the increase in ashing rate with argon addition. With the results of Optical Emission Spectroscopy(OES), we can find the optimized ashing conditions. MIS capacitor for monitoring charging damage by the plasma was also studied. The results suggest the dielectric barrier discharges(DBD) can be an efficient, alternative Plasma source for general surface processing.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.06a
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• pp.42-43
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• 2006

LTCC 후막공정에서 일반적으로 사용되고 있는 스크린 프린팅 방법은 낮은 정밀도와 100um 이하의 선폭을 구현하는 데 한계를 보이고 있다. 이에 따라서 보다 미세한 라인을 형성 할 수 있는 반도체 미세라인 공정기술을 후막 공정에 응용한 후막 리소그라피 기술 (thick-film lithography technology)이 전자부품의 소형화에 대한 방안으로 연구 되고 있다. 본 연구에서는 후막 리소그라피 기술에 사용되는 감광성 Silver 페이스트에 영향을 미치는 각기 다른 크기와 형상의 Silver 파우더들과 인쇄 후 표면의 roughness 개선을 위한 여러 종류의 첨가제들을 첨가하여 최적의 조성을 연구 하였으며, 그린시트와 페이스트의 매칭성을 해결하기 위해서 Tg가 다른 글라스 파우더를 첨가하였다. 또한 전면 인쇄 한 후에 건조, 노광, 현상, 적층, 소성 과정을 걸치는 후막 리소그라피 기술을 이용하여 소성 후 20um이하의 선폭을 가지는 내장형 패턴 구현하였으며 투과엑스레이와 O/S 테스트 통하여 우수한 특성을 확인 할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2016.11a
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• pp.165.2-165.2
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• 2016

현재, 솔더범프용 주석계 도금액의 필수성분인 산화방지제의 경우, 국내외 경쟁사에서는 가격 및 성능이 우수한 벤젠/페놀 계열을 적용 중이다. 그러나, 최근 대형 고객사에서 페놀류 산화방지지제를 환경규제물질로 규정함에 따라, 자사에서는, 특허 이슈 해소 가능한 친환경 대체 산화방지제 개발을 해오고 있다. 본 연구에서는, 반도체 패키지용 주석계 도금액의 산화방지제 종류와 농도에 따른 주요 특성 (Particle, 전류 효율, 안정성 (변색, 침전 외), 범프 두께의 편차, 감광제의 침해, Reflow 후 빈공간 등)에 대하여 살펴보았다.

• 월간산업보건
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• s.107
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• pp.2-10
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• 1997

직업성 피부질환은 1988년 미국 전체 직업성 질환중 20%에 해당된다(미 노동부 자료 참고). 그 비율은 주에 따라 크게 달라지기도 한다. 피부질환은 어떤 주에서는 보상되는 직업성 질환의 대다수를 차지하기도 한다; 예를 들어, 캘리포니아와 플로리다주에서는 농작물에 의한 접촉성 피부염이 흔하다. 접촉성 피부염은 직업성 피부질환으로 보고되는 가장 흔한 피부질환이다. 이러한 사례의 4/5는 유기용제, 절삭유, 세척유, 알칼리, 산 등과 같은 자극성 화학물질에 대한 노출과 관련이 있다. 자외선은 어떤 화학물질(예를 들면, 코울 타르, 크레오소오트)과 반응하여, 이 화학물질 및 빛에 노출되는 부위에 자극성 접촉성 피부질환을 유발하기도 한다. 1/5의 사례는 에폭시 수지, 크롬, 식물 수지, 그 밖의 많은 것 등 특수 접촉 감광제와 관련될 수 있다. 강한 자극제에 노출되어 발상하는 화학적 화상은 비교적 흔하게 일어난다. 백반과 유사한 피부탈색은 드물게 일어나며 피부 접촉을 통하여 야기하는 특수 화학물질과 관련될 수 있다. 여드름과 모낭염은 기름 및 유지들과의 피부 접촉을 통하여 생겨날 수 있다. 10대 여드름과 구별되는 염소성 여드름이라고 불리는 질환은 여러 종류의 염화 탄화수소들(예를들면 다브롬화 디페닐, 다염화 디페닐, 디옥신)에 노출되어 발생되기도 한다. 신체적인 손상으로 반복되는 외상부위에 가골이 형성되기도 한다. 여러 종류의 일에 특징적인 것(예를 들면 바이올린 연주자의 목에 가골)이 소위 "직업적인 표지" 이다. 전기톱 작동 기술자, 분쇄기 작동기술자, 지하 광산 암석 천공 기술자에게서 발생하는, 손 - 팔 부위의 진동은 오랜기간 혹은 심하게 노출된 노동자에 있어서 - 손에 혈관수축질환 - 진동장애 백색 수지질환을 일으킬 수 있다. 피부암은 직업과 관련이 있다고 할 수 있다. 하지만 몇몇 사례가 산재 관련 기관에 보고외어 있지만, 암등록소에 보고는 불완전하며, 피부암으로 인한 사망은 드물기 때문에 피부암의 발생률은 알 수 없다. 예방적인 방법은 개인보호구(장갑, 구두 등), 기계공학적 통제, 노동자 교육, 피부에 노출되는 것을 피하기 위해 주어진 일을 맡는 노동자들의 교대와 같은 관리적인 통제가 있다. 이러한 방법들은 화학적 화상, 알러지성 접촉성 피부염과 같은 피부염, 진동장애, 직업관련성 질환(예를 들면, 건선, 단순태선, 백반)을 예방하는데 도움이 된다. 만성 자극성 접촉성 피부염은 아직 잘 이해하고 있지 못하여 현재 예방하는 방법은 아직 만족스럽지 못하다.

• 월간산업보건
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• s.105
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• pp.16-25
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• 1997

직업성 피부질환은 1988년 미국 전체 직업성 질환중 20%에 해당된다(미 노동부 자료 참고). 그 비율은 주에 따라 크게 달라지기도 한다. 피부질환은 어떤 주에서는 보상되는 직업성 질환의 대다수를 차지하기도 한다; 예를 들어, 캘리포니아와 플로리다주에서는 농작물에 의한 접촉성 피부염이 흔하다. 접촉성 피부염은 직업성 피부질환으로 보고되는 가장 흔한 피부질환이다. 이러한 사례의 4/5는 유기용제, 절삭유, 세척유, 알칼리, 산 등과 같은 자극성 화학물질에 대한 노출과 관련이 있다. 자외선은 어떤 화학물질(예를 들면, 코울 타르, 크레오소오트)과 반응하여, 이 화학물질 및 빛에 노출되는 부위에 자극성 접촉성 피부질환을 유발하기도 한다. 1/5의 사례는 에폭시 수지, 크롬, 식물 수지, 그 밖의 많은 것 등 특수 접촉 감광제와 관련될 수 있다. 강한 자극제에 노출되어 발상하는 화학적 화상은 비교적 흔하게 일어난다. 백반과 유사한 피부탈색은 드물게 일어나며 피부 접촉을 통하여 야기하는 특수 화학물질과 관련될 수 있다. 여드름과 모낭염은 기름 및 유지들과의 피부 접촉을 통하여 생겨날 수 있다. 10대 여드름과 구별되는 염소성 여드름이라고 불리는 질환은 여러 종류의 염화 탄화수소들(예를들면 다브롬화 디페닐, 다염화 디페닐, 디옥신)에 노출되어 발생되기도 한다. 신체적인 손상으로 반복되는 외상부위에 가골이 형성되기도 한다. 여러 종류의 일에 특징적인 것(예를 들면 바이올린 연주자의 목에 가골)이 소위 "직업적인 표지" 이다. 전기톱 작동 기술자, 분쇄기 작동기술자, 지하 광산 암석 천공 기술자에게서 발생하는, 손 - 팔 부위의 진동은 오랜기간 혹은 심하게 노출된 노동자에 있어서 - 손에 혈관수축질환 - 진동장애 백색 수지질환을 일으킬 수 있다. 피부암은 직업과 관련이 있다고 할 수 있다. 하지만 몇몇 사례가 산재 관련 기관에 보고외어 있지만, 암등록소에 보고는 불완전하며, 피부암으로 인한 사망은 드물기 때문에 피부암의 발생률은 알 수 없다. 예방적인 방법은 개인보호구(장갑, 구두 등), 기계공학적 통제, 노동자 교육, 피부에 노출되는 것을 피하기 위해 주어진 일을 맡는 노동자들의 교대와 같은 관리적인 통제가 있다. 이러한 방법들은 화학적 화상, 알러지성 접촉성 피부염과 같은 피부염, 진동장애, 직업관련성 질환(예를 들면, 건선, 단순태선, 백반)을 예방하는데 도움이 된다. 만성 자극성 접촉성 피부염은 아직 잘 이해하고 있지 못하여 현재 예방하는 방법은 아직 만족스럽지 못하다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.10 no.4
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• pp.77-84
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• 2006

With the development of micro/nano spacecraft, concepts of micro propulsion are introduced for orbit transfer and drag compensation as well as attitude control. Micro solid propellant thruster has been attention as one of possible solution for micro thruster. In this paper, micro solid propellant thruster is introduced and research on basic components of a micro solid propellant thruster is reported. Micro Pt igniter was fabricated through negative patterning and quantitative effect of geometry was estimated. The characteristic of HTPB/AP solid propellant was investigated to measure the homing velocity. A combustion chamber was fabricated by means of anisotropic etching of photosensitive glass. Finally, micro solid propellant thrusters having various geometries were fabricated and tested.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2007.04a
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• pp.91-94
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• 2007

The fabrication and firing test of the ignition system for a micro solid propellant thruster are described in the present paper. Pt igniter coil was patterned on the glass membrane that was fabricated by the wet etching process. The thickness of Pt layer was $2000{\AA}$ and the width of igniter pattern was $40{\mu}m$. The thickness and diameter of glass membrane were $15{\mu}m$ and 1 mm, respectively. Ignition test was performed. Successful ignition of HTPB/AP propellant was obtained with an ignition delay of 1.6 s at an input voltage of 12 V. The ignition energy was estimated to be 1.4 J.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2017.05a
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• pp.757-763
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• 2017

The combustion test of LMP-103S, a propellant based on ADN(Ammonium Dinitramide), was performed with a 50 mN scale micro-thruster. The micro-thruster was made with photosensitive glass using MEMS manufacturing process. $Pt/{\gamma}-Al_2O_3$ was used as a catalyst to decompose LMP-103S. After injecting 90 wt.% hydrogen peroxide into combustion chamber to preheat the catalyst, LMP-103S was injected for the combustion test. As a result, the ignition and combustion of LMP-103S was confirmed in platinum catalyst environment with the combustion chamber temperature going up to $650^{\circ}C$.