• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.488-488
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• 2012

상압에서 12인치 실리콘 웨이퍼 표면처리가 가능한 장치를 개발하였다. 배치타입 공정으로 플라즈마 발생 전극은 직경 340 mm의 대면적 원형 형태을 가지고 있다. 시스템은 탈부착이 가능한 플라즈마 모듈부와 공정챔버로 나누어지며 균일도를 높이기 위해 웨이퍼스테이지는 가열, 회전 및 축간 조절이 가능하게 설계하였다. 플라즈마발생은 DBD 전극방식을 채용하고 있으며 공정가스흐름 및 전극배열 등을 연구하였다. 또한, 기판 온도, 가스 조합 등의 공정파리미터를 변화시켜가며 높은 애슁 속도 및 균일도를 얻기 위한 실험이 진행되었다. 주파수 15 kHz, 인가 파워 7 kW, 시편 가열 온도 95도, 60 rpm, 80 spm에서 분당 200 nm의 PR제거율을 확인하였다.

• Radiation Oncology Journal
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• v.5 no.1
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• pp.49-58
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• 1987

Hypertermia for the treatment of cancer has been introduced for a long time and the biological effect for the use of hyperthermia to treat malignant tumors has been well established and encouraging clinical results have been obserbed. Unfortunately, however, the engineering or technical aspects of hyperthermia for the deep seated tumors has not been satisfactory. We developed the radiofrequency capactive hyperthermia device (Greenytherm-GY8) in cooperation with Yonsei Cancer Center and Green Cross Medical Corporation. It was composed with $8{\sim}10MHz$ RF generator, capacitive electrode, matching system, cooling system, temperature measuring system and control PC computer. The thermal profile was investigated in agar phantom, animals and in human tumors, heated with capactivie RF device. Deep and homogeneous heating could be achieved in a large phantom of 25cm diameter and 19cm thick when heated with a pair of 23cm diameter electrodes, coupled to both bases of the phantom, when the size of the two electrodes was not the same, the region near the smaller electrode was preferentially heated. It was, therefore, possible to control the depth of heating by choosing proper size of electrodes. Therapeutic temperature $(42^{\circ}C{\sim}43^{\circ}C)$ could be obtained in the living animal experiments. Indications are that deep heating of humn tumors might be achieved with the capacitive method, provided that subcutaenous fat layer is cooled by temperature controlled bolus and large size of electrodes.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.1 no.1
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• pp.28-32
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• 1990

We have constructed and operated a discharge heated copper vapor laser which generated green (510.6 nm) and yellow (578.2 nm) light. The plasma tube was made of high purity (99.8%) alumina tube which has an inner diameter 25 mm and a length 106 cm. The electrodes, made of molybdenum sheet, were separated 108 cm apart. The laser gave an average power of 10 W at repetition rate of 5 kHz, charging voltage of 10 kV, Ne buffer gas pressure of 40 mbar, and the laser tube temperature of $1500^{\circ}C$..

• Radiation Oncology Journal
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• v.7 no.2
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• pp.313-320
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• 1989

In capacitive heating device, which considered efficient for deep heating, parallel arrangement of the electrodes is a serious limiting factor in heating for eccentrically located lesions because it causes overheating of the exposed ipsilateral skin surface, the heating pattern is also frequently inappropriate, and the arrangement tends to be unstable due to the patient's gravity. Therefore we attempted an angular arrangement of the electordes to achieve more homogenous and efficient heating for such lesions. In phantom study, both the thermal profile and thermogram established the heating pattern in this unusual angular arrangement of the electrodes at $60^{\circ},\;90^{\circ}\; and\;120^{\circ}$ angles, respectively. An angular arrangement was also clinically applied to 3 patients. The patients' tolerance was good without significant complication and the thermal distribution was satisfactory. In conclusion, this unusual arrangement of electrodes appears to be promising in the clinical application to the eccentrically located lesions.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.05a
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• pp.51.1-51.1
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• 2009

나노 임프린트 리소그래피 기술은 마스터 몰드 표면의 나노 패턴을 물리적인 가열, 가압 공정을 통해 기판 위의 고분자 층으로 전사시키는 기술이다. 이 기술은 기존의 노광 기술과는 다르게 직접적인 접촉을 통해 패턴을 형성하기 때문에 기능성 물질의 직접 패턴 형성이 가능한 기술이다. 투명 전극 재료는 다양한 분야으로의 응용이 가능하기 때문에 많은 연구가 진행되고 있다. ITO는 높은 투과율과 전도성 때문에 대표적인 투명 전극 물질로 사용되고 있다. 본 연구에서는 ITO nano particle solution을 이용하여 thermal 임프린팅 공정을 진행해 ITO nano pattern을 형성하는 연구를 진행하였고 이와 같은 기술을 이용하여 glass와 LED 기판에 ITO nano pillar pattern을 제작하였고 이를 주사 전자 현미경과 UV/vis를 이용하여 형성된 나노 ITO 나노 패턴의 구조와 광학적 특성을 분석하였다.

• Journal of Soil and Groundwater Environment
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• v.11 no.1
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• pp.45-53
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• 2006

This study was performed to evaluate the heating characteristics of soils for the application of electrical resistance heating process combined with soil vapor extraction. Laboratory tests were conducted to find out optimum heating conditions by the adjustment of electrical supply and electrode. Results show that fine soil particles are more efficient for electrical heating. As water content of soil increases, more efficient electrical heating is observed. However, as the soil is saturated with water above the soil porosity, decrease in the heating efficiency is observed. The higher the voltage, is and the shorter the distance between the electrodes is, the better the heating efficiency is. The soil contaminated by fuel is also more efficient than non-contaminated soil in electrical resistance heating. From the relationship between the intial electrical current and the conductivity obtained in this study, soil temperature by electrical heating can be estimated.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.11a
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• pp.125-125
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• 2003

PZT(Pb(Zr,Ti)O3)는 우수한 강유전 특성을 가지기 때문에 FRAM (Ferroelectric Random Access Memory) 소자에 응용하기 위해 많은 연구가 진행되고 있다. 스퍼터에 의해 증착된 PZT는 처음에 pyrochlore상으로 존재하다가 후 열처리를 통해 이력 특성을 나타내는 perovskite상으로 천이된다. 일반적인 furnace열처리 방법은 고온에서의 장시간 열처리가 요구되고 Pb-loss현상이나 TiO2와 같은 이차상의 생성 그리고 하부 Pt전극의 roughness증가 및 crack과 같은 문제점이 있다. 최근 들어 후 열처리를 RTA로 이용하는 연구가 진행되고 있는데 이는 열처리 시간이 짧기 때문에 위와 같은 문제점을 개선할 수 있었다. 하지만 RTA방법 또한 어느 정도의 thermal budget이 존재하고 추가적 장비가 필요하며 기판의 전체적 가열공정이므로 다른 CMOS공정과 compatibility가 떨어진다. 따라서 본 실험에서는 위와 같은 문제를 해결하고자 노력을 집중하였고 이를 위한 새로운 열처리 방법을 개발하였다. 즉 Pt 하부전극에 전압(전류)을 인가하여 순간적으로 고온으로 결정화시키는 새로운 공정을 모색하였는데 이와 같은 방법은 열처리를 위한 추가적인 장비가 필요없고 국부적으로 순간적인 가열이기 때문에 glass기판에도 적합하며 RTA보다 승온시간 및 열처리 시간이 짧기 때문에 thermal budget도 줄일 수 있었다.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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• v.21 no.8
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• pp.99-109
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• 2022

In this study, an electric resistance-heated surface friction spot-welding process was proposed and tested for the spot-welding ability of copper and aluminum dissimilar metal sheets using electric resistance heating and surface friction heating. This process has welding variables, such as the current value, energizing cycles, rotational speed, and friction time. The current value and energizing cycle can affect the resistance heat, and the rotational speed of the rotating pin and friction time influence frictional heat generation. Resistance heating before friction heating has a preheating effect on the Cu-Al contact interface and a positive effect on preventing friction heat loss during the friction stage. However, because resistance preheating can soften the copper sheet and affect the contact stress and friction coefficient, it has difficulties that may adversely affect frictional heat generation. Therefore, the optimal combination of welding variables should be determined through simulations and experiments of the spot-welding process to determine the effects of electric resistance preheating on the suggested process. Through this procedure, it is known that the proposed spot-welding process can improve the welding quality during the spot welding of Cu-Al sheets.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.7 no.2
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• pp.284-291
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• 1997

The electrode characteristics of two kinds of metal hydride electrodes using V-Ti (V-rich) based alloy were studied, in which one electrode was prepared by sintering the mixture of V-Ti alloy and Ni powders by a rapid thermal annealing technique and the other one was prepared using V-Ti-Ni ternary alloy, The discharge capacities of all electrodes during the charge-discharge cycling were completely deteriorated within 10 cycles. It appeared that the deterioration of the electrodes was caused by the dissolution of V in the near-surface region into the electrolyte and the formation of $TiO_2$ layer on the alloy particle surface. This degradation mechanism was supported by the facts that V is main hydride forming element and $TiO_2$ has very low electrical conductivity and hydrogen diffusivity.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.449-449
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• 2012

플라즈마 디스플레이 패널(PDP)은 가격 경쟁력이 뛰어나고 빠른 반응 속도를 기반으로 한 생생한 화질이 구현 가능한 장점에 힘입어 대형 평판 디스플레이 시장에서 주도적인 위치를 점하여 왔다. 이러한 특징을 갖고 있는 PDP는 최근 성장세를 보이고 있는 PID (Public Information Display) 시장에서도 그 효력을 발휘할 것으로 보인다. 따라서 기존의 HD급이나 Full HD급 미소 방전셀이 아닌 대면적 방전셀을 적용한 PDP 의 방전 특성에 대한 연구가 중요할 것으로 생각된다. 본 논문에서는 ITO 전극 간격 및 전극 폭, 격벽의 폭 및 높이 등 PDP 의 방전 특성에 영향을 미치는 요소들의 수치를 변화시켜 가며 대면적 방전셀을 적용한 PDP의 기본적인 방전 특성을 살펴보고자 하였다. 이를 바탕으로 대면적 방전셀 PDP에서 고효율을 달성하기 위해 필요한 인자의 설계 방향을 제시해보고자 하였다. 본 논문에서 연구된 PDP는 0.862.58 mm의 셀의 크기를 갖도록 설계하였다. 앞서 제시한 바와 같이 구조 변수의 최적화를 위하여 ITO 전극 간격은 80~1, 전극의 폭은 250~750로 다양하게 주어 상판을 제작하였고 격벽의 폭은 100~200, 높이는 150~300까지 다양한 크기를 가지는 하판을 제작하여 박막 증착, 합착, 가열 배기 등의 과정을 통하여 최종적으로 2인치 크기의 테스트 패널을 제작하여 각 패널별 전압 변화, 휘도, 효율 특성 등이 분석되었다. 실험 결과 격벽 폭 150, 높이는 300일 때 negative glow 방전이 안정적으로 형성될 수 있었음을 확인하였고 최적화된 격벽 수치를 기반으로 다양한 ITO 전극 간격 및 전극 폭을 적용한 패널의 방전 특성을 분석할 수 있었다. 이러한 일련의 실험 결과들을 기반으로 향후 대면적 방전셀의 방전 전압을 낮추고 발광 효율을 개선하는데에 있어서 3전극의 면방전 구조를 가지는 PDP 의 셀을 설계하는데에 있어서 올바른 방향을 마련할 수 있을 것이라 생각된다.