LCD의 투명전극으로 사용되는 ITO박막의 반응성 스퍼터링 공정변수 및 열처리에 따른 저기적 특성과 광학적 특성의 변화에 대하여 연구하였다. 90wt% In-10wt% Sn 합금 타겉을 사용한 반응성 스퍼터링으로는 LCD의 투명전극으로 사용하기 위한 100~300$\Omega$/$\square$의 면저항과 가시광선 영역에서 85%이상의 투과도 특성을 모두 만족하는 ITO 박막의 제조가 이루어지지 않았으나 30$0^{\circ}C$의 온도로 Ar 분위기에서 1시간 열처리에 의해 18$\Omega$/$\square$의 낮은 면저항과 가시광선 영역에서의 투과도 95%의 우수한 전기적, 광학적 특성을 갖는 ITO 박막 의 제조가 가능하였다.
투명전도체(Transparent Conducting Oxides: TCOs)는 일반적으로 면저항이 $103{\Omega}/sq$ 이하로 전기가 잘 통하며, 가시광선영역인 380~780 nm에서의 투과율이 80% 이상이고, 3.2eV 이상의 밴드갭을 가지는 재료로써, 전기전도도와 가시광선영역에서 투과성이 높아 전기적, 광학적 재료로 관심을 받아 다년간 연구대상이 되어오고 있다. 현재 가장 널리 사용되고 있는 투명전도체(Transparent Conducting Oxides: TCOs) 소재로는 Indium Tin Oxide (ITO)가 가장 각광받고 있지만, Indium의 가격상승과 박막의 열처리를 통해 저항이 증가하는 단점을 가지고 있어 이를 대체 할 새로운 소재 개발이 필요한 상황이다. 그러므로 투명전도체 소재 개발에 있어서 가장 중요한 연구과제는 Indium Tin Oxide(ITO)의 단점을 개선시키고 안정된 고농도의 In-Zn-Sn-O(ITZO) 박막을 성장시키는 것이다. 본 연구에서는 RF스퍼터링법에 의하여 Si wafer에 In-Zn-Sn-O(IZTO)를 $350{\AA}$ 만큼 증착시키고, 1시간 동안 $300^{\circ}C$, $350^{\circ}C$, $400^{\circ}C$로 각각 열처리 하였다. 박막의 전자적, 광학적 특성은 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy), REELS(Reflection Electron Energy Loss Spectroscopy)를 이용하여 연구하였다. XPS측정결과, ITZO박막은 In-O, Sn-O and Zn-O의 결합을 가지고 있고, 박막의 열처리를 통해 $400^{\circ}C$에서 Zn2p의 피크가 가장 크게 나타나는 반면 In3d와 Sn3d는 열처리를 했을 때가 Room Temperature에서 보다 피크가 작아지는 것을 확인하였다. 이는 $400^{\circ}C$에서 Zn가 표면에 편석됨을 나타낸다. 그리고 REELS를 이용해 Ep=1500 eV에서의 밴드갭을 얻어보면, 밴드갭은 $3.25{\pm}0.05eV$로 온도에 크게 변화하지 않았다. 또한 QUEELS -Simulation에 의한 광학적 특성 분석 결과, 가시광선영역인 380nm~780nm에서의 투과율이 83%이상으로 투명전자소자로의 응용이 가능하다는 것을 보여주었다.
고분자 필름의 무적성을 향상시키기 위하여 우수한 친수성 및 높은 가시광선 투과율을 보이는 유기-무기 혼성 코팅용액을 졸-겔법으로 합성하였다. 코팅용액은 입자 직경이 15 nm 크기의 무기물인 콜로이드 실리카 용액(Ludox)에 유기 조성을 함유한 화합물인 GPS을 첨가하여 제조되었다. 실란 커플링제인 GPS는 콜로이드 실리카와 주변의 매트릭스(matrix)인 고분자 필름에 각각 강한 결합을 형성하여 두 개의 서로 다른 물질을 강하게 연결하는 결합제 역할을 한다. 강산성 조건 하에서 제조된 혼성 코팅용액으로 고분자 필름 위에 코팅한 경우는 코팅필름의 표면이 거의 균열이 없는 매끈한 미세구조를 보이는 반면, 약산과 염기성 조건 하에서 제조된 혼성 코팅용액으로 코팅한 경우에는 균열이 심한 미세구조를 보였다. 또한 pH 2의 산성 조건에서 제조한 필름은 우수한 친수성 및 높은 가시광선 투과율을 보인 반면, 염기성 조건으로 제조한 코팅필름은 친수성이 좋지 않았으며, 낮은 가시광선 투과율을 보였다.
목적: 본 연구에서는 눈 화장품인 아이라이너에 노출시킨 소프트 콘택트렌즈의 파라미터가 어떻게 변하는가를 알아보고, 세척방법을 달리하여 세척하였을 때의 세척효과와 렌즈 파라미터의 회복정도를 비교하고자 하였다. 방법: 서로 다른 재질로 제조된 3종류의 소프트 콘택트렌즈에 각각 1시간, 4시간 및 6시간 동안 아이라이너를 침착시킨 후 안경용 초음파 세척 및 손 세척을 시행하였으며, 세척 전후 렌즈의 가시광선 투과도, 직경 및 표면의 변화를 비교하였다. 결과: 소프트 콘택트렌즈의 가시광선 투과도는 아이라이너의 침착시간이 길어질수록 감소하였다. 렌즈의 표면을 관찰한 결과 아이라이너의 침착 양상은 렌즈재질의 물성에 따라 다르게 나타나 narafilcon A 재질 렌즈에서 가장 침착이 큼을 알 수 있었다. 렌즈 직경은 hilafilcon B 및 etafilcon A 재질 렌즈는 감소하였으나, narafilcon A재질 렌즈는 증가하는 것으로 나타났다. 이러한 아이라이너의 침착은 안경용 초음파 세척기를 이용한 세척보다는 다목적 용액을 이용한 손 세척 시 세척효율이 우수한 것으로 나타났으나 렌즈의 직경이나 가시광선 투과도, 렌즈표면 등 렌즈 파라미터가 원래 상태로 회복되는 데에는 한계가 있었다. 결론: 이상의 결과로 소프트렌즈를 착용한 상태에서 눈 화장 하는 것을 최소화하는 것이 옳으며, 반복적으로 눈 화장을 할 때에는 렌즈 파라미터의 변화를 고려한 착용시간의 단축이나 빠른 렌즈의 교체주기가 필요하다고 사료된다.
저방출 코팅(low-e coating)이란 열 방출에 해당하는 적외선 파장이 가능한 작게 투과하도록 기판 위에 박막을 증착하는 방법이다. 그러므로 유리 기판 위에 저방출 코팅을 하는 것은 냉방시설을 갖춘 건축물 내부에서 에너지 절약과 쾌적한 환경을 구현하거나 자동차 내부의 빠른 온도상승을 저하시키는데 이용될 수 있다. 본 연구에서는 원격 조정 장치의 적외선 파장이 디스플레이의 광원에서 나올 수 있는 동일 파장에 의해 간섭을 받지 않도록 적외선 영역의 투과율은 낮추고 가시광선 영역의 투과율은 높이는 설계를 하고 최적화 하였다. (중략)
본 논문에서는 실내 환경에서 가시 광선을 이용한 무선 망 설계에 필요한 가시광의 특성 예측을 위해 포톤 모델을 이용하는 방법을 제시한다. 광선을 이용하는 경우, 높은 주파수와 짧은 파장을 갖고 있으므로 광선 추적법을 이용하는 것이 일반적이나, 환경이 복잡하고 복수의 반사, 투과뿐만 아니라 물체 표면의 거친 정도 등의 재질을 고려한 난반사까지 고려해야 하는 경우, 매우 많은 시간이 걸리는 단점이 있다. 이러한 단점을 해결하기 위해 본 논문에서는 광선 추적법을 보완하여 광선의 세기를 포톤의 밀도로 근사하여 계산 정밀도와 계산 시간을 타협하는 방식을 제시한다.
유전 알고리즘은 자연의 진화 과정에 기초한 계산 모델로서 전역 최적화 결과를 제공할 수 있다. 변화율(gradient)을 기반으로 하는 방법들과는 달리, 민감도 해석이 요구되지 않으므로 민감도 해석이 어려운 전계(electric field)에서의 나노 단위 구조물의 형상 설계에 적합하다. 본 연구는 유전 알고리즘과 ON/OFF 방법을 기반으로 위상최적화를 수행하여 가시광선 영역에서 새로운 형태의 나노개구 설계를 목표로 하였다. 연구의 목적은 나노개구 아래10nm에 위치한 측정영역에서의 전계 투과효율(transmission rate)을 최대화하며, 동시에 다른 영역에서의 전계 분포를 최소화하는 것이다. 유한요소해석 및 최적화 과정은 상용 프로그램 COMSOl과 Matlab 프로그램의 연동에 의하여 수행되었다. 최적화 모델의 결과는 초기 모델과의 전계 강도 (electric field intensity) 및 근접장의 초점치수(spot size)를 비교하여 분석하였다.
목적: 본 연구에서는 건성안이 일회용 써클소프트렌즈(이하 써클렌즈)의 권장착용시간을 초과하여 하루 이상 착용하였을 때 나타나는 자각적 및 타각적 변화와 렌즈 가시광선투과율의 변화에 대하여 알아보고자 하였다. 방법: 서로 다른 재질(hilafilcon B, nelfilcon A 및 etafilcon A)의 3가지 일회용 써클렌즈를 눈물량이 정상보다 적은 20대의 건성안(30안)에게 착용시키고 자각적 불편감, 착용자의 순목횟수, 각막에서의 렌즈중심안정위치 및 렌즈 가시광선투과율을 렌즈 착용직후와 착용자가 자각적 불편감의 증가로 더 이상 렌즈를 착용하지 못하였을 때에 각각 측정한 후 비교하였다. 결과: 일회용 써클렌즈의 재질에 따라 차이는 존재하였지만 10시간 이상 착용하였을 때부터 자각적 불편감을 호소하며 렌즈착용을 중단하였다. 그러나 비이온성 써클렌즈의 경우는 40시간 이상을 착용하는 건성안도 20% 정도로 나타났다. 건성안은 세 가지 재질 가운데 etafilcon A 재질 써클렌즈의 초과착용 시 가장 민감하게 자각적 불편감을 느끼는 것으로 나타났다. 써클렌즈 착용중단시점에서 대표적인 자각적인 불편감은 이물감, 뻑뻑함, 건조감 및 피곤함이었다. 일회용 써클렌즈를 초과착용하였을 때 순목횟수는 착용직후와 비교하여 렌즈재질에 관계없이 약 20~30%정도 통계적으로 유의하게 증가하였다. 렌즈착용 직후보다 착용 마지막 날에서 수직방향의 렌즈중심안정위치는 동공중심에 가까워졌으나 수평방향은 그 분포가 넓게 나타났으며, 특히 etafilcon A 재질 렌즈의 경우는 중심잡기가 불안정하였다. 또한 새 렌즈와 비교했을 때 초과착용한 후 렌즈의 가시광선투과율은 세 종류 렌즈 모두에서 평균적으로 15%가량 감소하였다. 결론: 이상의 결과에서 건성안에서 일회용 써클렌즈의 초과착용은 건조감과 뻑뻑함을 증가시켜 과도한 이물감을 느끼게 되며, 이는 가시광선투과율의 감소와 더불어 순목횟수의 유의한 증가를 유발하고 궁극적으로는 렌즈중심안정위치의 이탈을 초래함을 알 수 있었다. 또한 개인 및 렌즈재질에 따라서 정도의 차이는 있었으나 건성안은 정상안보다 고함수, 이온성렌즈의 초과착용에 자, 타각적으로 예민하게 반응함을 밝혔다. 따라서 본 연구결과는 건성안의 써클렌즈 착용으로 유발될 수 있는 문제점 및 부작용의 교육을 위한 기초 자료로 제시될 수 있다.
불소가 도핑된 산화주석(SnO2:F, FTO) 박막은 다결정 전도성 세라믹으로 가시광선 영역에서 투명하기 때문에 태양전지의 전극으로 활용된다. 본 연구에서 FTO는 APCVD법으로 성막되었다. BSG기판을 사용하여 $620^{\circ}C$의 고온에서 공정이 진행되었다. 이렇게 제작된 FTO 박막은 수소, 질소, 대기 분위기에서 여러 열처리 시간을 변수로 실험하여 열처리 전후의 전기적, 광학적, 구조적 변화를 관찰하고 분석하였다. 전기적 특성 분석에는 전기 비저항, 모빌리티 및 캐리어 농도 등의 변화를 알아보았고, 광학적 분석에는 UV-vis spectoscopy로 200nm에서 800nm 파장대역의 투과도를 구하고, Hazemeter를 통하여 총투과율, 평행투과율, 확산투과율 및 Haze를 분석하여 FTO막이 가지고 있는 texturing에 의한 효과를 알아보기 위하여 시편의 열처리 전후를 비교 분석하였다. 구조적 분석은 XRD를 이용하여 pattern을 분석하여 FTO가 가지는 구조변화를 분석하였다. 특히 FTO의 texturing에 기여도가 높은 (200)면의 XRD peak강도가 상승함에 따라 후열처리에 의해 박막의 표면의 변화가 일어남을 확인하였다. FTO의 후열처리에 의한 변화는 전기적으로는 약간의 전기 비저항의 증가를 가져오며, 캐리어 농도의 감소를 가져온다. 캐리어 농도의 감소에 따라 모빌리티의 상승이 관찰되었다. 광학적 특성은 가시광선 영역에서 투과율은 거의 같거나 약간 감소하는 경향을 나타내며, 후열처리 전후에 거의 동일한 투과율을 보이면서도 확산 투과율이 상승하는 분석 결과를 얻었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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